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11. 发明专利

JP2018112933A バルブ制御装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018112933A
公开(公告)日：2018-07-19
申请号：JP2017003447
申请日：2017-01-12
申请人：株式会社島津製作所
发明人：平田伸幸 , 小崎純一郎 , 中谷敦夫 , 中村雅哉
IPC分类号： F16K37/00 , F16K31/04 , F04B37/16 , F04B49/06 , G05D16/20
CPC分类号： G05D16/202 , F16K3/0227 , F16K3/04 , F16K3/06 , F16K3/10 , F16K31/041 , F16K37/0041 , F16K37/005 , F16K51/02
摘要：【課題】真空バルブによる調圧の性能向上を図ることができるバルブ制御装置の提供。【解決手段】真空バルブ1が接続された真空チャンバ3の圧力計測値Prと真空チャンバ3の圧力目標値Psと真空バルブ1の開度計測値θrが入力され、圧力計測値Prと圧力目標値Psとの偏差に基づいて真空バルブ1の開度θを制御するバルブコントローラ2において、真空バルブ1の開度と真空バルブ1を含む系のコンダクタンスとの相関が記憶されている記憶部23と、入力された開度計測値θrにおけるコンダクタンスの開度変化に対する変化率(dS/dθ)を前記相関に基づいて求め、その変化率の逆数を補正ゲインとして設定する開度設定部21と、を備え、偏差と補正ゲインとに基づいて真空バルブ1の開度を制御する。【選択図】図1

12. 发明专利

JP2018112264A 真空バルブ、および真空ポンプ审中-公开
公开(公告)号：JP2018112264A
公开(公告)日：2018-07-19
申请号：JP2017003448
申请日：2017-01-12
申请人：株式会社島津製作所
发明人：中村雅哉 , 小崎純一郎 , 中谷敦夫 , 平田伸幸
IPC分类号： F04D19/04 , F04B37/16 , H01L21/205 , H01L21/3065 , F16K31/04
CPC分类号： F04D27/002 , F04D19/048 , F04D25/06 , F04D27/001 , F04D29/403 , F16K3/06 , F16K31/041 , F16K51/02 , H01L21/67017
摘要：【課題】バックアップ電源無しに停電時の危険回避処理を行うことができる真空バルブの提供。【解決手段】停電時に回生電力を生成して停止動作を行う真空ポンプが装着される真空バルブであって、商用電源からの電力が供給される端子138と、真空ポンプで生成された回生電力が供給される端子139と、端子138,139に入力された電力がそれぞれ供給される電源供給部140とを備え、端子138に商用電源からの電力が供給されている時にはその電力により動作し、商用電源からの電力が停止した時には回生電力により動作する。【選択図】図3

13. 发明专利

JP6828446B2 バルブ制御装置有权
公开(公告)号：JP6828446B2
公开(公告)日：2021-02-10
申请号：JP2017003447
申请日：2017-01-12
申请人：株式会社島津製作所
发明人：平田伸幸 , 小崎純一郎 , 中谷敦夫 , 中村雅哉
IPC分类号： F16K37/00 , F16K31/04 , F04B37/16 , F04B49/06 , F16K51/02 , G05D16/20

14. 发明专利

JP6424500B2 圧力制御装置および真空システム审中-公开
公开(公告)号：JP6424500B2
公开(公告)日：2018-11-21
申请号：JP2014143448
申请日：2014-07-11
申请人：株式会社島津製作所
发明人：平田伸幸
IPC分类号： H02M7/48 , H02P5/46 , H02P5/74 , H02P27/08

15. 发明专利

JP2018112932A バルブ制御装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018112932A
公开(公告)日：2018-07-19
申请号：JP2017003445
申请日：2017-01-12
申请人：株式会社島津製作所
发明人：中谷敦夫 , 小崎純一郎 , 中村雅哉 , 平田伸幸
IPC分类号： F04D19/04 , F04B37/16 , F16K51/02 , G05D16/20
摘要：【課題】バルブ開度制御による圧力制御をより高精度に行うことができるバルブ制御装置の提供。【解決手段】バルブコントローラ2は、真空バルブ1を介して真空ポンプ4が接続された真空チャンバ3の圧力計測値Prおよび圧力目標値Psに基づいて、真空バルブ1の開度を制御する。そして、バルブコントローラ2は、真空バルブ1の複数の開度および真空バルブ1を流れる複数のガス流量と、真空バルブ1および真空ポンプ4から成る排気系の実効排気速度との関係を表す相関関係S(Q,θ)が記憶されている記憶部23と、圧力計測値Pr、圧力目標値Psおよび相関マップに基づいて、真空バルブ1の開度を制御する開度制御部21と、を備える。【選択図】図1

16. 发明专利

JP2018112262A 真空バルブ、真空ポンプおよび真空排気システム审中-公开
公开(公告)号：JP2018112262A
公开(公告)日：2018-07-19
申请号：JP2017003444
申请日：2017-01-12
申请人：株式会社島津製作所
发明人：中村雅哉 , 小崎純一郎 , 中谷敦夫 , 平田伸幸
IPC分类号： F16K17/36 , F04B37/16 , F16K31/04
CPC分类号： F04D27/002 , F04D19/048 , F04D25/06 , F04D27/001 , F04D29/403 , F16K3/04 , F16K3/06 , F16K31/041 , F16K51/02 , H01L21/67017
摘要：【課題】真空ポンプの状況に応じたバルブ動作を行うことができる真空バルブの提供。【解決手段】真空バルブは、開閉駆動されるバルブプレートと、バルブプレートを開閉駆動するバルブ駆動部と、真空ポンプの動作状態を表すポンプ情報信号が入力される通信端子133と、入力されたポンプ情報信号に基づいてバルブ動作を制御するバルブ制御部13と、を備える。【選択図】図3

17. 发明专利

JP2016021789A 圧力制御装置および真空システム审中-公开
标题翻译：压力控制装置和真空系统
公开(公告)号：JP2016021789A
公开(公告)日：2016-02-04
申请号：JP2014143448
申请日：2014-07-11
申请人：株式会社島津製作所
发明人：平田伸幸
IPC分类号： H02P27/08 , H02M7/48 , H02P5/74 , H02P27/06
摘要：【課題】ADコンバータが精度良く信号をサンプリングするAPCバルブの圧力制御装置とそれを備える真空システムの提供。【解決手段】 APCバルブ3のコントローラ37は、搬送波の振幅を電圧指令信号の振幅よりも大きく設定した上で、三相インバータ35を駆動するスイッチング信号を生成する。三相インバータ35の三相全てのハイサイドスイッチング素子がオフ状態で三相全てのローサイドスイッチング素子がオン状態で且つノイズレベルが低い時間(第1低ノイズ時間)を含む期間を生成する。ADコンバータ36は、第1低ノイズレベル時間で、サンプリングする。同様に、コントローラ47も第2低ノイズ時間を生成する。コントローラ37とコントローラ47は、通信して、第1低ノイズ時間と第2低ノイズ時間を時間的に重複させる。ADコンバータ36は、好ましくは、その重複した時間でサンプリングする。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种A / D转换器精确采样信号的APC阀的压力控制装置，以及包括该压力控制装置的真空系统。解决方案：用于APC阀3的控制器37设定载波的振幅大于电压指令信号，然后产生用于驱动三相逆变器35的开关信号。在高电平的OFF状态下产生包括噪声电平低的时间（第一低噪声时间）的周期，三相逆变器35中的所有三相的侧侧开关元件和全三相的低侧开关元件的导通状态.A / D转换器36对第一低噪声电平时间进行采样。类似地，控制器47还产生第二低噪声时间。控制器37和控制器47在第一低噪声时间和第二低噪声时间之间进行通信并在时间上重叠。 A / D转换器36优选对重叠时间进行采样。图1：

18. 发明专利

JP6954238B2 真空ポンプ用電源装置および真空ポンプ装置有权
公开(公告)号：JP6954238B2
公开(公告)日：2021-10-27
申请号：JP2018127786
申请日：2018-07-04
申请人：株式会社島津製作所
发明人：平田伸幸
IPC分类号： F04D19/04

19. 发明专利

JP2021093774A 真空ポンプ审中-公开
公开(公告)号：JP2021093774A
公开(公告)日：2021-06-17
申请号：JP2019221132
申请日：2019-12-06
申请人：株式会社島津製作所
发明人：平田伸幸
IPC分类号： F04D19/04 , H02P6/18 , H02P21/24 , H02P21/34 , H02P6/20
摘要：【課題】始動失敗の発生を防止することができる真空ポンプの提供。【解決手段】真空ポンプは、ポンプロータと、ポンプロータを回転駆動するモータMと、モータMをセンサレス駆動するモータ制御部400と、を備える真空ポンプにおいて、モータMは、モータロータに永久磁石が設けられた同期モータであって、モータ制御部400は、第1の固定磁極位相でq軸電流を流す第1の通電制御を実行し、その後に、第1の固定磁極位相と異なる第2の固定磁極位相でq軸電流を流す第2の通電制御を実行するモータ始動動作を行う。【選択図】図3

20. 发明专利

JP6819304B2 真空バルブ、真空ポンプおよび真空排気システム有权
公开(公告)号：JP6819304B2
公开(公告)日：2021-01-27
申请号：JP2017003444
申请日：2017-01-12
申请人：株式会社島津製作所
发明人：中村雅哉 , 小崎純一郎 , 中谷敦夫 , 平田伸幸
IPC分类号： F04B37/16 , F16K31/04

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