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1. 发明公开

EP0739155A1 Dispositif pour créer deux ou plusieurs décharges plasma dans un même tube guide d'onde 失效
标题翻译： Vorrichtung zur Erzeugung zwei oder mehrere Entladungen in einem Gleichwellenleiternrohr
公开(公告)号：EP0739155A1
公开(公告)日：1996-10-23
申请号：EP96400832.0
申请日：1996-04-18
申请人： USTL - UNIVERSITE DES SCIENCES ET TECHNIQUES DE LILLE
发明人： Goudmand, Pierre , Dessaux, Odile , Dupret, Christian
IPC分类号： H05H1/46 , H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32229 , H01J37/32192 , H05H1/46
摘要： Le dispositif pour créer un plasma gazeux comprend un générateur d'onde électromagnétique relié à l'une des extrémités d'un tube guide d'onde (2), un tube (3) respectivement d'arrivée et de départ de gaz débouchant dans ledit tube guide d'onde (2).
Au moins un autre tube (4), respectivement d'arrivée et de départ de gaz, débouche dans ledit tube guide d'onde (2) à une certaine distance du premier tube (3) d'arrivée et de départ de gaz. Dans l'extrémité du tube guide d'onde (2) opposée au générateur est monté de façon coulissante, un piston (6) permettant de régler la distance entre ledit piston (6) et l'axe d'alignement dudit premier (3) ou autre tube (4) d'arrivée et de départ de gaz. Des moyens sont prévus pour régler la distance comprise entre les axes dudit premier (3) et autre tube (4) d'arrivée et de départ de gaz.
摘要翻译：管（2）在一端由滑动的中空的活塞（6）封闭。活塞内表面和固定的横向连接的气体管（3）的轴线之间的距离（d1）被调节为驻波长的3/4。在滑动轴环上的第二个相似的管（4）被设置成其轴具有与第一个相同的全波长（d'1）。两个管都承认气体，例如氮气，一侧通过另一侧进入等离子体室。工作频率是例如 2.45 GHz。横向管进入引导件的穿透（d2）和附近的螺丝调节器（9,10）（d3，d4）的（d3，d4）都可以调节，与柱塞（11a，12a，13a）的那些（d5）靠近可移动气体管（4）。可以在波长间隔处进行等离子体室连接。

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