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    • 5. 发明公开
    • MICRO-CHAMBER FOR INSPECTING SAMPLE MATERIAL
    • MIKROKAMMER ZUR UNTERSUCHUNG VON PROBENMATERIAL
    • EP3125271A1
    • 2017-02-01
    • EP15178825.4
    • 2015-07-29
    • FEI Company
    • MELE, LuigiDONA, PleunVAN VEEN Gerard
    • H01J37/20
    • H01J37/20B01L3/502723B01L2200/0605B01L2300/0654B01L2300/0887B01L2300/123B01L2400/0406B01L2400/0694G01N1/04G01N21/03G01N21/11G01N2021/0346G01N2021/6482G01N2223/307H01J37/26H01J2237/2002H01J2237/2003H01J2237/2005H01J2237/2006
    • The invention relates to a micro-chamber for inspecting sample material, the sample material immersed in a liquid when filling the micro-chamber, the micro-chamber comprising:
      • an inspection volume (101) for holding the sample material, the inspection volume defined by:
      o a first rigid layer (102A+102B),
      o a second rigid layer (103A+103B) spaced from the first rigid layer, and
      o a hermetic seal (104) between the first and the second rigid layers,
      Characterized in that,
      prior to filling the inspection chamber with the liquid with immersed sample material,
      • a thin part (105) of at least one of the rigid layers separates the inspection volume from the outside,
      • the thin part is equipped to be punctured, and
      • the inspection volume is an evacuated volume,

      as a result of which the liquid with immersed sample material, when placed upon the thin part, is sucked into the inspection volume when the thin part is punctured.
      This results in a micro-chamber that can be filled with sample material without the need of applying vacuum tubing's to it.
    • 本发明涉及用于检查样品材料的微室,当填充微室时浸在液体中的样品材料,所述微室包括:用于保持样品材料的检查体积(101),检查体积 由第一刚性层(102A + 102B),与第一刚性层隔开的第二刚性层(103A + 103B)和第一和第二刚性层之间的气密密封(104)限定,其特征在于,先前 用浸没的样品材料将液体填充到检查室中,至少一个刚性层的薄部分(105)将检查体积与外部分隔开,薄部分被装备成被刺破,并且€ ¢检查体积为抽真空体积,其结果是当薄的部分被刺穿时,将浸入样品的液体放置在薄部分时被吸入检查体积。 这导致可以填充样品材料的微室,而不需要对其施加真空管。
    • 9. 发明公开
    • Vorrichtung sowie Verfahren zum automatischen Entnehmen von Einzelfasern aus einem Faserspeicher und zum Überführen einer Einzelfaser zu einem nachfolgenden Gerät
    • 装置和方法,用于从光纤存储自动提取单独的纤维和用于单个光纤传送到随后的装置
    • EP2977740A1
    • 2016-01-27
    • EP14177844.9
    • 2014-07-21
    • TEXTECHNO HERBERT STEIN GMBH & CO. KG
    • Mörschel, Ulrich
    • G01N1/04G01N33/36
    • G01N1/04G01N33/362
    • Bei einer Vorrichtung (1) zum automatischen Entnehmen von Einzelfasern (10) einer Faserprobe (6) aus einem Faserspeicher (8) und zum Überführen der Einzelfaser (10) zu einem nachfolgenden Gerät (12), mit einer Steuerung (16) und einer Transporteinrichtung (14) für die Einzelfasern (10), ist vorgesehen, dass der Faserspeicher (8) mindestens einen Probenbehälter (4) aufweist, in dem die Faserprobe (6) in Form von Faserbüscheln enthalten ist, dass eine Entnahmeeinrichtung (18) eine oder mehrere Einzelfasern (10) aus einem in einem Probenbehälter (4) enthaltenen Faserbüschel der Faserprobe (6) entnimmt und die entnommenen Einzelfasern (10) vereinzelt, und dass die Transportvorrichtung (14) die vereinzelte Einzelfaser (10) von der Entnahmeeinrichtung (18) zur Weiterführung der Einzelfaser (10) an das nachfolgende Gerät (12) übernimmt.
    • 在一种用于从纤维杂志(8)的纤维样品(6)的自动提取单独的纤维(10)和用于单纤维(10)转移到随后的装置(12)包括控制器(16)和输送装置的装置(1) (14),用于单独的纤维(10),条件是所述光纤存储(8)包括一个样品容器(4)至少,其中,所述纤维样品(6)是在纤维束的形式,移除装置(18)的一个或多个 单独的纤维(10)从包含在样本容器(4)(10)中分离的纤维样品(6)和所检索的单个纤维的纤维束中提取,并且所述传送装置(14)从所述移除装置分离的单纤维(10)(18)继续 单纤维(10)到随后的装置(12)接管。
    • 10. 发明公开
    • SUBSTRATE RECOVERY DEVICE
    • SUBSTRATRÜCKGEWINNUNGSVORRICHTUNG
    • EP2913654A1
    • 2015-09-02
    • EP13849192.3
    • 2013-10-04
    • Olympus Corporation
    • MORIMOTO, Nobuhiko
    • G01N1/28G01N33/48G02B21/32G02B21/36
    • G01N1/04B32B41/00B32B43/006B32B2310/0831G01N1/08G01N1/312G01N21/6456G01N2201/025G02B21/365Y10T156/1158Y10T156/1179Y10T156/19Y10T156/1917Y10T156/1983
    • The present invention provides a substrate collecting device (1) that includes a stage (3) on which a sheet (11) is placed with a plurality of substrates (2) facing downward, an acquiring section (4) which carries out a predetermined operation on some of the substrates (2), which are disposed at predetermined positions, from above the stage (3) thereby to cause the substrates (2) to come off from the sheet (11) and fall, an observation section (5) and a collecting section (7) disposed below the stage (3), and a moving mechanism (8), which integrally moves the observation section (5) and the collecting section (7) in a horizontal direction. The moving mechanism (8) is capable of positioning the observation section (5) and the collecting section (7) at two positions at which the observation section (5) or the collecting section (7) is positioned substantially vertically below a predetermined position.
    • 本发明提供了一种基板收集装置(1),其包括在其上放置有面向下的多个基板(2)的片材(11)的台(3),执行预定操作的获取部分(4) 在从台架(3)的上方配置在预定位置的一些基板(2)上,从而使基板(2)从板材(11)脱落并落下,观察部(5)和 设置在所述台架(3)的下方的收纳部(7)和使所述观察部(5)和所述收集部(7)沿水平方向一体移动的移动机构(8)。 移动机构(8)能够将观察部分(5)和收集部分(7)定位在观察部分(5)或收集部分(7)基本垂直地位于预定位置的两个位置处。