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1. 发明公开

EP2479579A1 Mems sensor with dual proof masses 有权转让
标题翻译： MEMS传感器mit gepaarten seismischen Massen
公开(公告)号：EP2479579A1
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：EP12151623.1
申请日：2012-01-18
申请人： Freescale Semiconductor, Inc.
发明人： Mcneil, Andrew C
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , G01P2015/0831 , G01P2015/0837
摘要： A microelectromechanical systems (MEMS) sensor (20) includes a substrate (26) and suspension anchors (34, 36) formed on a planar surface (28) of the substrate (26). The MEMS sensor (20) further includes a first movable element (38) and a second movable element (40) suspended above the substrate (26). Compliant members (42, 44) interconnect the first movable element (38) with the suspension anchor 34 and compliant members (46, 48) interconnect the second movable element (40) with the suspension anchor (36). The movable elements (38, 40) have an equivalent shape. The movable elements may be generally rectangular movable elements (38, 40) or L-shaped movable elements (108, 110) in a nested configuration. The movable elements (38, 40) are oriented relative to one another in rotational symmetry about a point location (94) on the substrate (26).
摘要翻译：微机电系统（MEMS）传感器（20）包括形成在基板（26）的平面（28）上的基板（26）和悬挂锚（34,36）。 MEMS传感器（20）还包括悬挂在衬底（26）上方的第一可移动元件（38）和第二可移动元件（40）。标准构件（42,44）将第一可移动元件（38）与悬挂锚固件34互连，并且顺应构件（46,48）将第二可移动元件（40）与悬挂锚固件（36）互连。可移动元件（38,40）具有等效形状。可移动元件可以是嵌套构型的大致矩形的可移动元件（38,40）或L形可移动元件（108,110）。可移动元件（38,40）相对于彼此以关于基底（26）上的点位置（94）的旋转对称的方式定向。

2. 发明授权

EP2479579B1 MEMS sensor with dual proof masses 有权转让
标题翻译： MEMS传感器与配对震动块
公开(公告)号：EP2479579B1
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：EP12151623.1
申请日：2012-01-18
申请人： Freescale Semiconductor, Inc.
发明人： Mcneil, Andrew C
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , G01P2015/0831 , G01P2015/0837

3. 发明公开

EP2703799A1 Pressure sensor with differential capacitive output 有权转让
标题翻译： Drucksensor mit differentnziellem kapazitivem Ausgang
公开(公告)号：EP2703799A1
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：EP13179577.5
申请日：2013-08-07
申请人： Freescale Semiconductor, Inc.
发明人： Mcneil, Andrew C , Lin, Yizhen
IPC分类号： G01L17/00 , B60C23/00 , G01L7/08 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0072 , B60C23/0408 , G01L9/12
摘要： A MEMS pressure sensor device (200, 400, 500, 600) is provided that can provide both a linear output with regard to external pressure, and a differential capacitance output so as to improve the signal amplitude level. These benefits are provided through use of a rotating proof mass (250, 420, 520) that generates capacitive output (283, 293) from electrodes configured at both ends of the rotating proof mass. Sensor output can then be generated using a difference between the capacitances generated from the ends of the rotating proof mass. An additional benefit of such a configuration is that the differential capacitance output changes in a more linear fashion with respect to external pressure changes than does a capacitive output from traditional MEMS pressure sensors.
摘要翻译：提供了可以提供关于外部压力的线性输出和差分电容输出以提高信号幅度电平的MEMS压力传感器装置（200,400,500,600）。这些优点通过使用从旋转检测质量体的两端构成的电极产生电容输出（283,293）的旋转检验质量块（250,420,520）来提供。然后可以使用从旋转检验质量的端部产生的电容之间的差异来生成传感器输出。这种配置的另外的好处是差分电容输出相对于外部压力变化以比线性方式相对于来自传统MEMS压力传感器的电容输出而变化。

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