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1. 发明授权

EP1318124B1 Quarzglasrohling für ein optisches Bauteil sowie Verfahren zur Herstellung und Verwendung desselben 有权
标题翻译：用于光学部件的石英玻璃坯件及其制造和使用方法
公开(公告)号：EP1318124B1
公开(公告)日：2004-10-20
申请号：EP02027123.5
申请日：2002-12-04
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： Kühn, Bodo , Uebbing, Bruno, Dr. , Trommer, Martin, Dr. , Ochs, Stefan, Dr. , Thomas, Stephan, Dr. , Kaiser, Steffen , Vydra, Jan, Dr.
IPC分类号： C03C3/06 , C03C4/00 , C03B19/14
CPC分类号： C03C4/0071 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2203/40 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , Y02P40/57

2. 发明公开

EP1318124A3 Quarzglasrohling für ein optisches Bauteil sowie Verfahren zur Herstellung und Verwendung desselben 有权
标题翻译：用于光学元件相同的石英玻璃坯料，以及制造和使用的方法的
公开(公告)号：EP1318124A3
公开(公告)日：2003-07-02
申请号：EP02027123.5
申请日：2002-12-04
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： Kühn, Bodo , Uebbing, Bruno, Dr. , Trommer, Martin, Dr. , Ochs, Stefan, Dr. , Thomas, Stephan, Dr. , Kaiser, Steffen , Vydra, Jan, Dr.
IPC分类号： C03C3/06 , C03C4/00 , C03B19/14
CPC分类号： C03C4/0071 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2203/40 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , Y02P40/57
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen Quarzglasrohling für ein optisches Bauteil zur Übertragung ultravioletter Strahlung einer Wellenlänge von 250 nm und kürzer sowie dessen Verwendung für den Einsatz in der Mikrolithographie in Verbindung mit ultravioletter Strahlung einer Wellenlänge von 250 nm und kürzer. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung des Quarzglasrohlings. Ein derartiger Quarzglasrohling soll eine geringe induzierte Absorption aufweisen und gleichzeitig hinsichtlich Kompaktierung und Dekompaktierung optimiert sein. Der erfindungsgemäße Quarzglasrohling weist folgende Eigenschaften auf: eine Glasstruktur im wesentlichen ohne Sauerstoffdefektstellen, einen H2-Gehalt im Bereich von 0,1 x 1016 Molekülen/cm3 bis 4,0 x 1016 Molekülen/cm3, einen OH-Gehalt im Bereich von 125 Gew-ppm bis 450 Gew-ppm, einen Gehalt an SiH-Gruppen von weniger als 5 x 1016 Moleküle/cm3, eine Inhomogenität im Brechungsindex Δn von weniger als 2 ppm und eine Spannungsdoppelbrechung von weniger als 2 nm/cm. Für die erfindungsgemäße Verwendung genügt der Quarzglasrohling hinsichtlich des minimalen und maximalen Wasserstoffgehalts C H2min bzw. C H2max sowie des OH-Gehalts C OH den Bemessungsregeln (2), (3) und (4), wobei P für die Pulszahl und ε für die Energiedichte steht:CH2min [Moleküle/cm3 ] = 1 x 106 ε2 PCH2max [Moleküle/cm3 ] = 2 x 1018 εCOH [Gew-ppm] = 1700 · ε[mJ/cm2] 0'4 ± 50 Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass ein Mischquarzglas aus einem ersten und einem zweiten Quarzglas durch miteinander Vermischen während einer Homogenisierungsbehandlung der beiden Quarzgläser hergestellt wird.

3. 发明公开

EP1318124A2 Quarzglasrohling für ein optisches Bauteil sowie Verfahren zur Herstellung und Verwendung desselben 有权
标题翻译：用于光学元件相同的石英玻璃坯料，以及制造和使用的方法的
公开(公告)号：EP1318124A2
公开(公告)日：2003-06-11
申请号：EP02027123.5
申请日：2002-12-04
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： Kühn, Bodo , Uebbing, Bruno, Dr. , Trommer, Martin, Dr. , Ochs, Stefan, Dr. , Thomas, Stephan, Dr. , Kaiser, Steffen , Vydra, Jan, Dr.
IPC分类号： C03C3/06 , C03B19/14 , G02B1/04
CPC分类号： C03C4/0071 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2203/40 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , Y02P40/57
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen Quarzglasrohling für ein optisches Bauteil zur Übertragung ultravioletter Strahlung einer Wellenlänge von 250 nm und kürzer sowie dessen Verwendung für den Einsatz in der Mikrolithographie in Verbindung mit ultravioletter Strahlung einer Wellenlänge von 250 nm und kürzer. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung des Quarzglasrohlings.
Ein derartiger Quarzglasrohling soll eine geringe induzierte Absorption aufweisen und gleichzeitig hinsichtlich Kompaktierung und Dekompaktierung optimiert sein. Der erfindungsgemäße Quarzglasrohling weist folgende Eigenschaften auf:

eine Glasstruktur im wesentlichen ohne Sauerstoffdefektstellen,
einen H 2 -Gehalt im Bereich von 0 , 1 x 10 16 Molekülen/cm 3 bis 4,0 x 10 16 Molekülen/cm 3 , einen OH-Gehalt im Bereich von 125 Gew-ppm bis 450 Gew-ppm,
einen Gehalt an SiH-Gruppen von weniger als 5 x 10 16 Moleküle/cm 3 ,
eine Inhomogenität im Brechungsindex Δn von weniger als 2 ppm und
eine Spannungsdoppelbrechung von weniger als 2 nm/cm.
Für die erfindungsgemäße Verwendung genügt der Quarzglasrohling hinsichtlich des minimalen und maximalen Wasserstoffgehalts C H2min bzw. C H2max sowie des OH-Gehalts C OH den Bemessungsregeln (2), (3) und (4), wobei P für die Pulszahl und ε für die Energiedichte steht: C H2min [Moleküle/cm 3 ] = 1 x 10 6 ε 2 P C H2max [Moleküle/cm 3 ] = 2 x 10 18 ε C OH [Gew-ppm] = 1700 · ε[mJ/cm 2 ] 0 ' 4 ± 50 Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass ein Mischquarzglas aus einem ersten und einem zweiten Quarzglas durch miteinander Vermischen während einer Homogenisierungsbehandlung der beiden Quarzgläser hergestellt wird.
摘要翻译：石英玻璃坯料包括具有0.1×10 <16>至4.0×10 <16>分子/ cm <3> OH 125-450重量ppm的内容，SiH基的氢（H 2）含量的玻璃结构在DELTA n的折射率和小于2nm / cm的双折射小于5×10 <16>分子/ cm <3>到小于2ppm的不均匀性内容。一种独立claimsoft因此包括用于生产的石英玻璃坯料的方法。优选地，所述玻璃坯料的OH含量为200-350重量ppm的和H 2含量为1×10 <16>至3×10 <16>分子/ cm <3>

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