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    • 2. 发明公开
    • Microsystème d'actionnement et procédé de fabrication associé
    • Bedienungsmikrosystem und dessen Herstellungsverfahren
    • EP1953116A2
    • 2008-08-06
    • EP08354005.4
    • 2008-01-22
    • COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
    • Sibuet, HenryDieppedale, Christel
    • B81B3/00
    • B81B3/0051H01H1/0036H01H36/0013H01H50/005H01H59/0009Y10T29/49105
    • Le microsystème d'actionnement (1) est réalisé sur un substrat plan (2) et comporte un bras pivotant (3), monté en rotation autour d'une charnière (4), un plot de contact fixe (6), disposé sur le substrat (2), et une butée de fin de course (7) d'ouverture du bras pivotant (3). La butée de fin de course (7) comporte une partie supérieure, par exemple, une tête (9), disposée au-dessus et à distance du bras pivotant (3), entre une extrémité d'articulation (3c) et une extrémité libre (3d) du bras pivotant (3). La butée (7) comporte une partie inférieure, disposée latéralement par rapport au bras pivotant (3), entre la charnière (4) et le plot de contact fixe (6), et constituée, par exemple, par un pied (8) comportant un plot de support (10), formé sur le substrat (2), un piédestal (11) prolongeant le plot de support (10) et une portion de support (12) de la tête (9).
    • 微系统(1)具有形成在平面基板(2)上的开口端止动件(7),其中微系统的上部布置在枢转臂(3)的上方并远离枢转臂(3)。 上部设置在铰链(4)上的臂的铰接端(3c)和臂的自由端(3d)之间。 微系统的下部连接到基底并且横向地布置在基于臂的铰链和固定接触点(6)之间。 固定接触点与臂的可动触点(5)共同操作。 该臂具有由铁,镍合金和铁磁材料制成的层。 还包括用于制造激活微系统的方法的独立权利要求。