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1. 发明授权

EP0083672B1 Umfangsschleifscheibe und Verfahren zum Abrichten derselben 有权
标题翻译：研磨轮及其连接方法
公开(公告)号：EP0083672B1
公开(公告)日：1987-03-25
申请号：EP82100085.8
申请日：1982-01-08
申请人： Ernst Winter & Sohn (GmbH & Co.)
发明人： Sawluk, Wlodzimierz, Dr. Ing.
IPC分类号： B24B53/14
CPC分类号： B24B53/003 , B24B53/07 , B24B53/14

2. 发明公开

EP0048356A2 Verfahren zum Abrichten von Schleifscheiben 有权
标题翻译：修整砂轮的方法。
公开(公告)号：EP0048356A2
公开(公告)日：1982-03-31
申请号：EP81106774.3
申请日：1981-08-29
申请人： Ernst Winter & Sohn (GmbH & Co.)
发明人： Meyer, Hans-Robert, Dr.-Ing.
IPC分类号： B24B53/00
CPC分类号： B24B53/053 , B24B53/003
摘要： Gegenstand der Erfindung bildet ein Verfahren zum Abrichten von Schleifscheiben mit Diamant oder kubisch kristallinem Bornitrid unter Anwendung einer angetriebenen Abrichtrolle und einer zusätzlichen Abrichthilfe. Um einen Kornüberstand über die Bindung hinaus zu schaffen, der für die Spanabfuhr beim Schleifen zweckmäßig ist, wurde nach einem bekannten Verfahren nach dem Abrichten einer Diamantschleifscheibe mit einer Diamantabrichtrolle noch eine Nachbearbeitung vorgenommen mit einem feststehenden Abrichtstein. Etwas derartiges ist jedoch nicht durchführbar, wenn beispielsweise eine Schleifscheibe mit einem Gewindeprofil versehen werden soll. Aufgabe der Erfindung ist es, die Möglichkeit zu schaffen, auch Diamantschleifscheiben mit Diamantabrichtrollen profilieren zu können und zwar auch während des Schleifens eines Werkstückes. Dafür ist nach der Erfindung vorgesehen, daß das Abrichten der Schleifscheibe unter Anwendung einer angetriebenen Diamantabrichtrolle sowie einer zusätzlichen angetriebenen Abrichtscheibe erfolgt, die mit einer Relativ-Geschwindigkeit von 0,5 bis 6 m/sek. zu der Umfangsgeschwindigkeit der Diamantschleifscheibe rotiert.
摘要翻译：本发明提供了一种使用从动修整滚轮和一个附加Abrichthilfe敷料与金刚石或立方晶氮化硼的砂轮的方法。为了提供一个晶粒上清液结合除了以上这在研磨过程中适合于排屑，被修整金刚石砂轮用金刚石修整制成，也不是后处理具有固定的修整后制备利用公知的方法。然而，这样的事情是不可行当具有螺纹轮廓的磨轮将被提供，例如。本发明的目的是创造机会，也轮廓金刚石砂轮金刚石工作Stuckes的研磨中的修整均匀。这是根据本发明所提供的是，使用金刚石修整驱动以及一个额外的从动修整轮的砂轮的修整时，为0.5〜6μm的相对速率/秒。旋转到金刚石砂轮的圆周速度。

3. 发明授权

EP1470894B1 Vorrichtung zum Konditionieren einer topfförmigen Schleifscheibe einer Schleifmaschine 无效
标题翻译：一种用于空调装置的研磨机的一个杯形砂轮
公开(公告)号：EP1470894B1
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：EP03405282.9
申请日：2003-04-22
申请人： Agathon AG Maschinenfabrik
发明人： Pfluger, Dr. Walter H.
IPC分类号： B24B53/00 , B24B53/04
CPC分类号： B24B53/005 , B24B53/001 , B24B53/003 , B24B53/04

4. 发明授权

EP1063057B1 Vorrichtung zum Abrichten von Schleifscheiben 有权
标题翻译：装置修整砂轮
公开(公告)号：EP1063057B1
公开(公告)日：2004-11-17
申请号：EP00112642.4
申请日：2000-06-15
申请人： Blohm Maschinenbau GmbH
发明人： Andresen, Dirk , Oppelt, Peter
IPC分类号： B24B53/053 , B24B53/14 , B24B53/00
CPC分类号： B24B53/053 , B24B53/003

5. 发明公开

EP0083672A1 Umfangsschleifscheibe und Verfahren zum Abrichten derselben 有权
标题翻译： Umfangsschleifscheibe und Verfahren zum Abrichten derselben。
公开(公告)号：EP0083672A1
公开(公告)日：1983-07-20
申请号：EP82100085.8
申请日：1982-01-08
申请人： Ernst Winter & Sohn (GmbH & Co.)
发明人： Sawluk, Wlodzimierz, Dr. Ing.
IPC分类号： B24B53/14
CPC分类号： B24B53/003 , B24B53/07 , B24B53/14
摘要： Für das Abrichten sowohl zylindrischer als auch profilierter Umfangsschleifscheiben werden ein Verfahren und eine Vorrichtung vorgeschlagen, bei deren Anwendung nicht nur eine hohe Form- und Laufgenauigkeit der Schleifscheibe (1), sondern auch eine jeweils im voraus zu bestimmende , Topografie ihrer Arbeitsflächen erreicht werden.
Hierzu werden die Drehzahl (n.) der abzurichtenden Schleifscheibe (1) und die Drehzahl (n A ) des Abrichtwerkzeu-' ges (2) in ein bestimmtes Verhältnis m=n 5 :nA gebracht, das durch einen kinematischen Verschluß zwischen der Schleifscheibe (1) und dem Abrichtwerkzeug (2) während des gesamten Abrichtprozesses konstant bleibt. Ist die Umfangsschleifscheibe (1) mittels Zahnräder (Z,, Z 2 , Z 3 , Z 4 , Z 5 und Z 6 ) mit dem Abrichtwerkzeug kinematisch gekoppelt, so bestimmt sich das Drehzahlverhältnis als m=n,:n A = (Z 2 :Z 1 ).(Z 4 :Z 3 ). (Z 6 :Z 5 ).
摘要翻译： 1.砂轮，其呈现基本上沿轴向行进的横向槽，以相等的角度距离放置在其周边，其特征在于，所述槽以1度的最大角距离放置，槽深度为1至约。最大1000亩。

6. 发明公开

EP1334802A4 POLISHER 有权
标题翻译： POLIERVORRICHTUNG
公开(公告)号：EP1334802A4
公开(公告)日：2005-08-31
申请号：EP01901492
申请日：2001-01-22
申请人： EBARA CORP
发明人： KAMIMURA KENJI , KIMURA NORIO , OKAMURA SATOSHI , AIZAWA HIDEO , AKAGI MAKOTO , TOKUSHIGE KATSUHIKO , MATSUO HISANORI , TSUJIMURA MANABU
IPC分类号： B24B53/00 , B24B53/007 , B24B53/017 , H01L21/306 , B24B37/04
CPC分类号： B24B53/017 , B24B29/005 , B24B53/003 , H01L21/30625
摘要： The invention relates to a polisher for polishing a workpiece, such as a semiconductor wafer, so that it may have a flat mirror finish. The polisher comprises a polisher table (1) with a polishing face, and a top ring (3). A workpiece is placed between the polisher table (1) and the top ring (3) and polished by application of a predetermined pressure. The polisher includes at least two dressing units equipped with dressers (7, 11) that are in contact with the surface of polishing cloth to dress the polishing face.
摘要翻译：本发明涉及一种用于抛光诸如半导体晶片的工件的抛光器，以使其可以具有平坦的镜面抛光。抛光机包括具有抛光面的抛光机台（1）和顶环（3）。将工件放置在抛光机台（1）和顶环（3）之间并通过施加预定压力抛光。该抛光机包括至少两个配备有修整器（7,11）的修整单元，修整器（7,11）与抛光布的表面接触以修整抛光面。

7. 发明公开

EP1334802A1 POLISHER 有权
标题翻译：修整研磨布的方法
公开(公告)号：EP1334802A1
公开(公告)日：2003-08-13
申请号：EP01901492.7
申请日：2001-01-22
申请人： EBARA CORPORATION
发明人： KAMIMURA, Kenji, c/o Ebara Corporation , KIMURA, Norio, c/o Ebara Corporation , OKAMURA, Satoshi, c/o Ebara Corporation , AIZAWA, Hideo, c/o Ebara Corporation , AKAGI, Makoto, c/o Ebara Corporation , TOKUSHIGE, Katsuhiko, c/o Ebara Corporation , MATSUO, Hisanori, c/o Ebara Corporation , TSUJIMURA, Manabu, c/o Ebara Corporation
IPC分类号： B24B37/00 , B24B53/02 , H01L21/304
CPC分类号： B24B53/017 , B24B29/005 , B24B53/003 , H01L21/30625
摘要： The present invention relates to a polishing apparatus for polishing a workpiece to be polished, such as a semiconductor wafer, to a flat mirror finish. The polishing apparatus comprises a polishing table having a polishing surface, and a top ring, and the workpiece to be polished is interposed between the polishing table and the top ring and pressed at a predetermined pressure to polish the workpiece. The polishing apparatus comprises at least two dressing units for dressing the polishing surface by being brought into contact with a surface of a polishing cloth.

8. 发明公开

EP1063057A3 Vorrichtung zum Abrichten von Schleifscheiben 有权
标题翻译：装置修整砂轮
公开(公告)号：EP1063057A3
公开(公告)日：2003-06-04
申请号：EP00112642.4
申请日：2000-06-15
申请人： Blohm Maschinenbau GmbH
发明人： Andresen, Dirk , Oppelt, Peter
IPC分类号： B24B53/053 , B24B53/14 , B24B53/00
CPC分类号： B24B53/053 , B24B53/003
摘要： Die Erfindung betrifft das Abrichten von zwei achsgleich angeordneten Schleifscheiben mit Hilfe von zwei entsprechend zugeordneten Abrichtrollen. Es ist das Ziel, das Abrichten einfacher und wirtschaftlicher vorzunehmen. Erreicht wird dies durch zwei an einem gemeinsamen Rollenträger (19) gelagerte Abrichtrollen (9, 11) zwischen denen eine gemeinsame Schwenkachse (21) des Rollenträgers verläuft, um welche die Abrichtrollen wechselweise gegen die zugeordnete Schleifscheibe (3, 4) anstellbar sind.

9. 发明公开

EP1230067A1 SHARPENING DEVICE FOR ROTATING CUTTING TOOLS AND MACHINE EMPLOYING SAID DEVICE 有权
标题翻译：研磨装置用于旋转切割及机床这样的研磨装置
公开(公告)号：EP1230067A1
公开(公告)日：2002-08-14
申请号：EP00981605.9
申请日：2000-11-03
申请人： FABIO PERINI S.p.A.
发明人： BIAGIOTTI, Guglielmo
IPC分类号： B24B3/46 , B26D7/12
CPC分类号： B24B53/003 , B24B3/46 , B24B53/053 , B26D7/12 , Y10T83/303
摘要： A device for sharpening a rotating discoidal cutting tool (13) is described, comprising at least one sharpening grinder (21; 23). The device provides a dressing tool (61; 71) which interacts with said at least one grinder to dress the working surface of said grinder.

10. 发明公开

EP1063057A2 Vorrichtung zum Abrichten von Schleifscheiben 有权
公开(公告)号：EP1063057A2
公开(公告)日：2000-12-27
申请号：EP00112642.4
申请日：2000-06-15
申请人： Blohm Maschinenbau GmbH
发明人： Andresen, Dirk , Oppelt, Peter
IPC分类号： B24B53/053
CPC分类号： B24B53/053 , B24B53/003
摘要： Die Erfindung betrifft das Abrichten von zwei achsgleich angeordneten Schleifscheiben mit Hilfe von zwei entsprechend zugeordneten Abrichtrollen.
Es ist das Ziel, das Abrichten einfacher und wirtschaftlicher vorzunehmen.
Erreicht wird dies durch zwei an einem gemeinsamen Rollenträger (19) gelagerte Abrichtrollen (9, 11) zwischen denen eine gemeinsame Schwenkachse (21) des Rollenträgers verläuft, um welche die Abrichtrollen wechselweise gegen die zugeordnete Schleifscheibe (3, 4) anstellbar sind.
摘要翻译：形成集合体的至少两个砂轮（3,4）具有安装在公共支撑件（19）上的分开调节的修整辊（11）。支撑件在轴（21）上旋转，并且将修整辊交替地定位在修剪位置。旋转轴与研磨主轴（2）的轴平行。其轴与研磨主轴轴平行的支撑件位于可垂直移动的研磨主轴支撑件（6）的上方。

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