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1. 发明公开

EP0008634A1 Verfahren zum Auflagern einer Metall- oder Legierungsschicht auf ein elektrisch leitendes Werkstück und Vorrichtung zur Durchführung desselben 有权转让
标题翻译：一种用于在导电工件和装置用于执行支持相同的金属或合金层的方法。
公开(公告)号：EP0008634A1
公开(公告)日：1980-03-19
申请号：EP79102348.4
申请日：1979-07-09
申请人： Kieferle, Wolfgang
发明人： Kieferle, Wolfgang , Wäschle, Franz
IPC分类号： C23C13/00 , C23C15/00
CPC分类号： C23C14/34 , C23C14/22 , C23C14/325
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Auflagern einer Metall- oder Legierungsschicht auf ein elektrisch leitendes Werkstück mittels einer Glimmentladung, wozu das Werkstück (21) als die eine Elektrode eines elektrischen Feldes in einer mit Trägergas beschickten Unterdruckkammer (3) geschaltet ist, wobei das Trägergas und das Spendermedium vorionisiert werden und im ionisierten Zustand in das elektrische Feld der Unterdruckkammer überführt werden, dazu wird eine Bogenentladung zum explosionsartigen Abspattern von Spendermedium unter Zuhilfenahme eines in Turbulenz versetzten Trägergases herangezogen und diese Bogenentladung einer Glimmentladung überlagert und unter Ausnutzung des Kathodenfalls den vorionisierten Metallionen des als eine Elektrode geschalteten Spendermediums zusätzlich Energie zuführt, diese Metallionen mit hoher Geschwindigkeit in das als die andere Elektrode geschaltete Werkstück ein- und oder auflagert, zunächst wird dabei das Trägergas in Turbulenz versetzt und bei seinem Weg zur Unterdruckkammer über die Oberfläche des Spendermediums strömt und dort Elektronen ablöst und ionisiert.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于通过辉光放电的装置上的导电工件支承的金属或合金层，为此目的，该工件（21），其在加载与载气的低压室（3）的电场的一个电极连接，其中，所述载气和供体介质被预电离，并在电离状态被转移到真空室中的电场，以用于供体介质的爆炸状Abspattern电弧放电使用具有的湍流载气中偏移助剂和叠加辉光放电的并与阴极的利用该电弧放电如果的作为预电离的金属离子连接另外的供体介质中的电极提供电力，在切换为另一电极工件以高速单 - 这些金属离子，或auflagert第一壳体在所述载气引入湍流VE rsetzt并流的道路上通过的供体介质的表面的真空室和有分离的电子和离子化的。

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