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1. 发明专利

JP2015050893A リニアモータ、露光装置、デバイス製造方法、及びコイルユニット审中-公开
标题翻译：线性电动机，曝光装置，装置制造方法和线圈单元
公开(公告)号：JP2015050893A
公开(公告)日：2015-03-16
申请号：JP2013182931
申请日：2013-09-04
申请人：株式会社ニコン , Nikon Corp , Ckd株式会社 , Ckd Corp , Ckd株式会社
发明人： MORIMOTO SHIGE , YOSHIMOTO HIROMITSU , TANAKA KOJI , ITO AKIHIRO , KOKETSU MASAYUKI
IPC分类号： H02K41/03 , H02K9/19
摘要：【課題】簡単な構成で冷却効率の良いリニアモータを提供する。【解決手段】リニアモータのコイルユニット50は、上面が磁石ユニットに対向して配置される恒温プレート66と、恒温プレート66の下面側に設けられ、複数のコイル62を含む上コイル部64と、上コイル部64に対して恒温プレート66とは反対側に設けられ、複数のコイル56を含む下コイル部58と、上コイル部64と下コイル部58との間に設けられ、上コイル部64及び下コイル部58を冷却する冷却プレート60と、を備え、上コイル部64と恒温プレート66との間に形成された空気層82により、上コイル部64と恒温プレート66との間の熱伝達が阻害される。【選択図】図4
摘要翻译：要解决的问题：提供一种以简单的结构实现良好冷却效率的线性电动机。解决方案：线性电动机的线圈单元50包括：恒温板66，其被设置为使得上表面面对磁体单元; 设置在恒温板66的下表面侧并包括多个线圈62的上部线圈部64; 相对于上线圈部64设置在恒温板66的相对侧的下线圈部58，并且包括多个线圈56; 以及设置在上部线圈部64和下部线圈部58之间并冷却上部线圈部64和下部线圈部58的冷却板60.形成在上部线圈部64与恒温板之间的空气层82 66在上部线圈部64和恒温板66之间形成热传递。

2. 发明专利

JP2015050405A 電磁コイルの冷却構造、及び電磁アクチュエータ审中-公开
标题翻译：电磁线圈和电磁致动器的冷却结构
公开(公告)号：JP2015050405A
公开(公告)日：2015-03-16
申请号：JP2013182810
申请日：2013-09-04
申请人： Ckd株式会社 , Ckd Corp , Ckd株式会社 , 株式会社ニコン , Nikon Corp
发明人： ITO AKIHIRO , KOKETSU MASAYUKI , MORIMOTO SHIGE , YOSHIMOTO HIROMITSU , TANAKA KOJI
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20
CPC分类号： H01F7/08 , H01F5/00 , H01F7/06 , H01F27/16 , H02K3/24 , H02K9/19 , H02K9/22 , H02K41/02 , H02K2201/18
摘要：【課題】電磁コイルの軸線方向の端面を冷却する構造において、複数の電磁コイルを並列に任意に配置することを可能とする。【解決手段】第1電磁コイル30の冷却構造は、所定軸線Z方向に延びる空間32が内部に形成された第1電磁コイル30と、第1電磁コイル30の所定軸線Z方向の端面30eに取り付けられ、内部に流体の流路が形成された冷却部材20と、空間52の内部において冷却部材20の流路の入口21及び出口26にそれぞれ接続され、空間32を通じて電磁コイル30の外部まで延びた入口配管22及び出口配管27と、を備える。【選択図】図6
摘要翻译：要解决的问题：为了在电磁线圈的轴向冷却端面的结构中使多个电磁线圈平行地布置。解决方案：第一电磁线圈30的冷却结构包括：第一电磁线圈30，其中形成有沿预定轴向方向Z延伸的空间32; 冷却部件20，其安装在第一电磁线圈30的预定轴向方向Z的端面30e上，并具有形成在其内部的流体的流路; 以及分别连接到空间52内的冷却构件20的流路的入口21和出口26的入口管22和出口管27，并且通过空间32延伸到电磁线圈30的外部。

3. 发明专利

JP2010278298A Planar motor apparatus, stage apparatus, and exposure apparatus 审中-公开
标题翻译：平面电机，舞台装置和曝光装置
公开(公告)号：JP2010278298A
公开(公告)日：2010-12-09
申请号：JP2009130493
申请日：2009-05-29
申请人： Nikon Corp , 株式会社ニコン
发明人： TANAKA KOJI , SUZUKI YASUHIRO
IPC分类号： H01L21/027 , H02K41/03
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a planar motor apparatus capable of improving productivity. SOLUTION: The planar motor apparatus comprises a fixing part 16 having one of a magnetism generating body 26 and a coil body C and forming a predetermined moving surface, and a moving part having the other of the magnetism generating body and the coil body and movable along the moving surface. The planar motor apparatus also comprises a plurality of coil units CU formed of a plurality of coil bodies, and the plurality of coil units are arranged so as to cancel the moment caused by the relative motion of each coil unit and the magnetism generating body. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：解决的问题：提供能够提高生产率的平面电动机装置。解决方案：平面电动机装置包括具有磁发生体26和线圈体C中的一个并形成预定移动表面的固定部分16，以及具有另一个磁发生体和线圈体的移动部分并且可沿着移动表面移动。平面电动机装置还包括由多个线圈体形成的多个线圈单元CU，并且多个线圈单元布置成抵消由每个线圈单元和磁力发生体的相对运动引起的力矩。版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

4. 发明专利

JP2014157899A Drive device, exposure device, and method of manufacturing device 审中-公开
标题翻译：驱动装置，曝光装置和制造装置的方法
公开(公告)号：JP2014157899A
公开(公告)日：2014-08-28
申请号：JP2013027364
申请日：2013-02-15
申请人： Nikon Corp , 株式会社ニコン
发明人： TANAKA KOJI
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/68
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To efficiently discharge heat of an armature coil.SOLUTION: In a surface plate 21, only for a cooling tube 71b among cooling tubes 71a and 71b respectively provided at a substrate stage side (+Z side) and the other side (-Z side) of an armature coil 38 configuring a planar motor, a fin-like projection part is provided on the inner wall of the cooling tube 71b to form the inner wall having a larger contact area with cooling medium compared with the cooling tube 71a. Thereby, a main heat transfer path for heat generated by the armature coil 38 is directed toward the cooling tube 71b side to discharge most of the heat generated by the armature coil 38 by cooling medium supplied to the cooling tube 71b. The remaining heat propagated to the surface plate 21 side is discharged by the cooling medium supplied to the cooling tube 71a, and thus, the heat generated by the armature coil 38 can be prevented from being transferred to an upper part of the surface plate 21. The armature coil 38 configuring the planar motor can be cooled, and fluctuation of an atmosphere around a substrate stage WST on the surface plate 21 can be suppressed.
摘要翻译：要解决的问题：有效地排出电枢线圈的热量。解决方案：在表面板21中，仅分别设置在基板台侧（+ Z侧）的冷却管71a和71b中的冷却管71b和另一侧（-Z侧）构成平面电动机的电枢线圈38，与冷却管相比，在冷却管71b的内壁上形成有与冷却介质接触面积大的内壁的翅片状突起部 71A。由此，由电枢线圈38产生的热量的主要传热路径朝向冷却管71b侧，通过供给冷却管71b的冷却介质排出由电枢线圈38产生的大部分热量。传递到表面板21侧的剩余的热量通过供给到冷却管71a的冷却介质排出，从而可以防止由电枢线圈38产生的热量被传递到表面板21的上部。能够冷却构成平面电动机的电枢线圈38，能够抑制表面板21上的基板台WST周围的气氛的波动。

5. 发明专利

JP2013165642A Linear motor, method of controlling linear motor, stage device, and exposure device 有权
标题翻译：线性电动机，线性电动机的控制方法，舞台装置和曝光装置
公开(公告)号：JP2013165642A
公开(公告)日：2013-08-22
申请号：JP2013111307
申请日：2013-05-27
申请人： Nikon Corp , 株式会社ニコン
发明人： TANAKA KOJI
IPC分类号： H02K41/03
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a linear motor enabling smooth excitation switching.SOLUTION: The linear motor comprises: a coil unit 62 comprising a plurality of coils 63 arranged in a prescribed direction; and a magnetizing unit. In the linear motor, current of multiple phases are supplied sequentially to the plurality of coils at a prescribed cycle, thereby prescribed power is generated, when the linear motor is driven. The linear motor also comprises a controller CONT which independently controls current supply to the plurality of coils to which prescribed current of the same phase out of the multiple phases is supplied, when the linear motor is driven.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够实现平滑激励切换的线性电动机。解决方案：线性电动机包括：线圈单元62，包括沿规定方向布置的多个线圈63; 和磁化单元。在直线电动机中，以规定的周期向多个线圈依次提供多相电流，从而在驱动线性电动机时产生规定的电力。线性电动机还包括控制器CONT，当驱动线性电动机时，控制器CONT独立地控制向供给多相的同相的规定电流的多个线圈的电流供给。

6. 发明专利

JP2010154596A Linear motor, stage system, aligner, and device manufacturing method 审中-公开
标题翻译：线性电动机，舞台系统，对准器和装置制造方法
公开(公告)号：JP2010154596A
公开(公告)日：2010-07-08
申请号：JP2008327224
申请日：2008-12-24
申请人： Nikon Corp , 株式会社ニコン
发明人： TANAKA KOJI , KAGEYAMA SHIGEKI
IPC分类号： H02K41/03
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a linear motor that reduces a thrust fluctuation component without increase in cost.
SOLUTION: The linear motor includes: a coil unit having multiple coil bodies 63 arranged in a first direction; and a magnetization unit having multiple magnetizing bodies. The coil unit and the magnetization unit are moved relative to each other. Each coil includes a skewed portion 70a formed at a predetermined skew angle to a second direction intersecting with the first direction.
COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种在不增加成本的情况下降低推力波动分量的线性马达。线性电动机包括：具有沿第一方向布置的多个线圈体63的线圈单元; 以及具有多个磁化体的磁化单元。线圈单元和磁化单元相对于彼此移动。每个线圈包括以与第一方向相交的第二方向以预定的歪斜角度形成的倾斜部分70a。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

7. 发明专利

JP2010142048A Linear motor, method of controlling linear motor, stage device, and aligner 有权
标题翻译：线性电动机，线性电动机的控制方法，舞台装置和对准器
公开(公告)号：JP2010142048A
公开(公告)日：2010-06-24
申请号：JP2008317190
申请日：2008-12-12
申请人： Nikon Corp , 株式会社ニコン
发明人： TANAKA KOJI
IPC分类号： H02K41/03
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a linear motor capable of smooth excitation switching. SOLUTION: The linear motor includes a coil unit 62 having a plurality of coils 63 arranged in a given direction, and a magnetizing unit. When the linear motor is driven, the currents of multiple phases are supplied sequentially to the coils at a given cycle to generate a given power. The linear motor also includes a controller CONT which independently controls current supply to a plurality of coils to which a prescribed current of the same phase out of multiple phases is supplied when the linear motor is driven. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

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