专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

EP4372791A3 TOOL ARCHITECTURE FOR WAFER GEOMETRY MEASUREMENT IN SEMICONDUCTOR INDUSTRY 审中-公开
公开(公告)号：EP4372791A3
公开(公告)日：2024-06-26
申请号：EP24166093.5
申请日：2020-09-02
申请人： Nanjing ZhongAn Semiconductor Equipment Ltd
发明人： ZENG, An, Andrew
IPC分类号： G03F9/00 , G03F7/00 , G01B11/30 , G01B7/06 , G01B11/06 , H01L21/683 , G01B5/00 , G01B7/28 , G01B7/34 , G01B9/02015
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B11/306 , G01B9/02031 , G01B5/0004 , H01L22/12 , H01L21/68742 , H01L21/67288 , G03F7/70783 , G03F7/7085 , G01B2210/6220130101 , G01B7/08 , G01B11/0608 , B25B11/005 , G01B7/082 , G01B7/345 , G01B7/28
摘要： A semiconductor equipment architecture WGT for wafer shape and flatness measurement is disclosed. The semiconductor equipment architecture WGT includes a reflective air-bearing chuck and a hybrid wafer thickness gauge. Also disclosed are the corresponding methods of measuring wafer shape and flatness using the architecture, the air-bearing chuck and the hybrid wafer thickness gauge.

2. 发明公开

EP3309502A1 DEVICE FOR CHECKING THE ACCURACY OF ROD MATERIALS 审中-公开
标题翻译：检查杆材准确性的装置
公开(公告)号：EP3309502A1
公开(公告)日：2018-04-18
申请号：EP17466013.4
申请日：2017-10-12
申请人： Vojtechhouse s.r.o.
发明人： Vojtech, Lukás
IPC分类号： G01B7/34 , G01B7/28 , G01B7/287
CPC分类号： G01B7/345 , G01B7/281 , G01B7/287
摘要： A device for checking the accuracy of rod materials, in particular a device for checking the accuracy of half-finished rod materials, especially for checking the flatness and/or pitch and/or straightness and/or cylindricalness and/of the rod materials in round form and/or profiles and/or tubes with a circular cross-section or a cross-section having a nearly circular cross-section such as multiple angle profiles, which comprises at least one measuring grid (1) and at least one measuring device (2) for forming tolerance planes (3).
List of Reference Marks
1
measuring grid
2
measuring device
3
tolerance plane
4
line sensor
5
rod material
6
point sensor
7
line
8
height-adjustable carrier
9
drive means
10
sensor
11
measuring area
12
glider
13
sorting means
14
stack of bar material falling within tolerance
15
stack of bar material not falling within tolerance
16
container
17
control positions
18
safety mechanism
19
cart
20
container of rod material
21
signalling means
22
measuring plane
23
contact field of the measuring device
24
level above the tolerance plane
25
edge of the rod material I
26
edge of rod material II
摘要翻译：一种用于检查棒材准确度的装置，特别是用于检查半成品棒材准确度的装置，特别是用于检查圆形棒材的平直度和/或间距和/或直线度和/或圆柱度和/或（1）和至少一个测量装置（1）的形状和/或轮廓和/或管具有圆形横截面或具有近似圆形横截面的横截面， 2）用于形成公差平面（3）。参考标记列表1测量栅2测量装置3公差平面4线传感器5杆材料6点传感器7线8高度可调的载体9驱动装置10传感器11测量区域12滑翔机13分选装置14堆材料落入公差 15堆棒材料未落入公差范围内16容器17控制位置18安全机构19推车20棒材料容器21信号装置22测量平面23测量装置的接触区域24在公差平面上的水平面25棒材边缘I 杆材料26的边缘II

3. 发明公开

EP1048370A3 Messrolle zum Feststellen von Planheitsabweichungen 审中-公开
公开(公告)号：EP1048370A3
公开(公告)日：2003-10-01
申请号：EP00108491.2
申请日：2000-04-19
申请人： BFI VDEh- Institut für angewandte Forschung GmbH
发明人： Mücke, Gert , Neuschütz, Eberhard
IPC分类号： B21B38/02 , G01B7/287 , G01B7/34 , G01L5/10
CPC分类号： G01B7/345 , B21B38/02 , G01B7/287 , G01L5/045
摘要： Eine Meßrolle zum Feststellen von Planheitsabweichungen beim Walzen von Metallband mißt beispielsweise die Spannungsverteilung mit Hilfe von Kraftmeßgebern über die Breite des Bandes, die in Ausnehmungen der Meßrolle mit Abstand zur Wandung der Ausnehmung angeordnet und somit von einem Ringspalt umgeben sind. Der Ringspalt ist nach außen hin verschlossen und an achsparallele Kanäle zum Zu- und Abführen eines Kühlmittels angeschlossen.
摘要翻译：具有位于冷却剂通道（14,18）附近的凹陷传感器（3）的条带平面度测量辊是新的。用于确定薄带轧制过程中的平坦度偏差的测量辊在传感器（3）的位于凹部（2）中的区域中具有与凹槽间隔开的冷却剂通道（14,18）。

4. 发明公开

EP1249683A2 Procédé de détection de défauts de planéité 有权
标题翻译：一种用于在平面检测缺陷的方法
公开(公告)号：EP1249683A2
公开(公告)日：2002-10-16
申请号：EP02290887.5
申请日：2002-04-09
申请人： Vai Clecim
发明人： Faure, Jean-Paul , Malard, Thierry
IPC分类号： G01B7/34 , G01B7/287 , G01L5/04
CPC分类号： G01L5/045 , G01B7/345
摘要： L'invention a pour objet un procédé de détection des défauts latents de planéité dans un produit en bande (2) appliqué sous traction sur un secteur angulaire (A) d'un rouleau de mesure (1) comprenant une pluralité de zones de détection (4) écartées comprenant chacune un capteur (3) d'émission, à chaque tour, d'un signal de mesure ayant une valeur en charge (i) qui est comparée, à chaque tour, avec une valeur de référence, de façon à déterminer, dans chaque zone longitudinale de la bande (2), une information représentative de la contrainte de traction appliquée dans cette zone.
Selon l'invention, on mesure deux valeurs à vide (i 1 , i 2 ) du signal émis par chaque capteur (3), respectivement avant et après le passage de la zone de détection correspondante (4) dans le secteur angulaire (A) d'application de la bande (2) et la valeur de référence (i o ) à laquelle est comparée, à chaque tour, la valeur en charge (i) du signal émis par chaque capteur (3) est obtenue par combinaison desdites valeurs à vide, respectivement antérieure (i 1 ) et postérieure (i 2 ).

5. 发明公开

EP1010965A3 Sensor for measuring degree of flatness 审中-公开
标题翻译：传感器，用于检测Planaritätsgrads
公开(公告)号：EP1010965A3
公开(公告)日：2000-10-18
申请号：EP99106238.1
申请日：1999-04-13
申请人： Super Silicon Crystal Research Institute Corp. , Ade Corporation
发明人： Okwa, Shinji , Abbe, Robert C.
IPC分类号： G01B7/34 , G01B11/30
CPC分类号： G01B7/345
摘要： A sub sensor for measuring a small area is integrally incorporated in a main sensor for measuring a large area and a part in the vicinity of the edge of a wafer is measured by the sub sensor, while a center of a wafer is measured by the main sensor.

6. 发明公开

EP0929791A1 PROCEDE ET DISPOSITIF DE MESURE DE DEFORMATION DE TUBE GUIDE 失效
标题翻译：方法和设备测量领导管道的应变
公开(公告)号：EP0929791A1
公开(公告)日：1999-07-21
申请号：EP97943016.0
申请日：1997-09-29
申请人： FRAMATOME , COMPAGNIE GENERALE DES MATIERES NUCLEAIRES
发明人： DESCOT, Pascal , SAVIN, Eric
IPC分类号： G01B7 , G21C17
CPC分类号： G01B7/345 , G21C17/017 , G21Y2002/201 , G21Y2002/304 , G21Y2004/30 , G21Y2004/40
摘要： In order to measure the deformation of a guide tube of a nuclear fuel assembly (14), an eddy current sensor (38) is horizontally displaced so as to make it pass successively on a vertical rectilinear metal mark (42), and on the guide tubes of a first row of the assembly (14) maintained in vertical position; the output signal of the sensor is measured and the positions of the sensor (38) corresponding to the extrema of the signal with respect to said mark are memorised; this step is repeated at several heights on the row, then on the other rows. The same steps are repeated displacing the sensor (38) in a direction orthogonal to the first. From the memorised positions, the amplitude and the direction of the positional deviations with respect to the nominal position for a rectilinear tube, at each of these heights are computed.

7. 发明授权

EP0578899B1 Process for measuring the planarity degree of a dielectric layer in an integrated circuit and integrated circuit including means for performing said process 失效
标题翻译：一种用于测量在集成电路的电介质层的平面性的程度的方法和具有用于执行这种方法的装置的集成电路
公开(公告)号：EP0578899B1
公开(公告)日：1996-12-27
申请号：EP92830382.5
申请日：1992-07-15
申请人： SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.r.l.
发明人： Losavio, Aldo , Crisenza, Giuseppe Paolo , De Santi, Giorgio
IPC分类号： G01B7/34 , G01B21/30
CPC分类号： G01B21/30 , G01B7/345

8. 发明授权

EP0467117B1 Vorrichtung zum Messen der Dicke und/oder der Ungleichmässigkeit von Vliesen oder Watten an Spinnereivorbereitungsmaschinen 失效
标题翻译：用于测量纺纱制备机腹板或软填料的厚度和/或不均匀性的装置
公开(公告)号：EP0467117B1
公开(公告)日：1996-03-06
申请号：EP91110548.4
申请日：1991-06-26
申请人： ZELLWEGER LUWA AG
发明人： Baechler, François
IPC分类号： D01H13/32 , G01B7/04
CPC分类号： D01H13/22 , D01G31/006 , G01B7/06 , G01B7/345 , G01L5/045 , G01N33/365

9. 发明授权

EP0455455B1 In situ monitoring technique and apparatus for chemical/mechanical planarization endpoint detection 失效
标题翻译：原位用于确定化学机械Planiervorganges的端部控制的技术和装置。
公开(公告)号：EP0455455B1
公开(公告)日：1994-09-07
申请号：EP91303869.1
申请日：1991-04-29
申请人： AT&T Corp.
发明人： Miller, Gabriel Lorimer , Wagner, Eric Richard
IPC分类号： B24B37/04 , B23Q15/007
CPC分类号： B24B37/013 , G01B7/085 , G01B7/345

10. 发明授权

EP0412987B1 MEANS FOR DETERMINING FORCE APPLIED TO A ROLL BY STRIP MATERIAL 失效
标题翻译：用于测量在角色作用的力从A到当前轨道所产生的作用。
公开(公告)号：EP0412987B1
公开(公告)日：1993-12-15
申请号：EP89905153.6
申请日：1989-04-13
申请人： DAVY McKEE (SHEFFIELD) LIMITED
发明人： HOPE, Thomas 37 St. Mary's Crescent Tickhill , LAWSON, Kenneth, Thomas 14 Cliffe Lane Hathersage , DOBSON, John, Clifford 65 Netherthorpe Way , SWIFT, Colin , SHERMAN, Paul 22 Lodge Hill Drive Kiveton Park
IPC分类号： G01L5/10
CPC分类号： G01L5/045 , G01B7/345
摘要： A roll for determining the force applied to it by strip material moving in the direction of its length and engaging part of the periphery of the roll comprises an arbor having a body of elastic material mounted on it. The elastic material is one whose resistance varies in a predictable manner when subjected to compressive forces.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式