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1. 发明授权

EP0083672B1 Umfangsschleifscheibe und Verfahren zum Abrichten derselben 失效
标题翻译：研磨轮及其连接方法
公开(公告)号：EP0083672B1
公开(公告)日：1987-03-25
申请号：EP82100085.8
申请日：1982-01-08
申请人： Ernst Winter & Sohn (GmbH & Co.)
发明人： Sawluk, Wlodzimierz, Dr. Ing.
IPC分类号： B24B53/14
CPC分类号： B24B53/003 , B24B53/07 , B24B53/14

2. 发明公开

EP0048356A2 Verfahren zum Abrichten von Schleifscheiben 失效
标题翻译：修整砂轮的方法。
公开(公告)号：EP0048356A2
公开(公告)日：1982-03-31
申请号：EP81106774.3
申请日：1981-08-29
申请人： Ernst Winter & Sohn (GmbH & Co.)
发明人： Meyer, Hans-Robert, Dr.-Ing.
IPC分类号： B24B53/00
CPC分类号： B24B53/053 , B24B53/003
摘要： Gegenstand der Erfindung bildet ein Verfahren zum Abrichten von Schleifscheiben mit Diamant oder kubisch kristallinem Bornitrid unter Anwendung einer angetriebenen Abrichtrolle und einer zusätzlichen Abrichthilfe. Um einen Kornüberstand über die Bindung hinaus zu schaffen, der für die Spanabfuhr beim Schleifen zweckmäßig ist, wurde nach einem bekannten Verfahren nach dem Abrichten einer Diamantschleifscheibe mit einer Diamantabrichtrolle noch eine Nachbearbeitung vorgenommen mit einem feststehenden Abrichtstein. Etwas derartiges ist jedoch nicht durchführbar, wenn beispielsweise eine Schleifscheibe mit einem Gewindeprofil versehen werden soll. Aufgabe der Erfindung ist es, die Möglichkeit zu schaffen, auch Diamantschleifscheiben mit Diamantabrichtrollen profilieren zu können und zwar auch während des Schleifens eines Werkstückes. Dafür ist nach der Erfindung vorgesehen, daß das Abrichten der Schleifscheibe unter Anwendung einer angetriebenen Diamantabrichtrolle sowie einer zusätzlichen angetriebenen Abrichtscheibe erfolgt, die mit einer Relativ-Geschwindigkeit von 0,5 bis 6 m/sek. zu der Umfangsgeschwindigkeit der Diamantschleifscheibe rotiert.
摘要翻译：本发明提供了一种使用从动修整滚轮和一个附加Abrichthilfe敷料与金刚石或立方晶氮化硼的砂轮的方法。为了提供一个晶粒上清液结合除了以上这在研磨过程中适合于排屑，被修整金刚石砂轮用金刚石修整制成，也不是后处理具有固定的修整后制备利用公知的方法。然而，这样的事情是不可行当具有螺纹轮廓的磨轮将被提供，例如。本发明的目的是创造机会，也轮廓金刚石砂轮金刚石工作Stuckes的研磨中的修整均匀。这是根据本发明所提供的是，使用金刚石修整驱动以及一个额外的从动修整轮的砂轮的修整时，为0.5〜6μm的相对速率/秒。旋转到金刚石砂轮的圆周速度。

3. 发明授权

EP1470894B1 Vorrichtung zum Konditionieren einer topfförmigen Schleifscheibe einer Schleifmaschine 无效
标题翻译：一种用于空调装置的研磨机的一个杯形砂轮
公开(公告)号：EP1470894B1
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：EP03405282.9
申请日：2003-04-22
申请人： Agathon AG Maschinenfabrik
发明人： Pfluger, Dr. Walter H.
IPC分类号： B24B53/00 , B24B53/04
CPC分类号： B24B53/005 , B24B53/001 , B24B53/003 , B24B53/04

4. 发明授权

EP1063057B1 Vorrichtung zum Abrichten von Schleifscheiben 有权
标题翻译：装置修整砂轮
公开(公告)号：EP1063057B1
公开(公告)日：2004-11-17
申请号：EP00112642.4
申请日：2000-06-15
申请人： Blohm Maschinenbau GmbH
发明人： Andresen, Dirk , Oppelt, Peter
IPC分类号： B24B53/053 , B24B53/14 , B24B53/00
CPC分类号： B24B53/053 , B24B53/003

5. 发明公开

EP0083672A1 Umfangsschleifscheibe und Verfahren zum Abrichten derselben 失效
标题翻译： Umfangsschleifscheibe und Verfahren zum Abrichten derselben。
公开(公告)号：EP0083672A1
公开(公告)日：1983-07-20
申请号：EP82100085.8
申请日：1982-01-08
申请人： Ernst Winter & Sohn (GmbH & Co.)
发明人： Sawluk, Wlodzimierz, Dr. Ing.
IPC分类号： B24B53/14
CPC分类号： B24B53/003 , B24B53/07 , B24B53/14
摘要： Für das Abrichten sowohl zylindrischer als auch profilierter Umfangsschleifscheiben werden ein Verfahren und eine Vorrichtung vorgeschlagen, bei deren Anwendung nicht nur eine hohe Form- und Laufgenauigkeit der Schleifscheibe (1), sondern auch eine jeweils im voraus zu bestimmende , Topografie ihrer Arbeitsflächen erreicht werden.
Hierzu werden die Drehzahl (n.) der abzurichtenden Schleifscheibe (1) und die Drehzahl (n A ) des Abrichtwerkzeu-' ges (2) in ein bestimmtes Verhältnis m=n 5 :nA gebracht, das durch einen kinematischen Verschluß zwischen der Schleifscheibe (1) und dem Abrichtwerkzeug (2) während des gesamten Abrichtprozesses konstant bleibt. Ist die Umfangsschleifscheibe (1) mittels Zahnräder (Z,, Z 2 , Z 3 , Z 4 , Z 5 und Z 6 ) mit dem Abrichtwerkzeug kinematisch gekoppelt, so bestimmt sich das Drehzahlverhältnis als m=n,:n A = (Z 2 :Z 1 ).(Z 4 :Z 3 ). (Z 6 :Z 5 ).
摘要翻译： 1.砂轮，其呈现基本上沿轴向行进的横向槽，以相等的角度距离放置在其周边，其特征在于，所述槽以1度的最大角距离放置，槽深度为1至约。最大1000亩。

6. 发明公开

EP2337654A2 MACHINE FOR TRUING ABRASIVE WHEELS 审中-公开
标题翻译：方法修整砂轮
公开(公告)号：EP2337654A2
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：EP09807289.5
申请日：2009-08-13
申请人： 3M Innovative Properties Company
发明人： O'MALLEY, Keith, L.
IPC分类号： B24B53/007 , B24B53/053 , B23Q3/04 , B23Q3/06
CPC分类号： B24B53/003 , B24B53/007 , B24B53/053
摘要： A truing and dressing machine for profiling an abrasive wheel. The truing and dressing machine includes a truing wheel assembly for positioning the truing wheel relative to an abrasive wheel mounted on an abrasive wheel spindle. The truing wheel assembly includes a truing wheel swivel located between a truing wheel spindle housing and a reciprocation slide that is attached to an infeed slide. An infeed slide swivel is located between the infeed slide and a bottom support swivel plate which is rotatably connected to a base plate. Utilization of both an infeed slide swivel and a truing wheel swivel allows for dressing both sides and the face of the abrasive wheel without having to remove, flip, and reinsert the abrasive wheel into the machine.

7. 发明公开

EP1470894A1 Vorrichtung zum Konditionieren einer topfförmigen Schleifscheibe einer Schleifmaschine 无效
标题翻译： Vorrichtung zum Konditionieren einertopfförmigenSchleifscheibe einer Schleifmaschine
公开(公告)号：EP1470894A1
公开(公告)日：2004-10-27
申请号：EP03405282.9
申请日：2003-04-22
申请人： Agathon AG Maschinenfabrik
发明人： Pfluger, Dr. Walter H.
IPC分类号： B24B53/00 , B24B53/04
CPC分类号： B24B53/005 , B24B53/001 , B24B53/003 , B24B53/04
摘要： Bei einer Vorrichtung zum Konditionieren einer topfförmigen Schleifscheibe (1) einer Schleifmaschine zum Schleifen von Werkstücken, bei welcher die topfförmige Schleifscheibe (1) um eine Schleifscheibenachse (18) drehbar und antreibbar ist, und die in einem Schlitten (4) gehalten ist, ist die topfförmige Schleifscheibe (1) in Wirkverbindung mit an der Schleifmaschine angeordneten Werkzeugen (9 und 10) bringbar. Hierzu ist ein erster Linearantrieb (7) und ein zweiter Linearantrieb (8) mit jeweils einem ersten Werkzeug (9) und einem zweiten Werkzeug (10) am Schlitten angeordnet. Über die beiden Linearantriebe (7 und 8) sind die beiden Werkzeuge (9 und 10) gegen die kreisringförmige Bearbeitungsfläche (11) der Schleifscheibe (1) anstellbar und von dieser abstellbar. Das erste Werkzeug (9) dient zum Ausüben eines Teils des Konditionierens der Schleifscheibe, während das zweite Werkzeug (10) zum Ausüben eines weiteren Teils des Konditionierens der Schleifscheibe benützt wird. Das Konditionieren kann während des Schleifvorgangs eines Werkstücks ausgeführt werden, die Unterbrüche der Schleifvorgänge zum Konditionieren der Schleifscheibe können somit mindestens eingeschränkt werden, wodurch die Effizienz gesteigert werden kann.
摘要翻译：用于调节用于研磨工件的研磨机的盆形砂轮（1）的装置包括相邻布置在平行于砂轮轴线（18）的滑架（4）上的至少两个线性驱动器（7,8），并且具有它们的端部区域具有附接的工具（9,10），使得其可以被放置在与砂轮的圆形加工表面（11）相抵接和移除的位置。附接到第一线性驱动器（7）的第一工具（9）是用于执行处理表面的一部分调理的工具，并且附接到第二线性驱动器（8）的第二工具（10）是用于执行处理表面的另一部分调理。

8. 发明授权

EP0048356B2 Verfahren zum Abrichten von Schleifscheiben 失效
标题翻译：研磨砂轮的方法
公开(公告)号：EP0048356B2
公开(公告)日：1991-01-23
申请号：EP81106774.3
申请日：1981-08-29
申请人： Ernst Winter & Sohn (GmbH & Co.)
发明人： Meyer, Hans-Robert, Dr.-Ing.
IPC分类号： B24B53/00
CPC分类号： B24B53/053 , B24B53/003

9. 发明公开

EP1334802A4 POLISHER 有权
标题翻译： POLIERVORRICHTUNG
公开(公告)号：EP1334802A4
公开(公告)日：2005-08-31
申请号：EP01901492
申请日：2001-01-22
申请人： EBARA CORP
发明人： KAMIMURA KENJI , KIMURA NORIO , OKAMURA SATOSHI , AIZAWA HIDEO , AKAGI MAKOTO , TOKUSHIGE KATSUHIKO , MATSUO HISANORI , TSUJIMURA MANABU
IPC分类号： B24B53/00 , B24B53/007 , B24B53/017 , H01L21/306 , B24B37/04
CPC分类号： B24B53/017 , B24B29/005 , B24B53/003 , H01L21/30625
摘要： The invention relates to a polisher for polishing a workpiece, such as a semiconductor wafer, so that it may have a flat mirror finish. The polisher comprises a polisher table (1) with a polishing face, and a top ring (3). A workpiece is placed between the polisher table (1) and the top ring (3) and polished by application of a predetermined pressure. The polisher includes at least two dressing units equipped with dressers (7, 11) that are in contact with the surface of polishing cloth to dress the polishing face.
摘要翻译：本发明涉及一种用于抛光诸如半导体晶片的工件的抛光器，以使其可以具有平坦的镜面抛光。抛光机包括具有抛光面的抛光机台（1）和顶环（3）。将工件放置在抛光机台（1）和顶环（3）之间并通过施加预定压力抛光。该抛光机包括至少两个配备有修整器（7,11）的修整单元，修整器（7,11）与抛光布的表面接触以修整抛光面。

10. 发明公开

EP1334802A1 POLISHER 有权
标题翻译：修整研磨布的方法
公开(公告)号：EP1334802A1
公开(公告)日：2003-08-13
申请号：EP01901492.7
申请日：2001-01-22
申请人： EBARA CORPORATION
发明人： KAMIMURA, Kenji, c/o Ebara Corporation , KIMURA, Norio, c/o Ebara Corporation , OKAMURA, Satoshi, c/o Ebara Corporation , AIZAWA, Hideo, c/o Ebara Corporation , AKAGI, Makoto, c/o Ebara Corporation , TOKUSHIGE, Katsuhiko, c/o Ebara Corporation , MATSUO, Hisanori, c/o Ebara Corporation , TSUJIMURA, Manabu, c/o Ebara Corporation
IPC分类号： B24B37/00 , B24B53/02 , H01L21/304
CPC分类号： B24B53/017 , B24B29/005 , B24B53/003 , H01L21/30625
摘要： The present invention relates to a polishing apparatus for polishing a workpiece to be polished, such as a semiconductor wafer, to a flat mirror finish. The polishing apparatus comprises a polishing table having a polishing surface, and a top ring, and the workpiece to be polished is interposed between the polishing table and the top ring and pressed at a predetermined pressure to polish the workpiece. The polishing apparatus comprises at least two dressing units for dressing the polishing surface by being brought into contact with a surface of a polishing cloth.

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