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    • 142. 发明专利
    • 光学素子、光学素子アレイ及び固体撮像装置
    • 光学元件,光学元件阵列和固态成像器件
    • JP2015197659A
    • 2015-11-09
    • JP2014077036
    • 2014-04-03
    • キヤノン株式会社
    • 岩倉 靖加藤 太朗石川 麻由
    • G02B3/00G02B3/06H01L27/14G02B1/11
    • G02B1/11G02B13/0015G02B3/0006H04N5/2254
    • 【課題】好適な反射防止構造を有する光学素子、光学素子アレイ及び固体撮像装置を提供する。 【解決手段】表面が平面121及び凸面122から構成された凸レンズ101と、凸面122を覆う反射防止構造と、が含まれる。凸面122の頂点104の平面121への正射影106は、平面121と凸面122との境界を結ぶ線分105の中点からずれた位置にあり、反射防止構造には、頂点104よりも、線分105の2端点のうちで中点よりも正射影106に近く位置する第1の端部102側の第1の反射防止構造111と、頂点104よりも、線分105の2端点のうちで正射影104よりも中点に近く位置する第2の端部103側の第2の反射防止構造112と、が含まれる。第2の反射防止構造112の光透過率は、第1の反射防止構造111の光透過率よりも高い。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供具有最佳反射防止结构的光学元件,光学元件阵列和固态成像装置。解决方案:一种光学元件包括:凸透镜101,其表面由平面121和凸面 表面122; 以及覆盖凸面122的反射防止结构。凸面122的顶点104的平面121的正交突起106存在于与连接边界之间的边界的线段的中点偏离的位置 表面121和凸面122以及反射防止结构包括第一反射防止结构111,其位于比顶点104更靠近正射投影部106的第一端部102侧, 线段105和位于比顶点104更靠近中点的第二端103侧的第二反射防止结构112和线段105的两个端点的正投影面104.第二反射预防结构 112比第一反射预防结构111高。
    • 146. 发明专利
    • 画像表示装置
    • 图像显示设备
    • JP2015059969A
    • 2015-03-30
    • JP2013191664
    • 2013-09-17
    • 株式会社JvcケンウッドJvc Kenwood Corp
    • KOBAYASHI KENKOBAYASHI MANABU
    • G02B27/01G02B3/00G03B21/14G09F9/00
    • G02B27/0179G02B3/0006G02B3/0068G02B3/08G02B5/0226G02B27/0101G02B2027/0145G02B2027/015G03B21/10G03B21/28
    • 【課題】小型であり、かつ視認性の高い画像表示装置を提供する【解決手段】画像表示装置は、画像表示光を投射する画像投射部210と、画像投射部210から投射された画像表示光に基づく実像を結像させる中間像形成部360と、中間像形成部360を透過した画像表示光を虚像提示面に向けて反射させる投射鏡400と、を備える。中間像形成部360は、透過した画像表示光の主光線の方向を制御する第1手段と、主光線の配光角を制御する第2手段と、を有する。第1手段は、凹レンズであり、第2手段は、透過光を拡散させる透過型スクリーンであってもよい。透過型スクリーンは、主面を有するベース部材と、主面上に複数設けられる光拡散部材と、を含み、投射された画像表示光を当該主面に入射させる向きで配置されることとしてもよい。【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供具有小型化和高可视性的图像显示装置。解决方案:图像显示装置包括投影图像显示光的图像投影部分210,基于图像对实际图像成像的中间图像形成部分360 从图像投影部210投影的显示光以及将透过中间图像形成部360透射的图像显示光朝向虚拟图像呈现表面反射的投影镜400。 中间图像形成部360包括用于控制透射图像显示光的主光束的方向的第一装置和用于控制主光束的配光角度的第二装置。 第一装置是凹透镜,第二装置可以是扩散透射光的透射型屏幕。 透射型屏幕包括具有主表面的基底构件和设置在主表面中的多个光漫射构件,并且可以沿着投射的图像显示光入射在主表面上的方向布置。
    • 147. 发明专利
    • 照明光学装置及び投影露光装置
    • 照明光学装置和投影曝光装置
    • JP2015046604A
    • 2015-03-12
    • JP2014197119
    • 2014-09-26
    • 株式会社ニコンNikon Corp
    • SHIRAISHI NAOMASA
    • H01L21/027G02B5/18G02B5/30G02B19/00G03F7/20
    • G03F7/70191G02B3/0006G02B5/3083G02B27/28G02B27/283G02B27/286G03F7/70108G03F7/70341G03F7/70566G03F7/70966
    • 【課題】マスクを所定の偏光状態の照明光で照明する際の光量損失を少なくできる照明光学装置及び投影露光装置を提供する。【解決手段】レチクルRを照明光ILで照明する照明光学系ILSと、レチクルRのパターンの像をウエハW上に投影する投影光学系とを有する。照明光学系ILSにおいて、露光光源1から直線偏光状態で射出された照明光ILは、進相軸の方向が異なる第1及び第2の複屈折部材12,13を通過して、ほぼ特定の輪帯状の領域で光軸を中心とする円周方向に実質的に直線偏光となる偏光状態に変換された後、フライアイレンズ14等を経てレチクルRを輪帯照明の条件で照明する。【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种照明光学装置,其能够在以预定偏振状态的照明光照射面罩时减少光量损失。投影曝光装置。照明光学装置包括:照明光学系统ILS 其用照明光IL照亮标线片R; 以及投影光学系统,其将掩模版R的图案的图像投影在晶片W上。在照明光学系统ILS中,从曝光光源1以线偏振态发射的照明光IL经过第一和第二双折射 具有不同方向的相位提前轴的构件12和13被转换为偏振状态,以在基本上规定的环形区域中的围绕光轴的圆周方向上是实质的线性偏振光,然后通过飞眼透镜14等。 在环形照明条件下照亮标线片R.
    • 148. 发明专利
    • 複眼ユニット
    • 复眼单元
    • JPWO2012165281A1
    • 2015-02-23
    • JP2013518009
    • 2012-05-24
    • コニカミノルタ株式会社
    • 尚之 井上尚之 井上貴志 川崎貴志 川崎山口 進進 山口
    • G02B7/02
    • G02B3/0075C03B11/082C03B23/22C03B2215/414C03B2215/76G02B3/0006G02B3/0031G02B7/022H04N5/2254H04N5/2257Y02P40/57
    • 外形寸法精度が良くない複眼のレンズ部材を使用しても、レンズホルダに対して位置精度良く組み立てることができる、精度の良い複眼ユニットを提供する。また、複数の開口を有する遮光部材を位置精度良く組み立てることができる、精度の良い複眼ユニットを提供する。開口AP2,AP3の中心間距離W2は、凸レンズ部PL2、PL3の光軸間距離W1より小さいので、図13のように、光軸方向に沿ってレンズ部材IM3をレンズホルダLHに接近させてゆくと、凸レンズ部PL2、PL3の光学面もしくは周辺面の外側が、開口AP2,AP3の縁部に2点P、Qで当接し、且つ平坦面FPが当接部CTに当接する。このとき、レンズ部材IM3とレンズホルダLHとの光軸方向の位置決めは、平坦面FPと当接部CTとの当接によってなされる。一方、光軸直交方向の位置決め、及びZ軸回りの位置決めは、凸レンズ部PL2、PL3の光学面もしくは周辺面と、開口AP2,AP3との当接によって行われる。
    • 也可以使用复眼透镜构件差外部尺寸精度,也可以组装具有高精确位置相对于该透镜保持器,以提供一个良好的多眼部的精度。 另外,也可以组装具有多个孔,提供良好的复眼单元精度高的位置精度的屏蔽构件。 开口AP2,AP3,由于凸透镜部PL2,比光轴PL3的W1之间的距离更小的中心距W2,如图13所示,欲哭沿着光轴更靠近透镜构件IM3在透镜架LH 如果,该光学表面之外或附近的凸透镜部PL2,PL3正在打开AP2,AP3边缘2分单元P,在具有Q接触的表面上,并且平坦面抵接FP抵接部CT。 在这种情况下,在透镜构件IM3和透镜保持器LH的光轴方向上的定位是由平面FP和接触部CT之间的接触来实现的。 在另一方面,所述方向垂直于光学轴和Z轴定位的定位与光学表面或凸透镜部PL2,PL3的近表面由光圈AP2,AP3的邻接进行。