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    • 13. 发明专利
    • 真空排気装置
    • 真空排气系统
    • JP2016205405A
    • 2016-12-08
    • JP2016179496
    • 2016-09-14
    • 株式会社荏原製作所
    • 川▲崎▼ 裕之曽布川 拓司大山 敦
    • F04D19/04F04B37/16
    • 【課題】気体を超高真空から大気圧まで圧縮できる真空排気装置であり、排気系のシンプル化および運転動力が小さく高効率化を図ることができるとともに、真空容器近傍もしくは真空容器に直接に任意の方向に取り付けることができる真空排気装置を提供する。 【解決手段】高真空以下まで真空排気できる第一の真空ポンプ1と、大気圧から中真空又は低真空まで真空排気できる第二の真空ポンプ2を備え、大気圧から高真空以下まで排気する真空排気装置であって、第一の真空ポンプ1と第二の真空ポンプ2とを防振材料を介して連結して一体化した。 【選択図】図1
    • 提供一种能够从一个超高真空到大气压力压缩的空气的真空排气装置,它能够简化和排气系统的操作功率实现效率下降,直接任选真空容器或真空腔室附近 提供一种真空排气装置可在方向被附着。 第一真空泵1能够抽空至A或更小的高真空,其包括第二真空泵2,其可以被抽至中度真空或大气压力低真空,真空从大气压力排气到少高真空 和排气装置,以及与所述第一真空泵1,并通过振动绝缘体连接在第二真空泵2一体化。 点域1