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    • 146. 发明专利
    • 半導体装置およびその製造方法
    • 半导体器件及其制造方法
    • JP2015195320A
    • 2015-11-05
    • JP2014073415
    • 2014-03-31
    • 日本電気株式会社
    • 上田 卓司田子 雅基
    • H01L23/29H01L21/60H01L23/02
    • H01L24/81H01L2224/16225
    • 【課題】中空パッケージ構造を備える半導体装置の製造工程の省力化に寄与し、基板と半導体素子間の接続信頼性を向上できる半導体装置およびその製造方法が求められている。 【解決手段】半導体装置は、基板と、一面上に設けられるバンプ配列を介して、前記基板上に表面実装される半導体素子と、前記半導体素子の他面上に設置され、前記半導体素子よりも外側に突出する放熱部材と、前記基板および前記放熱部材のいずれか一以上に形成され、一側が前記基板と前記放熱部材間に形成される隙間に向かって前記バンプ配列の外周側で開口し、他側から封止材が注入される、少なくとも一つの貫通孔と、少なくとも前記基板と前記放熱部材の間に、前記貫通孔を通じて充填された前記封止材によって形成され、前記バンプ配列の外周側を囲む封止部と、前記基板と前記半導体素子の間であって前記バンプ配列の内周側に形成され、前記封止部によって封止される空間と、を備えている。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种半导体器件及其制造方法,其有助于节省具有中空封装结构的半导体器件的制造工艺,并提高衬底和半导体元件之间的连接可靠性。解决方案: 半导体器件包括:衬底; 半导体元件表面,其经由设置在一个表面上的凸块布置安装在所述基板上; 散热构件,其安装在所述半导体元件的另一个表面上并从所述半导体元件向外突出; 至少一个通孔,其形成在所述基板和所述散热构件中的一个或多于一个中,所述至少一个通孔在所述凸块布置的外周侧上朝向形成在所述基板和所述散热构件之间的间隙开口 侧面封装材料从另一侧注入; 封装部,其由所述封装材料形成,所述封装材料经由所述通孔填充在所述基板和所述散热构件之间的至少间隙中,并且包围所述凸块装置的外周侧; 以及形成在所述基板和所述半导体元件之间并且在所述凸块装置的内周侧上形成并且被所述封装部封装的空间。