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    • 10. 发明公开
    • III-Nitride Semiconductor Structures with Strain Absorbing Interlayer Transition Modules
    • III-Nitrid-Halbleiterstrukturen mit Strangaufnahmezwischenschicht-Übergangsmodulen
    • EP2495753A2
    • 2012-09-05
    • EP12157244.0
    • 2012-02-28
    • International Rectifier Corporation
    • Briere, Michael A.
    • H01L21/02H01L21/20
    • H01L29/2003H01L21/0237H01L21/02381H01L21/02458H01L21/02488H01L21/02505H01L21/0251H01L21/0254H01L29/151H01L29/205H01L29/778H01L29/7786
    • There are disclosed herein various implementations of semiconductor structures including III-Nitride interlayer modules. One exemplary implementation comprises a substrate and a first transition body over the substrate. The first transition body has a first lattice parameter at a first surface and a second lattice parameter at a second surface opposite the first surface. The exemplary implementation further comprises a second transition body, such as a transition module, having a smaller lattice parameter at a lower surface overlying the second surface of the first transition body and a larger lattice parameter at an upper surface of the second transition body, as well as a III-Nitride semiconductor layer over the second transition body. The second transition body may consist of two or more transition modules, and each transition module may include two or more interlayers. The first and second transition bodies reduce strain for the semiconductor structure.
    • 这里公开了包括III-氮化物夹层模块的半导体结构的各种实施方式。 一个示例性实现包括衬底和在衬底上的第一过渡体。 第一过渡体在第一表面具有第一晶格参数,在与第一表面相对的第二表面具有第二晶格参数。 示例性实施方式还包括第二过渡体,例如过渡模块,在覆盖第一过渡体的第二表面的下表面处具有较小的晶格参数,在第二过渡体的上表面具有较大的晶格参数,如 以及在第二过渡体上的III-氮化物半导体层。 第二过渡体可以由两个或更多个过渡模块组成,并且每个过渡模块可以包括两个或更多个中间层。 第一和第二过渡体减小半导体结构的应变。