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1. 发明公开

EP3230684A1 TIEFENSCANNENDES MIKROSKOP UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES TIEFENSCANNENDEN MIKROSKOPS 有权
公开(公告)号：EP3230684A1
公开(公告)日：2017-10-18
申请号：EP15804828.0
申请日：2015-12-07
申请人： Universität Kassel
发明人： LEHMANN, Peter , TERESCHENKO, Stanislav
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/24 , G02B21/00 , G02B21/24
CPC分类号： G02B21/245 , G01B9/02027 , G01B9/02076 , G01B9/0209 , G01B11/2441 , G02B21/0004
摘要： The invention relates to a depth-scanning microscope for determining a surface topography of a measurement object (1), comprising a light source (13) for illuminating the measurement object (1), wherein a partial beam originating from the light source (13) and reflected by the measurement object (1) is detected by an image sensor (23), and a monochromatic light source (24), wherein a partial beam originating from the monochromatic light source (24) and reflected by the measurement object (1) and a partial beam, likewise originating from the monochromatic light source (24) and reflected by a reference mirror (19), superpose on a photo sensor (26). The depth-scanning microscope also comprises an adjustment device for displacing at least parts of the microscope and/or measurement object for varying the length of the partial beams reflected by the measurement object (1). The microscope is characterized in that a drive (20) is provided for moving the reference mirror (19) along the optical axis thereof and hence for varying the path difference. The invention further relates to a method for operating such a depth-scanning microscope.
摘要翻译：本发明涉及用于确定测量对象（1）的表面形貌的深度扫描显微镜，其包括用于照射测量对象（1）的光源（13），其中来自光源（13）的部分光束并由测量对象（1）反射的图像由图像传感器（23）和单色光源（24）检测，其中源自单色光源（24）并由测量对象（1）反射的部分光束同样源自单色光源（24）并由参考反射镜（19）反射的部分光束叠加在光电传感器（26）上。深度扫描显微镜还包括用于移位显微镜和/或测量对象的至少一部分以用于改变由测量对象（1）反射的部分光束的长度的调节装置。该显微镜的特征在于提供驱动器（20）用于使参考反射镜（19）沿着其光轴移动并且因此用于改变路径差。本发明还涉及一种用于操作这种深度扫描显微镜的方法。

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