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    • 4. 发明公开
    • Pièce de micromécanique composite silicium - métal et son procédé de fabrication
    • 其制备硅 - 金属复合材料的微机械元件和过程
    • EP2060534A1
    • 2009-05-20
    • EP07120883.9
    • 2007-11-16
    • Nivarox-FAR S.A.
    • Fiaccabrino, Jean-CharlesVerardo, MarcoConus, ThierryThiébaud, Jean-PhilippePeters, Jean-Bernard
    • B81C5/00C25D1/00G04B13/00
    • F16H55/06B81B2201/035B81C99/0095B81C2201/0197C25D1/08C25D5/02C25D5/10G04B13/02G04B13/022G04B19/042Y10T74/1987
    • L'invention se rapporte à un procédé de fabrication (1) d'une pièce de micromécanique (51) composite silicium - métal combinant des processus du type DRIE et LIGA.
      L'invention se rapporte également à une pièce de micromécanique (51) comprenant une couche dans laquelle une partie (53) est en silicium et une autre (41) en métal afin de former une pièce de micromécanique (51) du type composite.
      L'invention concerne le domaine des mouvements horlogers.
    • 由硅/金属复合物的用于制造微机械部件的制造方法,在上层(5)的基材包括选择性地雕刻的腔体的(3),以限定所述部件的硅部分(53)的图案,雕刻的空腔 在与基板的中间层(9)中,从腔体的部分中生长的金属层(37,45),以形成从衬底沿部件的厚度的金属部分,以及去除硅/金属复合材料的微机械部件 , 中间层的上层和下硅层(7)之间延伸。 由硅/金属复合物的用于制造微机械部件的制造方法,在上层(5)的基材包括选择性地雕刻的腔体的(3),以限定所述部件的硅部分(53)的图案,雕刻的空腔 在与基板的中间层(9)中,从腔体的部分中生长的金属层(37,45),以形成从衬底沿部件的厚度的金属部分,以及去除硅/金属复合材料的微机械部件 , 中间层的上层和基板的下硅层(7)之间延伸。 该金属层是由光敏树脂覆盖所述基板的顶部显影,选择性地执行光刻工艺在感光树脂雅丁到所述金属部件的预定图案,将金属在下部的硅的上部导电性表面层中 通过电镀工艺,以及从基板上的照片结构的树脂层。 下层的上表面是由通过掺杂底层和/或通过在上表面上放置一个导电层导电。 光结构的树脂使得在基片的上层凸起通过电镀继续一个层的生长和制备硅部分上方的微机械部件的第二金属部件。 基板的上侧,以在相同的照片结构的树脂的上端的高度的金属层的级别进行,在形成金属层之后。 空腔设置在基片的下层刻,以形成微机械部件gemäß的第二硅部分,以规定的形状和厚度,从衬底去除硅/金属复合微机械器件之前。 一个独立的claimsoft包括用于由硅/金属复合物的微机械结构。
    • 8. 发明公开
    • Spiral autocompensateur bi-matière
    • Spiralfeder aus zwei Materialen mit Selbstkompensation
    • EP1612627A1
    • 2006-01-04
    • EP04015580.6
    • 2004-07-02
    • Nivarox-FAR S.A.
    • Verardo, MarcoConus, Thierry
    • G04B17/06
    • G04B17/066
    • Le spiral (1) est constitué par un premier ensemble, comprenant les spires (3) et la courbe à l'extérieur (2), réalisé en un premier matériau tel que l'Elinvar ayant un couple élastique peu ou pas sensible aux variations d'élongation, de température et de champ magnétique, et par un deuxième ensemble solidaire du premier ensemble, comprenant notamment la courbe à l'intérieur (4) réalisé en un deuxième matériau choisi essentiellement pour ses propriétés mécaniques et pour la facilité de conformation de ladite courbe à l'intérieur (4) selon un contour le plus favorable à une expansion concentrique du spiral, tel qu'une courbe Grossmann (14), ledit deuxième ensemble pouvant également comprendre la virole (5).
    • 游丝具有与包括内曲线(4)的另一组件集成的一个组件。 曲线由根据其机械性能选择的材料制成,并且为了促进游丝的同心膨胀的最有利的轮廓来促进曲线的成形性。 曲线具有格罗斯曼曲线的轮廓(14)。 前一个组件是通过利用LIGA过程制成的。 还包括用于制造游丝组件的方法的独立权利要求。
    • 9. 发明公开
    • Ensemble balancier-spiral d'horlogerie
    • Spiralunruh-EinheitfürUhrwerk
    • EP2728423A1
    • 2014-05-07
    • EP12191481.6
    • 2012-11-06
    • Nivarox-FAR S.A.
    • Conus, ThierryVerardo, MarcoCharbon, Christian
    • G04D7/08G04B17/06
    • G04D7/087G04B17/06Y10T29/49581
    • Ensemble (1) balancier-spiral d'horlogerie, comportant au moins un balancier (2) pivotant autour d'un axe de pivotement (D) et au moins un spiral (3) dont une spire intérieure (4) est fixée audit balancier (2) ou à une virole (5) montée solidaire dudit balancier (2) et dont une spire extérieure (6) est fixée à un piton (7) pour son maintien à une platine (8) ou un coq (80).
      Ledit balancier (2) comporte une surface périphérique (20), qui est distante de tout point dudit spiral (3) d'une valeur supérieure à un premier écart (E1) prédéfini, pour prévenir toute modification des caractéristiques dudit spiral (3) lors d'une reprise d'usinage dudit balancier (2) sur ladite surface périphérique (20) pour la mise d'inertie ou/et l'équilibrage dudit balancier (2) sur ledit ensemble (1) assemblé.
    • 组件(1)具有围绕枢转轴线(D)枢转的摆轮(2)和包括固定到车轮或安装到弹簧的环(5)的内转圈(4)的发条(3)。 外圈(6)固定在螺栓(7)上,以将转弯保持在板或平衡配合。 车轮具有与弹簧的任何点相距一定距离处的外周表面(20),其值大于变化(E1),以防止修复游丝在表面上用于设置惯性的/ 在组件上平衡轮子。 还包括以下独立权利要求:(1)振荡器机构(2)用于在钟表摆轮摆动组件上设置惯性或/和平衡轮的方法。