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1. 发明公开

EP3190082A1 ELECTROMECHANICAL DEVICE, RELATED MANUFACTURING METHOD, AND RELATED ELECTRONIC DEVICE 审中-公开
标题翻译：机电装置，相关制造方法和相关电子装置
公开(公告)号：EP3190082A1
公开(公告)日：2017-07-12
申请号：EP16207261.5
申请日：2016-12-29
申请人： Semiconductor Manufacturing International Corporation (Shanghai) , Semiconductor Manufacturing International Corporation (Beijing)
发明人： WANG, Wei , ZHENG, Chao
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00801 , B81B7/0025 , B81B2201/0257 , B81B2203/0307 , B81B2203/0315 , B81C2201/0133 , B81C2201/053
摘要： An electromechanical device may include a first substrate, a second substrate, a connector, and a protector. The connector may be formed of a first dielectric material and may be positioned between the first substrate and the second substrate. A first side of the connector may directly contact the first substrate. The protector may be formed of a second dielectric material and may directly contact a second side of the connector.
摘要翻译：机电装置可以包括第一基板，第二基板，连接器和保护器。连接器可以由第一介电材料形成并且可以位于第一基板和第二基板之间。连接器的第一侧可以直接接触第一基板。保护器可以由第二电介质材料形成并且可以直接接触连接器的第二侧。

2. 发明授权

EP1939137B1 Three-dimensional microstructures and methods of formation thereof 有权
标题翻译：三维微结构及其制造方法
公开(公告)号：EP1939137B1
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：EP07150463.3
申请日：2007-12-28
申请人： Nuvotronics, LLC
发明人： Houck, William , Sherrer, David
IPC分类号： B81B3/00 , H01P11/00 , H01P3/06
CPC分类号： H01P3/06 , B81B3/0059 , B81B2203/0109 , B81B2203/0307 , H01P11/005 , Y10T29/49123 , Y10T428/12361 , Y10T428/12389 , Y10T428/24331 , Y10T428/24545

3. 发明公开

EP2697158A1 WAFER WITH RECESSED PLUG 有权
标题翻译： WAFER MIT VERSENKTEM STECKER
公开(公告)号：EP2697158A1
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：EP12717983.6
申请日：2012-04-13
申请人： Robert Bosch GmbH
发明人： GRAHAM, Andrew, B. , YAMA, Gary , O'BRIEN, Gary
IPC分类号： B81C1/00 , H01L21/762
CPC分类号： B81B7/00 , B81B2203/0307 , B81C1/00126 , H01L21/76283
摘要： In one embodiment, a method of forming a plug includes providing a base layer, providing an intermediate oxide layer above an upper surface of the base layer, providing an upper layer above an upper surface of the intermediate oxide layer, etching a trench including a first trench portion extending through the upper layer, a second trench portion extending through the oxide layer, and a third trench portion extending into the base layer, depositing a first material portion within the third trench portion, depositing a second material portion within the second trench portion, and depositing a third material portion within the first trench portion.
摘要翻译：在一个实施例中，形成插头的方法包括提供基底层，在基底层的上表面上方提供中间氧化物层，在中间氧化物层的上表面上方提供上层，蚀刻包括第一延伸穿过上层的沟槽部分，延伸穿过氧化物层的第二沟槽部分和延伸到基层中的第三沟槽部分，在第三沟槽部分内沉积第一材料部分，在第二沟槽部分内沉积第二材料部分并且在所述第一沟槽部分内沉积第三材料部分。

4. 发明公开

EP2541222A1 Dispositif de mesure de pression a sensibilite optimisee 有权
标题翻译： Druckmessgerätmit optimierter Emfpindlichkeit
公开(公告)号：EP2541222A1
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：EP12174451.0
申请日：2012-06-29
申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
发明人： Robert, Philippe , Jourdan, Guillaume
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0052 , B81B2203/0127 , B81B2203/0154 , B81B2203/0307 , B81B2203/053 , G01L9/001 , G01L9/0019 , G01L9/006 , G01L9/0073
摘要： Dispositif de mesure de pression MEMS ou NEMS comportant une membrane (4) déformable suspendue sur un substrat (2), une des faces de la membrane étant destinée à être soumise à la pression à mesurer, des moyens de détection à jauges de contraintes (6) de la déformation de la membrane (4), lesdits moyens de détection (6) étant formés sur le substrat (2) et un bras (14) indéformable, transmettant la déformation de manière amplifiée de la membrane (4) au moyens de détection (6), le bras (14) étant articulé en rotation sur le substrat (2) autour d'un axe (Y) sensiblement parallèle au plan de la membrane (4) et solidaire de la membrane de sorte qu'il transmet aux moyens de détection (6) de manière amplifiée la déformation de la membrane (4).
摘要翻译：该装置具有将盘形可变形膜（4）的变形传递到可变电容式检测器（6）的不可变形的传动臂（14）。臂相对于平行于膜的平面的轴线（Y）可旋转地铰接到绝缘体上硅（SOI）基板（2）上，并且面对与经受压力（P）的面相对的膜的面，使得臂和膜在给定压力之外可彼此一体地移动，并且臂以放大的方式将变形或应力从膜的变形传递到检测器。还包括用于微机电系统（MEMS）和/或纳米机电系统（NEMS）组件的独立权利要求。

5. 发明公开

EP2514712A2 MEMS device with central anchor for stress isolation 有权转让
标题翻译： MEMS-Vorrichtung mit zentralem Anker zur Belastungsisolation
公开(公告)号：EP2514712A2
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：EP12162868.9
申请日：2012-04-02
申请人： Freescale Semiconductor, Inc.
发明人： Lin, Yizhen , Li, Gary G. , McNeil, Andrew C , Zhang, Lisa Z.
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2203/0136 , B81B2203/0307
摘要： A MEMS device (20) includes a proof mass (32) coupled to and surrounding an immovable structure (30). The immovable structure (30) includes fixed fingers (36, 38) extending outwardly from a body (34) of the structure (30). The proof mass (32) includes movable fingers (60), each of which is disposed between a pair (62) of the fixed fingers (36, 38). A central area (42) of the body (34) is coupled to an underlying substrate (24), with the remainder of the immovable structure (30) and the proof mass (32) being suspended above the substrate (24) to largely isolate the MEMS device (20) from package stress. Additionally, the MEMS device (20) includes isolation trenches (80) and interconnects (46, 50, 64) so that the fixed fingers (36), the fixed fingers (38), and the movable fingers (60) are electrically isolated from one another to yield a differential device configuration.
摘要翻译： MEMS器件（20）包括耦合到并围绕不可移动结构（30）的检测质量块（32）。不动结构（30）包括从结构（30）的主体（34）向外延伸的固定指状物（36,38）。检测质量块（32）包括可动指状物（60），每个指状物设置在固定指状物（36,38）的一对（62）之间。主体（34）的中心区域（42）联接到下面的基底（24），其中不可移动的结构（30）的其余部分和证明物质（32）悬挂在基底（24）上方以大大隔离 MEMS器件（20）来自封装应力。另外，MEMS器件（20）包括隔离沟槽（80）和互连（46,50,64），使得固定指状物（36），固定指状物（38）和活动指状物（60）与彼此产生差分器件配置。

6. 发明授权

EP2269109B1 MEMBRANE PERFECTIONNEE NOTAMMENT POUR DISPOSITIF OPTIQUE A MEMBRANE DEFORMABLE 有权转让
标题翻译：改进的膜，尤其是对可变形的膜的光学设备
公开(公告)号：EP2269109B1
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：EP09735541.6
申请日：2009-04-17
申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
发明人： BOLIS, Sébastien , BARBE, Jean-Charles , CHARVET, Pierre-Louis
IPC分类号： G02B26/08 , G02B3/14 , G02B5/08 , G02C7/08 , G02B1/06 , B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0021 , B81B7/0041 , B81B2201/047 , B81B2203/0127 , B81B2203/0307 , B81B2203/053 , B81C2203/0109 , G02B1/06 , G02B3/14 , G02B26/0825
摘要： The invention relates to an optical device having a deformable membrane (2) comprising a flexible film (20) having at least one peripheral anchoring zone (2.3), a central zone (2.1) and an intermediate zone (2.2) between the central zone (2.1) and the anchoring zone (2.3). The membrane also includes one or more movable parts (5.1) of electrostatic actuating means (5), each movable part being formed from a leg (5.11) terminating on one side in a foot (5.12) mechanically fastened to a film-fastening region (200) located in the intermediate zone (2.2) and terminating on the other side in a free end (5.13). The legs (5.11) incorporate a movable electrode (5.2), the free end (5.13) having to be attracted by a fixed electrode (6.2) of the actuating means (5). The free end is placed facing the free end (5.13) so as to deform at least the central zone (2.1) of the membrane (2).

7. 发明公开

EP2346083A1 MEMS SENSOR 有权
标题翻译： MEMS-SENSOR
公开(公告)号：EP2346083A1
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：EP09814664.0
申请日：2009-09-18
申请人： Alps Electric Co., Ltd.
发明人： TAKAHASHI, Toru , GOCHO, Hideki , KOBAYASHI, Kiyoshi
IPC分类号： H01L29/84 , G01P15/08 , G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , B81B7/007 , B81B2203/0307 , B81B2207/07 , B81B2207/097 , B81C2203/036 , G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P2015/0814 , H01L21/84 , H01L27/1203
摘要： Particularly, to provide an MEMS sensor with improved bonding structure between movable electrode unit supported on a first substrate side and each of support conductive unit of a fixed electrode, and a lead layer embedded in an insulating layer of a second substrate side facing the first substrate with an interval therebetween.
An MEMS sensor includes a first substrate 1, a second substrate 2, and a functional layer including a movable electrode unit and a fixed electrode unit which are interposed between the first substrate and the second substrate. A second insulating layer 30, a lead layer 35 and a connection electrode unit 32 are formed on a surface of the second substrate 2, the lead layer being embedded in the second insulating layer, and the connection electrode unit 32 making electrical connection with the lead layer and being individually connected to the support conductive units. A concave portion 37 penetrating up to a surface of the lead layer is formed in a surface of the second insulating layer 30. The connection electrode unit 32 includes a concave region 32a emulating the concave portion 37 and a connection region 32b extending on the surface of the second insulating layer 30 from one of both ends of the concave region. The support conductive units 17 are bonded to the connection region 32b of the connection electrode unit 32.
摘要翻译：特别地，为了提供一种在第一基板侧支撑的可动电极单元与固定电极的支撑导电单元之间具有改善的接合结构的MEMS传感器，以及嵌入在面向第一基板的第二基板侧的绝缘层中的引线层间隔。 MEMS传感器包括第一基板1，第二基板2和包括位于第一基板和第二基板之间的可动电极单元和固定电极单元的功能层。第二绝缘层30，引线层35和连接电极单元32形成在第二基板2的表面上，引线层嵌入第二绝缘层中，并且连接电极单元32与引线电连接并且单独地连接到支撑导电单元。在第二绝缘层30的表面上形成有贯通至引线层的表面的凹部37.连接电极单元32包括模拟凹部37的凹部32a和在该凹部37的表面上延伸的连接区域32b 第二绝缘层30从凹入区域的两端之一。支撑导电单元17接合到连接电极单元32的连接区域32b。

8. 发明公开

EP2269109A1 MEMBRANE PERFECTIONNEE NOTAMMENT POUR DISPOSITIF OPTIQUE A MEMBRANE DEFORMABLE 有权转让
标题翻译：膜PERFECTIONNEE通知POUR DISPOSITIF OPTIQUE膜膜变形
公开(公告)号：EP2269109A1
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：EP09735541.6
申请日：2009-04-17
申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
发明人： BOLIS, Sébastien , BARBE, Jean-Charles , CHARVET, Pierre-Louis
IPC分类号： G02B26/08 , G02B3/14 , G02B5/08 , G02C7/08 , G02B1/06 , B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0021 , B81B7/0041 , B81B2201/047 , B81B2203/0127 , B81B2203/0307 , B81B2203/053 , B81C2203/0109 , G02B1/06 , G02B3/14 , G02B26/0825
摘要： The invention relates to an optical device having a deformable membrane (2) comprising a flexible film (20) having at least one peripheral anchoring zone (2.3), a central zone (2.1) and an intermediate zone (2.2) between the central zone (2.1) and the anchoring zone (2.3). The membrane also includes one or more movable parts (5.1) of electrostatic actuating means (5), each movable part being formed from a leg (5.11) terminating on one side in a foot (5.12) mechanically fastened to a film-fastening region (200) located in the intermediate zone (2.2) and terminating on the other side in a free end (5.13). The legs (5.11) incorporate a movable electrode (5.2), the free end (5.13) having to be attracted by a fixed electrode (6.2) of the actuating means (5). The free end is placed facing the free end (5.13) so as to deform at least the central zone (2.1) of the membrane (2).
摘要翻译：本发明涉及一种具有包括柔性膜（20）的可变形膜（2）的光学装置，柔性膜（20）具有至少一个外围锚定区（2.3），中心区（2.1）和中间区（2.2） 2.1）和锚固区（2.3）。该膜还包括静电致动装置（5）的一个或多个可移动部件（5.1），每个可移动部件由脚（5.11）形成，该脚（5.11）在脚（5.12）的一侧终止，机械地固定到膜紧固区域 200）位于中间区域（2.2）中并且在另一侧的自由端（5.13）处终止。腿（5.11）包括可动电极（5.2），自由端（5.13）必须被致动装置（5）的固定电极（6.2）吸引。自由端面向自由端（5.13）放置，以至少使膜（2）的中心区（2.1）变形。

9. 发明授权

EP1152245B1 Structure mécanique micro-usinée et dispositif incorporant la structure 有权
标题翻译：微制造机械结构和布置具有这样的结构
公开(公告)号：EP1152245B1
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：EP01401050.8
申请日：2001-04-25
申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives , Thales
发明人： Orsier, Elisabeth , Diem, Bernard , Whebe-Alause, Hélène , Lefort, Olivier
IPC分类号： G01P15/00 , B81B3/00 , G01C19/56
CPC分类号： G01P15/08 , B81B3/0051 , B81B2201/0235 , B81B2203/0307 , B81B2203/051 , G01P2015/0814

10. 发明公开

EP2143684A3 Procédé de fabrication d'une structure MEMS/NEMS comportant un ancrage partiellement monocristallin 有权转让
标题翻译：一个MEMS / NEMS结构的制造方法，具有部分单晶锚固
公开(公告)号：EP2143684A3
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：EP09164694.3
申请日：2009-07-06
申请人： Commissariat à l'Energie Atomique
发明人： Robert, Philippe
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00039 , B81B2203/0307
摘要： Procédé de réalisation d'une structure MEMS/NEMS à partir d'un substrat en matériau semi-conducteur monocristallin, la structure comprenant un élément mécanique flexible rattaché au substrat par au moins une zone d'ancrage en matériau partiellement monocristallin (9,10).

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