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1. 发明公开

EP2086033A1 Method of coating a substrate and coating installation 审中-公开
标题翻译： Verfahren zur Beschichtung eines Substrats und Beschichtungsanlage
公开(公告)号：EP2086033A1
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：EP08101176.9
申请日：2008-01-31
申请人： Applied Materials, Inc.
发明人： König, Michael , Michael, Klaus , Bangert, Stefan , Hoffmann, Uwe , Landgraf, Heike
IPC分类号： H01L51/00
CPC分类号： H01L51/0021 , H01L51/5203
摘要： A method according to the invention comprises the step of providing a large-area substrate 1 and a first semiconductor, metal, or TCO (Transparent Conductive Oxide) layer 2 deposited on a surface of the substrate 1 ( Fig. 1a ). In the next process step illustrated in Fig. 1b a patterned mask layer 3 is printed on top of the first layer 2. The mask layer 3 consists of a phase-change material, e.g. wax, which may be deposited in an inkjet printing method. The phase-change material 3 has the ability to change in phase from a liquid to a solid state upon contact with the substrate 1. In a third process step a second semiconductor, metal, TCO (Transparent Conductive Oxide) layer 4 is deposited on top of the mask layer 3 and on the first layer 2 where the first layer 2 is not protected by the phase-change masking material 3. Afterwards, in a process step indicated in Fig. 1d the phase-change material 3 is removed. The second patterned layer structure 5 is arranged on top of the first layer 2 in the areas that had not been protected by the phase-change material. The method is proposed particularly for providing a first electrode of an organic electronic device.
摘要翻译：根据本发明的方法包括提供大面积衬底1和沉积在衬底1（图1a）的表面上的第一半导体，金属或TCO（透明导电氧化物）层2的步骤。在图1所示的下一个工艺步骤中，在图1b中，图案化的掩模层3被印刷在第一层2的顶部上。掩模层3由相变材料，例如，蜡，其可以以喷墨印刷方法沉积。相变材料3在与基板1接触时具有从液体到固态的相位变化的能力。在第三工艺步骤中，将第二半导体，金属，TCO（透明导电氧化物）层4沉积在顶部并且在第一层2上，第一层2不被相变掩模材料3保护。之后，在图1所示的处理步骤中，在图1d中，除去相变材料3。在未被相变材料保护的区域中，第二图案层结构5布置在第一层2的顶部上。特别提出了提供有机电子器件的第一电极的方法。

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