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1. 发明公开

EP2010924A4 CAPACITIVE BULK ACOUSTIC WAVE DISK GYROSCOPES 有权
标题翻译：电容体声波碟式离心
公开(公告)号：EP2010924A4
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：EP06838738
申请日：2006-12-01
申请人： GEORGIA TECH RES INST
发明人： AYAZI FARROKH , JOHARI HOURL
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5698

2. 发明公开

EP2635873A1 BAW GYROSCOPE WITH BOTTOM ELECTRODE 失效
标题翻译： BAW陀螺仪接地极
公开(公告)号：EP2635873A1
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：EP11779955.1
申请日：2011-11-02
申请人： Analog Devices, Inc.
发明人： SAMMOURA, Firas, N. , YANG, Kuang, L. , SAWYER, William, D.
IPC分类号： G01C19/5698
CPC分类号： H01L21/4846 , G01C19/5698 , H01L21/84 , Y10T29/49002
摘要： A bulk acoustic wave gyroscope has a primary member in a member plane, and an electrode layer in an electrode plane spaced from the member plane. The electrode layer has a first portion that is electrically isolated from a second portion. The first portion, however, is mechanically coupled with the second portion and faces the primary member (e.g., to actuate or sense movement of the primary member). For support, the second portion of the electrode is directly coupled with structure in the member plane.

3. 发明授权

EP0145534B1 Gyromètre acoustique 有权
标题翻译：声学陀螺仪
公开(公告)号：EP0145534B1
公开(公告)日：1988-07-27
申请号：EP84402137.8
申请日：1984-10-24
申请人： BADIN-CROUZET
发明人： Gohin, Christian , Leblond, Henri
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04
CPC分类号： G01C19/5698

4. 发明授权

EP2635873B1 BAW GYROSCOPE WITH BOTTOM ELECTRODE 失效
标题翻译： BAW陀螺仪麻省理工博德LEAD
公开(公告)号：EP2635873B1
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：EP11779955.1
申请日：2011-11-02
申请人： Analog Devices, Inc.
发明人： SAMMOURA, Firas, N. , YANG, Kuang, L. , SAWYER, William, D.
IPC分类号： G01C19/5698
CPC分类号： H01L21/4846 , G01C19/5698 , H01L21/84 , Y10T29/49002

5. 发明授权

EP2078925B1 Capacitive bulk acoustic wave disk gyroscopes with self-calibration 有权
标题翻译：电容体声波盘陀螺仪，自校准
公开(公告)号：EP2078925B1
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：EP08172158.1
申请日：2008-12-18
申请人： Northrop Grumman Guidance and Electronics Company, Inc.
发明人： Stewart, Robert E.
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5698

6. 发明公开

EP2646773A1 APPARATUS AND METHOD FOR ANCHORING ELECTRODES IN MEMS DEVICES 有权
标题翻译：装置及方法MEMS器件FIXING ELECTRODES
公开(公告)号：EP2646773A1
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：EP11794360.5
申请日：2011-12-01
申请人： Analog Devices, Inc.
发明人： JUDY, Michael, W. , GEEN, John A. , JOHARI-GALLE, Houri
IPC分类号： G01C19/5698 , G01C19/5684
CPC分类号： G01C19/5698 , G01C19/5684 , Y10T29/49002
摘要： One or more electrodes that interact with a movable mass in a MEMS device are anchored or otherwise supported from both the top and bottom and optionally also from one or more of the lateral sides other than the transduction side (i.e., the side of the electrode facing the mass) in order to severely restrict movement of the electrodes such as from interaction with the mass and/ or external forces.

7. 发明公开

EP2035776A1 APPARATUS AND METHOD FOR DETECTING A ROTATION 有权
标题翻译：用于检测旋转的装置和方法
公开(公告)号：EP2035776A1
公开(公告)日：2009-03-18
申请号：EP07724834.2
申请日：2007-05-03
申请人： Infineon Technologies AG
发明人： AIGNER, Robert
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5698
摘要： A rotation sensor has a substrate (112) with a first surface (114) and a second surface (116). A shear-wave transparent mirror (106) is arranged on the first surface (114) of the substrate (112), and a shear-wave isolator (104) is arranged above the shear-wave transparent mirror (106), the shear-wave transparent mirror (106) and the shear-wave isolator (104) being arranged separated from each other to define a Coriolis zone (124) there between. A bulk-acoustic-wave resonator (102) is arranged above the shear-wave isolator (104), and a shear-wave detector (108) is arranged on the substrate (112) in a direction, in which a shear-wave (128) generated by the bulk-acoustic-wave resonator (102) upon rotation propagates.
摘要翻译：旋转传感器具有具有第一表面（114）和第二表面（116）的衬底（112）。在基板（112）的第一表面（114）上设置有剪切波透镜（106），在剪切波透镜（106）的上方设置有剪切波隔离器（104）（106）和剪切波隔离器（104）彼此分开布置以在其间限定科里奥利区（124）。在剪切波隔离器（104）的上方配置体声波谐振器（102），在该基板（112）上，在剪切波（（104））的方向上配置剪切波检测器（108） 128）在旋转传播时由体声波谐振器（102）产生。

8. 发明公开

EP0145534A1 Gyromètre acoustique 有权
标题翻译：声陀螺仪。
公开(公告)号：EP0145534A1
公开(公告)日：1985-06-19
申请号：EP84402137.8
申请日：1984-10-24
申请人： BADIN-CROUZET
发明人： Gohin, Christian , Leblond, Henri
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04
CPC分类号： G01C19/5698
摘要： @ L'invention concerne un gyromètre, sans rotor matériel, du type utilisant les forces de Coriolis sur les particules d'un fluide contenu dans une cavité résonnante.
Il comporte, en plus des moyens d'excitation et des moyens de détections classiques, des moyens pour réaliser l'asservissement en phase de l'oscillation acoustique longitudinale dans la cavité et utilise un mode de couplage faible entre excitateur et cavité.
Le gyromètre selon l'invention permet de s'affranchir des variations de longueur de la cavité et des fluctuations de la vitesse de propagation des oscillations dans le fluide en fonction de la température.

9. 发明授权

EP2646773B1 APPARATUS AND METHOD FOR ANCHORING ELECTRODES IN MEMS DEVICES 有权
标题翻译：装置及方法MEMS器件FIXING ELECTRODES
公开(公告)号：EP2646773B1
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：EP11794360.5
申请日：2011-12-01
申请人： Analog Devices, Inc.
发明人： JUDY, Michael, W. , GEEN, John A. , JOHARI-GALLE, Houri
IPC分类号： G01C19/5698 , G01C19/5684
CPC分类号： G01C19/5698 , G01C19/5684 , Y10T29/49002

10. 发明公开

EP2778608A2 XY-axis gyroscopes with electrode configuration for detecting quadrature errors and out-of-plane sense modes 审中-公开
标题翻译： XY轴陀螺仪具有用于检测正交误差的电极结构，和扫描模式从所述平面
公开(公告)号：EP2778608A2
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：EP14157766.8
申请日：2014-03-05
申请人： Analog Devices, Inc.
发明人： Johari-Galle, Houri , Clark, William A.
IPC分类号： G01C19/5691
CPC分类号： G01C19/56 , G01C19/5677 , G01C19/5684 , G01C19/5698
摘要： Various embodiments include feedback circuits for tuning the drive modes of a shell-type gyroscope, while other embodiments include separate circuits for tuning the sense mode of a shell-type gyroscope to reduce or avoid quadrature errors. Still other embodiments include circuits to excite the sense modes (i.e., the out-of-plane modes) of a gyroscope without requiring the application of a rotation to the gyroscope, to ensure that the sense modes are aligned with the sense electrodes.
摘要翻译：各种实施例包括用于调谐的壳型陀螺仪的驱动模式的反馈电路，而其它实施例包括用于调谐的壳型陀螺仪的感测模式，以减少或避免正交误差单独的电路。其他实施例包括电路以激发陀螺仪的感测模式（即，出平面外模式），而无需旋转的应用，陀螺仪，以确保模具DASS感模式与感测电极对齐。

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