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1. 发明公开

EP1966078A1 VERFAHREN ZUM VERSCHLIEßEN EINER ÖFFNUNG 审中-公开
标题翻译：方法关闭开口
公开(公告)号：EP1966078A1
公开(公告)日：2008-09-10
申请号：EP06830110.0
申请日：2006-11-24
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： MUELLER, Lutz , HAUSNER, Ralf , HOEFER, Holger , BISCHOF, Udo , SCHMITZ, Volker , GROSSE, Axel
IPC分类号： B81C5/00
CPC分类号： B81C1/00293 , B81C2203/0145
摘要： The invention relates to an integrated component with a substrate (1), wherein the substrate (1) has a cavity (10) enclosing a mechanical structure (11). The cavity (10) is filled with a fluid (14) of a given composition at a given pressure and the mechanical properties of the mechanical structure (11) are altered by the fluid (14).

2. 发明公开

EP1968884A1 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT KAPPE MIT VERSCHLUSS 审中-公开
标题翻译：与封闭帽微机械结构
公开(公告)号：EP1968884A1
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：EP06830229.8
申请日：2006-11-30
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： SCHMITZ, Volker , GROSSE, Axel
IPC分类号： B81B7/00
CPC分类号： B81B7/0077 , B81C1/00293
摘要： The invention relates to a micromechanical component which comprises a substrate, a cavity (10) and a cap delimiting the cavity (10). The cap has an access opening (160, 161, 162) to the cavity (10). The invention is characterized in that the cap has a membrane (2b) for obturating the access opening (160, 161, 162).

3. 发明公开

EP3464169A1 VERFAHREN ZUM EUTEKTISCHEN BONDEN VON WAFERN UND WAFERVERBUND 有权转让
公开(公告)号：EP3464169A1
公开(公告)日：2019-04-10
申请号：EP17729054.1
申请日：2017-05-31
申请人： Robert Bosch GmbH
发明人： SCHMITZ, Volker , GROSSE, Axel
IPC分类号： B81C3/00

4. 发明授权

EP2164800B1 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROMECHANISCHEN BAUELEMENTS MIT EINER DÜNNSCHICHTKAPPE 有权
标题翻译： MIKROMECHANISCHES BAUELEME UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROMECHANISCHEN BAUELEMENTS MIT EINERDÜNNSCHICHTKAPPE
公开(公告)号：EP2164800B1
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：EP08759742.3
申请日：2008-05-19
申请人： Robert Bosch GmbH
发明人： SCHMITZ, Volker , GROSSE, Axel
IPC分类号： B81B7/00
CPC分类号： B81B7/0006 , B81B7/0032 , B81B7/007 , B81B2203/01 , B81B2203/03 , B81B2207/07 , B81C2203/0136

5. 发明授权

EP2522153B1 BAUELEMENT MIT EINER MIKROMECHANISCHEN MIKROFONSTRUKTUR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 有权
标题翻译：用微机械麦克风结构和方法为组件
公开(公告)号：EP2522153B1
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：EP10781632.4
申请日：2010-11-05
申请人： Robert Bosch GmbH
发明人： ZOELLIN, Jochen , GROSSE, Axel , GEHL, Bernhard
IPC分类号： H04R19/00
CPC分类号： H04R19/005

6. 发明公开

EP2522153A1 BAUELEMENT MIT EINER MIKROMECHANISCHEN MIKROFONSTRUKTUR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 有权
公开(公告)号：EP2522153A1
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：EP10781632.4
申请日：2010-11-05
申请人： Robert Bosch GmbH
发明人： ZOELLIN, Jochen , GROSSE, Axel , GEHL, Bernhard
IPC分类号： H04R19/00
CPC分类号： H04R19/005
摘要： The invention relates to measures for improving the acoustic properties of a microphone component produced in sacrificial layer technology. According to the invention, the micromechanical microphone structure of such a component (10) is implemented in a layer structure and comprises at least one membrane which can be deflected by sound pressure and which is implemented in a membrane layer and a fixed, acoustically permeable counter-element (12) for the membrane which is implemented in a thick function layer over the membrane layer and has passage openings (13) for sound induction. According to the invention, the passage openings (13) are arranged over the center region of the membrane for sound induction, whereas acoustic, extensively passive perforation openings (14) are designed in the counter-element (12) over the edge region of the membrane.
摘要翻译：本发明涉及用于改善牺牲层技术中产生的麦克风组件的声学特性的措施。根据本发明，这种部件（10）的微机械麦克风结构以层结构实现并且包括至少一个可以通过声压偏转并且在膜层和固定的声学可渗透的计数器中实现的膜 - 用于膜的元件（12），其在膜层上的厚功能层中实施并且具有用于声音感应的通道开口（13）。根据本发明，通道开口（13）布置在隔膜的中心区域上以用于声音感应，而声学的，大量无源的穿孔（14）被设计在配对元件（12）膜。

7. 发明公开

EP2164800A2 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROMECHANISCHEN BAUELEMENTS MIT EINER DÜNNSCHICHTKAPPE 有权
标题翻译：微机械器件及其制造方法微机械元件用薄CAP
公开(公告)号：EP2164800A2
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：EP08759742.3
申请日：2008-05-19
申请人： Robert Bosch GmbH
发明人： SCHMITZ, Volker , GROSSE, Axel
IPC分类号： B81B7/00
CPC分类号： B81B7/0006 , B81B7/0032 , B81B7/007 , B81B2203/01 , B81B2203/03 , B81B2207/07 , B81C2203/0136
摘要： The invention relates to a micromechanical component having a substrate, a micromechanical functional layer located over the substrate, and a capping layer located over the functional layer, and to a method for producing the micromechanical component, the capping layer comprising at least one trench, the trench being bridged by at least one electrically insulating connecting bridge.
摘要翻译：提供了具有一个基片，位于基片上方的微机械的功能层，以及位于所述功能层的上方的封装层，以及用于制造微机械部件的方法的微机械结构，其具有至少一个沟槽中的所述封装层，和桥接的提供了一种由至少一个电绝缘连接链路的沟槽。

8. 发明公开

EP1966574A1 MIKROMECHANISCHE STRUKTUR MIT EINEM SUBSTRAT UND EINEM THERMOELEMENT, TEMPERATUR UND/ODER STRAHLUNGSSENSOR UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG IENER MIKROMECHANISCHEN STRUKTUR 审中-公开
标题翻译：根据上述制造声明的微观力学结构的基底和热电偶温度和/或辐射传感器和方法微机械结构
公开(公告)号：EP1966574A1
公开(公告)日：2008-09-10
申请号：EP06819747.4
申请日：2006-11-24
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： HOEFER, Holger , GROSSE, Axel
IPC分类号： G01J5/12 , H01L31/09
CPC分类号： G01J5/12
摘要： The invention relates to a micromechanical structure, a temperature and/or radiation sensor, and a method for producing a micromechanical structure. Said micromechanical structure (10) comprises a substrate (20) having a main substrate plane (21), and a thermoelement (30) provided with a reference contact (35) and a measuring contact (37). The thermoelement comprises a first material (3S) between the reference contact and the measuring contact, and a second material (38) between the measuring contact and another reference contact. Either the first material is arranged above the second material or the second material is arranged above the first material, between the reference contact and the measuring contact, in a direction perpendicular to the main substrate plane.

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