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    • 6. 发明公开
    • Metall-Keramik-Substrat sowie Verfahren zum Herstellen eines solchen Substrates
    • Verfahren zum Herstellen eines Metall-Keramik-Substrates
    • EP2447235A1
    • 2012-05-02
    • EP11008249.2
    • 2011-10-13
    • Curamik Electronics GmbH
    • MEYER, Andreas Dipl.-Ing.SCHULZ-HARDER, Jürgen Dr.
    • C04B37/00C04B37/02C04B41/51H05K3/38H01L23/373
    • C04B37/006B82Y30/00C04B35/63452C04B37/021C04B37/026C04B37/028C04B2235/5248C04B2235/5288C04B2237/121C04B2237/124C04B2237/343C04B2237/348C04B2237/366C04B2237/368C04B2237/40C04B2237/402C04B2237/407C04B2237/62C04B2237/68C04B2237/704C04B2237/706C04B2237/708C04B2237/72H01L23/3735H01L2924/0002Y10T156/10Y10T428/12542Y10T428/12549H01L2924/00
    • Metall-Keramik-Substrat, insbesondere Substrat für elektrische Schaltkreise oder Module mit wenigstens einer eine erste Oberflächenseite des Metall-Keramik-Substrates bildenden Metallschicht und mit wenigstens einer eine zweite Oberflächenseite des Metall-Keramik-Substrates bildenden Metallschicht, wobei diese äußeren Metallschichten jeweils durch Bonden flächig mit den Oberflächenseiten eines plattenförmigen Substratkörpers verbunden sind.
    • 金属陶瓷基板包括形成金属陶瓷基板的第一表面侧的第一外部金属层(4)和形成金属 - 陶瓷基板的第二表面侧的第二外部金属层(5)。 外部金属层通过与由两个陶瓷层(2)组成的板状基板主体的表面侧的平坦接合连接,以获得改进的机械,热和电性能以及间隔开的单个中间层(3) 陶瓷层。 金属陶瓷基板包括形成金属陶瓷基板的第一表面侧的第一外部金属层(4)和形成金属 - 陶瓷基板的第二表面侧的第二外部金属层(5)。 外部金属层通过与由两个陶瓷层(2)组成的板状基板主体的表面侧的平坦接合连接,以获得改进的机械,热和电性能以及间隔开的单个中间层(3) 陶瓷层。 中间层:形成内金属层(3.1); 与陶瓷层连接; 布置在陶瓷层之间; 并且在邻近中间层的陶瓷层的整个表面侧上自身延伸。 中间层的层厚度大于外部金属层的层厚度和/或陶瓷层之一的厚度。 中间层由两个内部金属层和/或内部金属层之一和具有内部陶瓷层的内部绝缘层形成。 形成中间层的内层通过平坦接合连接在一起。 中间层形成有:内绝缘层,布置在两个内金属层之间; 以及用于在接合期间形成用于接收释放的气体和/或气态和/或液体组分的通道或室的凹部。 凹部在金属陶瓷基板的周向侧开口。 中间层包括设置在金属层之一和凹部中的两个内部金属层。 凹部和/或其内部空间在内金属层的与内层金属层连接的另一层与中间层相连的一侧开口。 相邻陶瓷层的凹部和/或其内部空间由形成内部金属层的底部分开。 金属陶瓷基板包括断裂强度,其大于层厚度等于通过中间层间隔开的两个陶瓷层的层厚度之和的单个陶瓷层的断裂强度。 形成中间层或其材料的金属层的布氏硬度小于40.形成中间层的内金属层与每个相邻陶瓷层的粘合或剥离强度大于10N / mm连接。 在彼此间隔开的陶瓷层中设置电镀通孔,其中通孔连接布置在陶瓷层上的外部金属层或外部金属层的金属层区域是机械地,热和/或电 与内金属层连接。 金属陶瓷衬底包括18kV / mm的电压或电介质强度。 通过直接铜键合和/或主动焊接和/或硬焊接和/或使用聚合物或环氧树脂基粘合剂与纤维和/或使用导电粘合剂来产生相邻层之间的连接。 包括用于制造金属陶瓷基板的方法的独立权利要求。