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    • 4. 发明公开
    • VERFAHREN ZUR MESSUNG EINER KONZENTRATION EINES GASES SOWIE ZUGEHÖRIGE VORRICHTUNG
    • EP4343310A1
    • 2024-03-27
    • EP22196656.7
    • 2022-09-20
    • SICK AG
    • BEYER, ThomasEDLER, Julian
    • G01N21/39G01J3/433G01N21/3504G01N21/359
    • Beschrieben wird ein Verfahren zur Messung einer Konzentration eines Gases in einem Gasgemisch (4), das umfasst, dass: ein in seiner Wellenlänge rampenförmig und/oder stufenförmig und zusätzlich, insbesondere in seiner Wellenlänge, periodisch modulierter Lichtstrahl (10) von einer Lichtquelle (6), insbesondere einem Laser, in einen Messbereich ausgesendet wird; der modulierte Lichtstrahl (10) ein Gasgemisch (4) im Messbereich durchläuft und als Empfangslicht (12) von einem Detektor (8) detektiert wird; wobei das Empfangslicht (12) von dem Detektor (8) in ein Detektorsignal (14) umgewandelt wird; basierend auf dem Detektorsignal (14) ein Derivativsignal (16) ermittelt wird, in dem eine Transformation des Detektorsignals (14) in den Frequenzbereich durchgeführt wird, insbesondere durch eine Fouriertransformation des Detektorsignals, wobei eine Auswertung des in den Frequenzbereich transformierten Detektorsignals (14), insbesondere nur, für ein n-faches der Frequenz des modulierten Lichtstrahls (10) durchgeführt wird, um das Derivativsignal (16) zu erhalten; und zumindest zwei Messwerte einer Phase des Derivativsignals (16) ermittelt werden und basierend auf den ermittelten Messwerten der Phase des Derivativsignals (16) eine Korrekturfunktion (18) berechnet wird, um das Derivativsignal (16) mit der Korrekturfunktion (18) zu korrigieren.
    • 7. 发明公开
    • ANALYSIS DEVICE, ANALYSIS METHOD, AND ANALYSIS PROGRAM
    • EP4310481A1
    • 2024-01-24
    • EP23186076.8
    • 2023-07-18
    • Horiba Stec, Co., Ltd.
    • HADA, MiyakoTAKAHASHI, MotonobuMINAMI, MasakazuSAKAGUCHI, YuheiSHIMIZU, ToruFUJII, Tetsuo
    • G01N21/39
    • The present invention is aimed to perform precise monitoring of the processed amount by which a workpiece is processed, and includes a measurement unit 2 that measures a concentration or a partial pressure of a reaction product generated while the workpiece W is being processed, and an operation unit 3 that calculates the processed amount of the workpiece W using an output value of the measurement unit 2. The measurement unit 2 includes: a laser light source 22 that irradiates target gas containing the reaction product with a laser beam; a photodetector 23 that detects a laser beam having passed through the target gas; and a signal processing unit 242 that calculates the concentration or the partial pressure of the reaction product based on a detection signal of the photodetector 23. The operation unit 3 includes a time integration unit 32 that calculates a time integral by integrating the output value of the measurement unit 2 with respect to time; a relationship data storage unit 31 that stores therein relationship data indicating a relationship between the time integral of integrating an output value of the measurement unit 2 with respect to time, and a processed amount by which a workpiece is processed; and a processed amount calculation unit 33 that calculates a processed amount by which the workpiece is processed, from the time integral obtained by the time integration unit 32 and the relationship data.