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    • 7. 发明公开
    • Verfahren zur Herstellung piezokeramischer Vielschichtaktoren
    • EP1235285A2
    • 2002-08-28
    • EP02003649.7
    • 2002-02-18
    • CeramTec AG Innovative Ceramic Engineering
    • Schreiner, Hans-Jürgen, Dr.Bindig, ReinerSimmerl, MatthiasSchmidt, Jürgen
    • H01L41/24
    • H01L41/273H01L41/0835H01L41/335Y10T29/42Y10T156/1056Y10T156/1057
    • Zur Herstellung von Vielschichtaktoren wird das Laminat in einzelne Aktoren aufgeteilt, die pyrolysiert und anschließend gesintert werden. Weil das Laminieren im ungesinterten Körper häufig Inhomogenitäten der Dichte erzeugt und die Schwindung beim keramischen Brand keine konstante Größe darstellt, kann die Endgeometrie der Aktoren nur durch Hartbearbeitung der gesinterten Aktoren in der geforderten Genauigkeit erzeugt werden. Dabei werden aber die in die Aktoren eingelagerten Innenelektrodenschichten ebenfalls mit bearbeitet, was im Betrieb elektrische Überschläge und Leckströme verursachen kann.
      Erfindungsgemäß wird deshalb so verfahren, dass der Block der gestapelten, mit Innenelektroden versehenen Grünfolien laminiert wird, dass aus dem Block mindestens ein Aktor herausgetrennt wird, dass der Aktor durch eine Bearbeitung seine Form erhält, dass er anschließend gesintert wird, dass die beim Sintern entstandene Sinterhaut als Isolierschicht genutzt wird und dass die Sinterhaut an den Stellen abgetragen wird, an denen die Innenelektroden an die Außenelektroden angeschlossen werden.
    • 为了制造多层致动器,将层压体分成几个致动器,其被热解并随后烧结。 因为在未烧结体中的层叠通常会产生密度不均匀,并且陶瓷焙烧期间的收缩率不是恒定值,所以只能通过烧结致动器的硬化来精确地获得致动器的最终几何形状。 但是在这种情况下,沉积在致动器中的内部电极层也被处理,这可能在操作期间引起电气闪络和漏电流。 因此,根据本发明,提供了一种程序,其中层叠具有内部电极的堆叠的绿色膜的块,至少一个致动器与块分离,致动器通过机械加工获得其形状 烧结后,通过烧结而形成的烧结体皮肤被用作绝缘层,并且烧结体在内部电极与外部电极连接的位置被磨损。