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    • 9. 发明专利
    • 力学量測定装置
    • 动态数量测量装置
    • JP2015094646A
    • 2015-05-18
    • JP2013233616
    • 2013-11-12
    • 日立オートモティブシステムズ株式会社
    • 高田 健太郎相馬 敦郎芦田 喜章
    • G01B7/16
    • 【課題】基板や電子部品にかかるひずみ量を低減し信頼性を確保することができる力学量測定装置を提供する。 【解決手段】複数の半導体ピエゾ抵抗を備え、複数の半導体ピエゾ抵抗と電気的に接続された複数の電極を備える半導体チップと、複数の電極と電気的に接続される複数の配線を備える電極部と、半導体チップが搭載されるチップ搭載面と、チップ搭載面の反対側に位置し被測定物に固定される実装面と、半導体チップの裏面がチップ搭載面と対向するように半導体チップが接合材を介して固定される板材と、板材のチップ搭載面と平行な面に同じ方向に接着材を介して固定される樹脂基板と、電極部と樹脂基板の電極部を繋ぐ配線部と、を有し、板材は、半導体チップの裏面と対向する第1領域と、樹脂基板の裏面と対向する第2領域と、を備え、板材の第2領域の厚さは、板材の第1領域の厚さよりも大きい。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种能够减少施加到基板和电子部件的应变量的动态量测量装置,以确保可靠性。解决方案:动态量测量装置包括:半导体芯片,其包括多个半导体压敏电阻 并且包括电连接到所述多个半导体压敏电阻器的多个电极; 电极部,其包括电连接到所述多个电极的多个配线; 安装半导体芯片的芯片安装表面; 位于所述芯片安装表面的相对侧并固定到待测量对象的装载表面; 其中通过接合材料固定半导体芯片以使半导体芯片的后表面面向芯片安装表面的平板材料; 树脂基板,其通过粘合材料在平行于板材的芯片安装面的表面上以相同方向固定; 以及连接所述电极部和所述树脂基板的电极部的配线部。 板材包括:面对半导体芯片的后表面的第一区域; 以及面向树脂基板的后表面的第二区域。 板材的第二区域的厚度大于板材的第一区域的厚度。