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2. 发明公开

EP2833094A1 Système de contrôle d'une surface optique à mesurer 有权
标题翻译： Kontrollsystem einer zu messenden optischenOberfläche
公开(公告)号：EP2833094A1
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：EP14179391.9
申请日：2014-07-31
申请人： Thales
发明人： Fourez, Julien
IPC分类号： G01B9/02 , G01M11/00 , G02B27/00
CPC分类号： G01B9/02055 , G01B9/02027 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02058 , G01M11/005 , G02B3/02 , G02B27/0068
摘要： L'invention concerne un système de contrôle (10) d'une surface optique à mesurer par rapport à une surface optique de référence, le système de contrôle (10) comprenant un premier élément optique (36) muni d'un premier axe optique et propre à introduire une première fonction de phase dans la phase d'un faisceau incident, et un deuxième élément optique (38) muni d'un deuxième axe optique et propre à introduire une deuxième fonction de phase dans la phase d'un faisceau transmis ou réfléchi par le premier élément optique (36). La première fonction de phase et la deuxième fonction de phase correspondent chacune à la même aberration optique et au moins l'un parmi le premier élément optique (36) et le deuxième élément optique (38) est rotatif autour de l'axe optique propre à l'élément optique (36, 38) considéré.
摘要翻译：一种用于相对于光学参考表面控制要测量的光学表面的系统（10），所述控制系统（10）包括设置有第一光轴的第一光学元件（36），并且能够将第一相位功能引入到所述第一光学元件入射光束的相位以及具有第二光轴并能够将第二相位函数引入透过第一光学元件（36）反射的光束的相位的第二光学元件（38）。第一相位函数和第二相位函数各自对应于相同的光学像差，并且第一光学元件（36）和第二光学元件（38）中的至少一个围绕相关光学元件（...）的光轴旋转 36,38）。

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