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1. 发明授权

EP2715139B1 VACUUM PUMP 有权
公开(公告)号：EP2715139B1
公开(公告)日：2018-01-10
申请号：EP12793624.3
申请日：2012-05-29
申请人： Ebara Corporation
发明人： KUDARA, Soichi , NIIMURA, Yasuhiro , NAGAYAMA, Masami
IPC分类号： F04C25/02 , F04C18/18 , F04C23/00 , F04C18/12 , F04C13/00 , F04C27/00
CPC分类号： F04C13/007 , F04C18/126 , F04C23/001 , F04C25/02 , F04C27/009 , F04C2220/12 , F04C2220/30 , F04C2220/40 , F04C2240/30 , F04C2280/02
摘要： A vacuum pump (10) includes a pump casing (56) having an inlet port (54a), an outlet port (54b), and pump chambers (50a-50f) defined therein, rotational shafts 60 having opposite ends rotatably supported by bearings (84a, 84b) on the pump casing (56) and extending longitudinally in the pump casing (56), and rotors (62a-62f) housed in the pump chambers (50a-50f) and coupled to the rotational shafts (60) for rotation in unison with the rotational shafts (60). The pump casing (56) has an atmosphere-vented compartment (52) defined therein which is held in fluid communication with the outlet port (54b) of the pump casing (56) and vented to the atmosphere.

2. 发明公开

EP3054164A4 ROTARY COMPRESSOR 有权
标题翻译： ROTATIONSVERDICHTER
公开(公告)号：EP3054164A4
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：EP14849925
申请日：2014-01-29
申请人： FUJITSU GENERAL LTD
发明人： TANAKA JUNYA , KOMINE KENJI
IPC分类号： F04C29/00 , F04C18/356 , F04C23/00 , F04C28/28
CPC分类号： F04C18/3564 , F04C23/008 , F04C28/28 , F04C29/0085 , F04C29/02 , F04C2280/02 , F05C2203/0886
摘要： A rotary compressor includes: a vertically-positioned airtight compressor housing having an upper section in which a discharge portion of a refrigerant is provided and a lower section in which an inlet unit of the refrigerant is provided and lubricant oil is stored; a compressing unit that is disposed in the lower section of the compressor housing and that compresses the refrigerant sucked in via the inlet unit and discharges the refrigerant from the discharge portion; a motor that is disposed in the upper section of the compressor housing and drives the compressing unit via a rotation shaft; and an accumulator that is attached to a side section of the compressor housing and is connected to the inlet unit of the refrigerant. Particularly, inside the accumulator and/or inside the compressor housing in the rotary compressor, silicon dioxide having a crystal structure which contains a vacancy with a diameter equal to or less than a diameter of a water molecule or a composite which includes silicon dioxide having a crystal structure which contains a vacancy with a diameter equal to or less than the diameter of the water molecule is placed.
摘要翻译：一种旋转式压缩机，其特征在于，具备：上下方向密闭型的压缩机壳体，其具有设置有制冷剂的排出部的上部和设置有制冷剂的入口部并存储有润滑油的下部; 压缩单元，所述压缩单元设置在所述压缩机壳体的下部中并压缩经由所述入口单元吸入的制冷剂并从所述排出部排出所述制冷剂; 电动机，其配置在压缩机壳体的上部，经由旋转轴驱动压缩部; 以及蓄压器，该蓄压器附接到压缩机壳体的侧部并连接到制冷剂的入口单元。特别地，累加器的内部和/或在旋转式压缩机的压缩机壳体的内部，具有包含具有的直径大于直径的水分子或复合材料，其包括具有二氧化硅等于或小于一个空位的晶体结构的二氧化硅含有直径等于或小于水分子直径的空位的晶体结构。

3. 发明公开

EP2791508A2 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM EVAKUIEREN EINES RAUMS UND ZUM REINIGEN DES AUS DEM RAUM ABGESAUGTEN GASES 有权
标题翻译：装置和方法疏散面积，并能消除废气THE ROOM
公开(公告)号：EP2791508A2
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：EP12798777.4
申请日：2012-12-12
申请人： Sterling Industry Consult GmbH
发明人： KÖSTERS, Heiner , GOTTSCHLICH, Uwe
IPC分类号： F04B41/06 , F04C19/00 , F04C23/00
CPC分类号： F04C19/004 , B01D47/00 , F04C18/16 , F04C23/005 , F04C25/02 , F04C2220/12 , F04C2240/81 , F04C2280/02
摘要： The invention relates to a device for evacuating a chamber (14) and for purifying the gas extracted from said chamber (14) of any foreign substances. The device comprises a dry-condensing vacuum pump (15) having an input (17) connected to the chamber to be evacuated (14) and which is suitable for maintaining the input pressure at a constant level at the output (18) despite variable conditions. An intermediate line (19) which connects to the output (18) of the dry-condensing vacuum pump (15) and a liquid ring vacuum pump (20), the input of which is connected to the intermediate line (19), are additionally provided. The invention also relates to a corresponding method. The invention makes it possible to purify the gas of any foreign substances reliably and effectively.

4. 发明公开

EP2715138A1 VACUUM PUMP 有权
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：EP2715138A1
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：EP12791988.4
申请日：2012-05-29
申请人： Ebara Corporation
发明人： KUDARA, Soichi , NAGAYAMA, Masami
IPC分类号： F04C25/02 , F04C18/18 , F04C23/00
CPC分类号： F04C25/02 , F04C18/126 , F04C23/001 , F04C29/04 , F04C2220/30 , F04C2240/30 , F04C2280/02
摘要： A vacuum pump (10) has a pump casing (54) including pump chambers (50a-50f) held in fluid communication with each other and arrayed in a longitudinal direction thereof, an inlet port (52a) and an outlet port (52b), a rotational shaft (58) rotatably supported at opposite ends thereof and extending in the longitudinal direction of the pump casing (54), and rotors (60a-60f) housed in the pump chambers (50a-50f) and coupled to the rotational shaft (58). The pump casing (54) includes a first thermally conductive member (72) extending parallel to the rotational shafts (58) substantially the full length of the pump casing (54) in the longitudinal direction thereof, and a second thermally conductive member (74) positioned near an end of the first thermally conductive member (72) at the outlet port (52b) and extending in a transverse direction of the pump casing (54).
摘要翻译：真空泵10具有泵壳体54，入口端口52a和出口端口52b，该泵壳体54包括相互保持流体连通且沿其纵向排列的泵室50a-50f，一个可旋转地支承在其相对两端并沿泵壳体纵向延伸的旋转轴;以及容纳在泵室中并与旋转轴连接的转子， 58）。所述泵壳体（54）包括在所述泵壳体（54）的纵向方向上基本上整个长度地平行于所述转轴（58）延伸的第一导热构件（72），以及第二导热构件（74），其位于所述出口端口（52b）处的所述第一导热构件（72）的端部附近并且在所述泵壳体（54）的横向方向上延伸。

5. 发明授权

EP1967610B1 Fördereinrichtung für Precursor 有权
标题翻译：对于前体输送装置
公开(公告)号：EP1967610B1
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：EP08003421.8
申请日：2008-02-26
申请人： Schott AG
发明人： Bauch, Hartmut , Gudgel, Todd, Dr.
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/52 , B01J4/00 , F04C25/02
CPC分类号： C23C16/52 , C23C16/4485 , F04C2280/02

6. 发明公开

EP2344282A1 VERFAHREN ZUM REINIGEN EINER VAKUUMPUMPE 有权
标题翻译：方法清洁真空泵
公开(公告)号：EP2344282A1
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：EP09740158.2
申请日：2009-10-27
申请人： Oerlikon Leybold Vacuum GmbH , Oerlikon Solar AG, Trübbach
发明人： KANNEN, Ingo , GÖTTLICH, Hagen , SCHNEIDER, Stefan
IPC分类号： B08B3/08 , B08B9/00 , F04C29/00
CPC分类号： B08B3/08 , B08B9/00 , F04C18/16 , F04C2220/10 , F04C2280/02
摘要： The invention relates to an effective method for cleaning a vacuum pump (10) comprising a pump chamber (12) with at least one pump rotor (14), characterized by the steps of: a) filling the pump chamber (12) with a cleaning fluid (28), b) distributing the cleaning fluid (28) in the pump chamber (12), c) dissolving impurities using the cleaning fluid (28) and d) draining the cleaning fluid (28) from the pump chamber (12).

7. 发明公开

EP1643129A1 Composite dry vacuum pump having roots rotor and screw rotor 有权
标题翻译：根茎转子和Sch en or or or or or or or or or or or or or or or or or or or or
公开(公告)号：EP1643129A1
公开(公告)日：2006-04-05
申请号：EP05109115.5
申请日：2005-09-30
申请人： LOT Vacuum Co., Ltd.
发明人： Lim, Moon Gi
IPC分类号： F04C23/00 , F04C18/16 , F04C18/12 , F04C25/02 , F04C29/00 , F01C21/02
CPC分类号： F01C21/02 , F04C18/086 , F04C18/126 , F04C18/16 , F04C23/005 , F04C25/02 , F04C29/0042 , F04C29/0092 , F04C2220/12 , F04C2220/30 , F04C2240/10 , F04C2240/52 , F04C2280/02
摘要： Disclosed is a dry vacuum pump (1) for evacuating a processing chamber in semiconductor or display manufacturing device, or for evacuating the gaseous substances and/or the byproducts generated in process chamber. The dry vacuum pump does not need a partition wall between a roots rotor (14) and a screw rotor (18). In the dry vacuum pump, a space (16, 16') is formed on the connecting portion to the roots rotor (14) among through the under sides of the roots rotor (14) and the screw rotor (18) to stay the object substance thereon.
摘要翻译：公开了一种用于抽空半导体或显示器制造装置中的处理室或用于抽空处理室中产生的气态物质和/或副产物的干式真空泵（1）。干式真空泵不需要根部转子（14）和螺杆转子（18）之间的分隔壁。在干式真空泵中，在根部转子（14）的下侧和螺杆转子（18）之间的与根部转子（14）的连接部分上形成有空间（16,16'），以保持物体物质。

8. 发明公开

EP0365695A1 Zweiwellenvakuumpumpe mit Schöpfraum 失效
标题翻译： Zweiwellenvakuumpumpe mitSchöpfraum。
公开(公告)号：EP0365695A1
公开(公告)日：1990-05-02
申请号：EP88117651.5
申请日：1988-10-24
申请人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： Berges, Hanns-Peter, Dr.
IPC分类号： F04C29/00 , F04C23/00
CPC分类号： F04C18/123 , F04C13/005 , F04C23/001 , F04C29/0007 , F04C2220/12 , F04C2280/02
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Zweiwellenvakuumpumpe (1) mit einem im Schöpfraum (11, 12, 13) rotierenden Klauenrotorpaar (4, 5; 6, 7; 8, 9), das gemeinsam mit der Schöpfraumwandung eine Saugseite (47) und eine Druckseite (48) bildet; um zu verhindern, daß sich in den Schöpfraum gelangende Feststoffpartikel ablagern, wird vorgeschlagen, auf der Druckseite (48) des Schöpfraumes (11, 12, 13) die Mündung (49) einer Spülgasleitung (52, 53) anzuordnen; mit Hilfe eines durch die Mündung (49) zugeführten Spülgases können die Partikel in der Schwebe gehalten und ausgefördert werden.
摘要翻译：本发明涉及一种双轴真空泵（1），其具有在抽拉室（11,12,13）中旋转的一对爪式转子（4,5; 6,7; 8,9），该对转子与抽吸室壁为吸入侧（47）和压力侧（48）; 为了防止进入拉伸室中的固体颗粒沉积，建议在抽吸室（11,12,13）的压力侧（48）上布置吹扫气体管线的端口（49）（52,53）; 借助于通过端口（49）进料的吹扫气体，可以将颗粒保持悬浮并传出。 ... ...

9. 发明公开

EP3239525A1 ZWEISPINDELIGE SCHRAUBENSPINDELPUMPE IN EINFLUTIGER BAUWEISE 有权
标题翻译：双螺杆螺杆泵在通气结构中的应用
公开(公告)号：EP3239525A1
公开(公告)日：2017-11-01
申请号：EP17172594.8
申请日：2015-01-26
申请人： Jung & Co. Gerätebau GmbH
发明人： JUNG, Hans , CHRISTOV, Weshen
IPC分类号： F04C2/16 , F04C13/00
CPC分类号： F04C2/16 , F04C13/004 , F04C2240/20 , F04C2280/02
摘要： Die Erfindung betrifft eine zweispindelige Schraubenspindelpumpe (10) in einflutiger Bauweise mit einem Pumpengehäuse (11), das einen Pumpenabschnitt (12), einen Lagerabschnitt (16) und einen Getriebeabschnitt (17) mit einem Getrieberaum (32) aufweist, wobei der Lagerabschnitt (16) und der Pumpenabschnitt (12) getrennt voneinander ausgeführt sind, mit einem Fördergehäuseteil (13) als Bestandteil des Pumpenabschnitts (12), in dem zwei auf Wellen (22, 23) angeordnete Förderschrauben (24, 25) vorgesehen sind, wobei die Wellen (22, 23) im Lagerabschnitt (16) gelagert sind (Außenlagerung) und sich in den Getriebeabschnitt (17) erstrecken. Aufgabe der Erfindung ist es, die vorgenannte Pumpe (10) dahingehend zu verbessern, dass eine Partikelbildung vermieden wird. Gelöst wird die Aufgabe dadurch, dass das Pumpengehäuse (11) einen Mischerabschnitt (14) aufweist, der mit dem Pumpenabschnitt (12) verbunden ist, dass ein Mischergehäuseteil (15) vorgesehen ist, in den sich die Wellen (22, 23) erstrecken, und dass auf den Wellen (22, 23) Mischelemente (18, 19) vorgesehen sind.
摘要翻译：本发明涉及的单流设计的双螺杆泵（10）与具有一个泵部分（12），轴承部（16）的泵壳体（11）和具有齿轮腔（32）的发送部分（17），其中，所述轴承部分（16 ）和泵部（12）彼此分开地执行的，与作为泵部（12），其中两个（在轴22的部件的传送器外壳部分（13），23），其布置传送螺杆（24，25）被提供，其中，所述轴（ 22，23）安装在轴承部分（16）（外轴承）中并延伸到齿轮部分（17）中。本发明的目的是将上述泵（10）改进到避免颗粒形成的程度。该目的得以实现，所述泵壳体（11）具有连接到所述泵部（12）的混合器部分（14），即一个混合器外壳部分（15）设置，其中，所述轴（22，23）延伸，并且在轴（22,23）上设置混合元件（18,19）。

10. 发明公开

EP2910784A1 Zweispindelige Schraubenspindelpumpe in einflutiger Bauweise 有权
标题翻译：单流程设计双螺杆泵
公开(公告)号：EP2910784A1
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：EP15000217.8
申请日：2015-01-26
申请人： Jung & Co. Gerätebau GmbH
发明人： Jung, Hans , Weshen, Christov
IPC分类号： F04C2/16 , F04C13/00
CPC分类号： F04C2/16 , F04C13/004 , F04C2240/20 , F04C2280/02
摘要： Die Erfindung betrifft eine zweispindelige Schraubenspindelpumpe (10) in einflutiger Bauweise mit einem Pumpengehäuse (11), das einen Pumpenabschnitt (12), einen Lagerabschnitt (16) und einen Getriebeabschnitt (17) mit einem Getrieberaum (32) aufweist, wobei der Lagerabschnitt (16) und der Pumpenabschnift (12) getrennt voneinander ausgeführt sind, mit einem Fördergehauseteil (13) als Bestandteil des Pumpenabschnitts (12), in dem zwei auf Wellen (22, 23) angeordnete Förderschrauben (24, 25) vorgesehen sind, wobei die Wellen (22, 23) im Lagerabschnitt (16) gelagert sind (Außenlagerung) und sich In den Getriebeabschnitt (17) erstrecken. Aufgabe der Erfindung ist es, die vorgenannte Pumpe (10) dahingehend zu verbessern, dass eine Partikelbildung vermieden wird. Gelöst wird die Aufgabe dadurch, dass das Pumpengehäuse (11) einen Mischerabschnitt (14) aufweist, der mit dem Pumpenabschnitt (12) verbunden ist, dass ein Mischergehäuseteil (15) vorgesehen ist, in den sich die Wellen (22, 23) erstrecken, und dass auf den Wellen (22, 23) Mischelemente (18, 19) vorgesehen sind.
摘要翻译：本发明涉及的单流设计的双螺杆泵（10）与具有一个泵部分（12），轴承部（16）的泵壳体（11）和具有齿轮腔（32）的发送部分（17），其中，所述轴承部分（16 ）和Pumpenabschnift（12）彼此分开的泵部分（12），其中两个（在轴22的一个组件执行，具有Fördergehauseteil（13），23），其布置传送螺杆（24，25）被提供，其中，所述轴（（外轴承）和（在透射部17）的轴承部（16安装22，23））延伸。本发明的目的是改进前述的泵（10）到该颗粒形成避免了效果。该目的得以实现，所述泵壳体（11）具有连接到所述泵部（12）的混合器部分（14），即一个混合器外壳部分（15）设置，其中，所述轴（22，23）延伸，并且所述轴（22，23）混合元件（18，19）被提供。

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