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    • 6. 发明公开
    • Procede de production de films ultra-minces de ferrites
    • Herstellungsverfahren vonUltradünnschichtenaus Ferriten
    • EP2050842A1
    • 2009-04-22
    • EP08290976.3
    • 2008-10-17
    • COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
    • Ramos, AnaMoussy, Jean-BaptisteGuittet, Marie-JosephGaitoer-Soyer, Martine
    • C30B23/02C30B29/26H01F10/20
    • H01F10/20C30B23/002C30B23/005C30B29/26
    • Procédé de fabrication permettant la croissance par épitaxie par jets moléculaires (MBE) assistée par plasma d'oxygène atomique de couches ultra-minces de ferrites de structure spinelle.
    • 通过由原子氧等离子体辅助的分子束外延(MBE)制备二元铁素体或三元铁素体的薄层,包括在单晶材料中选择衬底; 将基底放置在生长室中; 调整压力 在> = 350℃下加热衬底; 同时使衬底经受原子氧流,铁原子流和其他原子流; 相对于沉积物的所需化学计量来控制流; 在获得所需厚度的沉积物之后停止原子氧和原子的供应。 通过由原子氧等离子体辅助的分子束外延(MBE)制备式(AFe 2 O 4)的二元铁氧体或式(ABFe 2 O 4)的三元铁素体的薄层包括选择保留其晶体结构的单晶材料中的衬底 温度> 350℃; 将基底放置在生长室中; 将压力调节到生长室中允许通过分子束外延生长的值; 在> 350℃的温度下加热衬底; 同时使基板进行原子氧流,铁原子流和其他原子流(A为二元铁素体,A和B为三元铁素体); 控制流相对于沉积物的所需化学计量(AFe 2O 4或ABFe 2 O 4),其中原子流(铁(Fe),A和任选的B)的总和为0.5-6A /分钟; 在获得所需厚度的沉积物之后,在(1.33×10 -4> -6.66×10 -4)的压力(p)下停止原子氧和原子(铁(Fe),A和任选的B) )在过程的前15分钟内逐渐变化。 A,B:能与Fe和O组合的总化学成分,以产生铁素体。
    • 9. 发明公开
    • Procédé de préparation par recuit rapide d'une couche mince en matériau cristallisé du type oxyde
    • 通过快速退火生产氧化物型结晶薄层的方法
    • EP0480789A3
    • 1995-04-05
    • EP91402568.9
    • 1991-09-26
    • COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
    • Bechevet, BernardDaval, JacquesRolland, BernardValon, Bruno
    • C30B1/02C30B29/28
    • C30B1/023C30B29/22C30B29/225C30B29/24C30B29/26C30B29/28
    • L'invention concerne la préparation d'une couche mince (5) d'oxyde cristallisé tel qu'un grenat, une ferrite spinelle, une hexaferrite, une perovskite, un oxyde acousto-optique, un oxyde à transition de phase ou un oxyde supraconducteur utilisant un recuit par irradiation au moyen d'une lampe (1) bien que l'oxyde à cristalliser soit transparent au rayonnement de la lampe. On prépare tout d'abord une couche mince amorphe d'un oxyde sous-stoechiométrique en oxygène des mêmes éléments que l'oxyde à cristalliser pour obtenir une couche opaque, absorbant le rayonnement. On soumet ensuite cette couche d'oxyde sous-stoechiométrique au recuit sous rayonnement pour la cristalliser et on restaure la stoechiométrie en oxygène de la couche cristallisée pour la rendre transparente. Les couches minces préparées de cette façon sont utilisables en particulier dans les disques thermo-magnéto-optiques réinscriptibles sur des substrats ne résistant pas à la température de cristallisation de cette couche, par exemple des substrats en matériau organique.
    • 制备诸如石榴石,尖晶石铁素体,六铁氧体,钙钛矿,声光氧化物,相变过氧化物或超导氧化物的结晶氧化物薄层(5),其使用通过灯照射进行退火 (1)虽然待结晶的氧化物对于灯的辐射可能是透明的。 首先,制备薄氧化物,该氧化物在与待结晶的氧化物相同的元素的氧中是亚化学计量的,以获得吸收辐射的不透明层。 然后将该亚化学计量氧化物层在照射下进行退火以使其结晶,并且恢复关于结晶层的氧的化学计量,使其透明。 以这种方式制备的薄层可以特别用于不能承受该层的结晶温度的基底上的可重新连接的热电磁光盘,例如由有机材料制成的基底。