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21. 发明公开

EP3140614A1 IMPROVED GYROSCOPE STRUCTURE AND GYROSCOPE DEVICE 有权
标题翻译： VERBESSERTE GYROSKOPSTRUKTUR UND GYROSKOP
公开(公告)号：EP3140614A1
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：EP15721872.8
申请日：2015-05-06
申请人： Murata Manufacturing Co., Ltd.
发明人： BLOMQVIST, Anssi
IPC分类号： G01C19/5762 , G01C19/5747
CPC分类号： G01C19/5762 , B81B2201/0242 , B81B2201/033 , G01C19/5712 , G01C19/5747
摘要： A microelectromechanical gyroscope structure for detecting angular motion about an axis of angular motion. A drive element is suspended for one-dimensional motion in a direction of a drive axis, and a sense body carries one or more sense rotor electrodes and is coupled to the drive element with a first directional spring structure that forces the sense body to move with the drive element and has a preferred direction of motion in a direction of a sense axis. The drive element includes an actuation body and a drive frame wherein the first spring structure couples the sense body directionally to the drive frame, and a second directional spring structure that couples the drive frame to the actuation body and has a preferred direction of motion in the direction of the sense axis.
摘要翻译：一种用于检测角运动轴线的角运动的微机电陀螺仪结构。驱动元件在驱动轴的方向上被悬挂用于一维运动，并且感测体承载一个或多个感测转子电极，并且以第一定向弹簧结构联接到驱动元件，第一定向弹簧结构迫使感测体与驱动元件并且在感测轴线的方向上具有优选的运动方向。驱动元件包括致动体和驱动框架，其中第一弹簧结构将感测体定向地耦合到驱动框架，以及第二定向弹簧结构，其将驱动框架联接到致动体并且具有优选的运动方向感应轴的方向。

22. 发明公开

EP2937666A1 MIKROMECHANISCHER INERTIALSENSOR ZUR MESSUNG VON DREHRATEN 有权
标题翻译： MICRO机械惯性用于测量旋转速度
公开(公告)号：EP2937666A1
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：EP15165766.5
申请日：2008-03-20
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
发明人： Merz, Peter , Weiß, Manfred
IPC分类号： G01C19/56 , G01C19/5712 , G01C19/5762
CPC分类号： G01C19/5762 , G01C19/5712
摘要： Die Erfindung betrifft einen Drehratensensor zur Detektion einer Drehung Ω, um die der Sensor gedreht wird, wobei der Sensor ein Substrat und eine Antriebs- und Detektionsanordnung aufweist, die sich im Wesentlichen flächig in einer x-y-Ebene oberhalb der Substratoberfläche befindet, wobei die Antriebs- und Detektionsanordnung eine Antriebsmasse (4) und eine Detektionsmasse (3) aufweist, die in unterschiedlichen Abständen von einem Zentrum (Z) der Detektionsanordnung symmetrisch um dieses Zentrum herum angeordnet sind und deren Schwingungsmoden teilweise aufeinander übertragen werden können und teilweise entkoppelt sind, wobei die Primärbewegung der Antriebsmasse von der Detektionsmasse nicht oder nur partiell erfasst wird oder die Antriebsmasse nicht oder nur partiell aus der x-y-Ebene verkippt oder ausgelenkt werden kann, wobei die Drehung Ω dadurch detektiert wird, dass eine Verkippung der Detektionsmasse aus der Flächenebene der Antriebs- und Detektionsanordnung heraus detektiert wird, wobei diejenige der beiden Massen (3,4), die einen größeren Abstand zu dem genannten Zentrum aufweist, unter der Einwirkung von Corioliskraft aus der genannten Flächenebene heraus verkippen kann, dadurch gekennzeichnet, dass die genannte verkippbare Masse (3,4) über symmetrisch angeordnete Außenanker (7) mit dem Substrat derart verbunden ist, dass die Rückstellung der genannten Verkippung durch die Außenanker (7) unterstützt wird.
摘要翻译：本发明涉及一种横摆率传感器，用于检测旋转©，向其中传感器旋转时，该传感器包括基板和其基本上在衬底表面上方的xy平面平坦的驱动和检测装置，其中所述驱动具有与检测装置中，驱动质量块（4）和检测质量块（3），所述检测装置的（Z）是在从中心不同的距离对称地配置该中心周围和它们的振动模式可以部分被转移到彼此且部分地去耦合，其中所述主运动驱动质量块仅部分地或不通过检测质量覆盖或驱动质量块不能或可以倾斜出XY平面的或由以下事实偏转仅部分，从而检测出旋转©从驱动和检测装置的表面平面中的检测质量块的倾斜出DET ected，其特征在于，两个质量块中的一个（3,4），其具有较大的距离，以所述中心，可以的科里奥利力的作用下从所述倾斜表面平面出来，其特征在于，所述可倾斜的质量（3,4）通过对称地布置在外电枢（7）被连接到基板，使得提供所述由外电枢（7）的倾斜被支撑。

23. 发明公开

EP2899503A1 MEMS sensor with configuration to reduce non-linear motion 有权
标题翻译：微机电传感器
公开(公告)号：EP2899503A1
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：EP15152031.9
申请日：2015-01-21
申请人： InvenSense, Inc.
发明人： Anac, Ozan , Seeger, Joseph
IPC分类号： G01C19/5733 , G01C19/5747 , G01C19/5762 , G01P15/08 , B81B3/00
CPC分类号： G01C19/5762 , B81B3/0051 , B81B2201/0242 , B81B2203/0163 , G01C19/5733 , G01C19/5747 , G01P15/0802
摘要： Embodiments for modifying a spring mass configuration are disclosed that minimize the effects of unwanted nonlinear motion on a MEMS sensor, such as a gyroscope. Examples of gyroscope configurations (11A, 12A, 13A) includes at least one pair of counter-rotating arms (21A, 21B, 22A, 22B, 23A, 23B) linked to two traveling masses (31A, 31B, 32A, 32B, 33A, 33B). The modifications include any or any combination of providing a rigid element (21) between rotating structures of the spring mass configuration including the traveling masses (31A, 31B), tuning a spring system (22, 42A, 42B) between the rotating structures including the traveling masses (32A, 32B) and the rotating arms (12A, 12B) and coupling an electrical cancellation system (73A, 73B, 74A, 74B) to the rotating structures including the traveling masses (33A, 33B) and the rotating arms (23A, 23B). In so doing, unwanted nonlinear motion such as unwanted 2nd harmonic motion is minimized.
摘要翻译：公开了用于修改弹簧质量结构的实施例，其最小化对MEMS传感器（例如陀螺仪）的不期望的非线性运动的影响。陀螺仪构造（11A，12A，13A）的例子包括至少一对与两个行进质量块（31A，31B，32A，32B，33A，23B）连接的反向旋转臂（21A，21B，22A，22B，23A，23B） 33B）。修改包括在包括行进质量块（31A，31B）的弹簧质量结构的旋转结构之间提供刚性元件（21）的任何或任何组合，调整包括旋转结构的旋转结构之间的弹簧系统（22,42A，42B）移动块（32A，32B）和旋转臂（12A，12B），并且将电气消除系统（73A，73B，74A，74B）耦合到包括行进质量块（33A，33B）和旋转臂（23A）的旋转结构，23B）。在这样做时，诸如不想要的二次谐波运动的不期望的非线性运动被最小化。

24. 发明公开

EP2269001A4 VIBRATING MICRO-MECHANICAL SENSOR OF ANGULAR VELOCITY 有权转让
标题翻译： VIBRANT微机械角速度传感器
公开(公告)号：EP2269001A4
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：EP09732877
申请日：2009-04-08
申请人： MURATA ELECTRONICS OY
发明人： BLOMQVIST ANSSI
IPC分类号： G01C19/56 , B81B3/00 , G01C19/5712 , G01C19/5747 , G01C19/5762 , G01P3/44
CPC分类号： G01C19/5762 , G01C19/5712 , G01C19/5747

25. 发明授权

EP2259019B1 Microelectromechanical gyroscope with position control driving and method for controlling a microelectromechanical gyroscope 有权转让
标题翻译：微机电陀螺仪具有位置控制驱动器和一种用于控制微机电陀螺仪
公开(公告)号：EP2259019B1
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：EP10164823.6
申请日：2010-06-03
申请人： STMicroelectronics Srl
发明人： Prandi, Luciano , Caminada, Carlo
IPC分类号： G01C19/5762 , G01C19/5726
CPC分类号： G01C19/56 , G01C19/5726 , G01C19/5762 , H03F3/70

26. 发明授权

EP3295124B1 VIBRATING MICRO-MECHANICAL ANGULAR VELOCITY SENSOR AND METHOD FOR OPERATING THE SAME 有权
公开(公告)号：EP3295124B1
公开(公告)日：2021-11-24
申请号：EP16724723.8
申请日：2016-05-12
发明人： KATO, Yoshitaka
IPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5747 , G01C19/5762

27. 发明公开

EP3812705A1 MEMS SENSOR WITH CONFIGURATION TO REDUCE NON-LINEAR MOTION 审中-实审
公开(公告)号：EP3812705A1
公开(公告)日：2021-04-28
申请号：EP20209488.4
申请日：2015-01-21
申请人： InvenSense, Inc.
发明人： Anac, Ozan , Seeger, Joseph
IPC分类号： G01C19/5733 , G01C19/5747 , G01C19/5762 , G01P15/08 , B81B3/00
摘要： Embodiments for modifying a spring mass configuration are disclosed that minimize the effects of unwanted nonlinear motion on a MEMS sensor. The modifications include any or any combination of providing a rigid element between rotating structures of the spring mass configuration, tuning a spring system between the rotating structures and coupling an electrical cancellation system to the rotating structures. In so doing unwanted nonlinear motion such as unwanted 2nd harmonic motion is minimized. The electrical cancellation system uses combined signals from transducers used for detecting movement of travelling masses of the MEMS sensor subject to an input angular velocity.

28. 发明授权

EP2899503B1 MEMS sensor with configuration to reduce non-linear motion 有权
公开(公告)号：EP2899503B1
公开(公告)日：2020-11-25
申请号：EP15152031.9
申请日：2015-01-21
申请人： InvenSense, Inc.
发明人： Anac, Ozan , Seeger, Joseph
IPC分类号： G01C19/5733 , G01C19/5747 , G01C19/5762 , G01P15/08 , B81B3/00

29. 发明公开

EP3387378A1 GYROSCOPE WITH AUXILIARY SELF-TEST 有权
公开(公告)号：EP3387378A1
公开(公告)日：2018-10-17
申请号：EP16813249.6
申请日：2016-12-09
申请人： Panasonic Corporation
发明人： CORONATO, Luca , GAFFORELLI, Giacomo , RUOHIO, Jaakko
IPC分类号： G01C19/5762
摘要： A gyroscope includes drive electrodes that drive a drive mass at a drive frequency. A sense mass is responsive to a Coriolis force caused by rotation of the gyroscope and oscillates based on the drive frequency. Electrodes adjacent to the sense mass drive the sense mass at test frequencies. The response to the driving at the test frequencies is measured and a gyroscope failure is identified based on this response.

30. 发明公开

EP3161415A2 SYSTEM AND METHODS FOR DETERMINING ROTATION FROM NONLINEAR PERIODIC SIGNALS 无效
标题翻译：确定非线性周期信号旋转的系统和方法
公开(公告)号：EP3161415A2
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：EP15734284.1
申请日：2015-06-26
申请人： Lumedyne Technologies Incorporated
发明人： WATERS, Richard, Lee , HUANG, Xiaojun , TALLY, Charles, Harold, IV , ZHANG, Yanting , JACOBS, John, David , FRALICK, Mark, Steven , BRAYSHAW, Jeffrey, Alan , CHISUM, Brad, Wesley
IPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5726 , G01C19/5747 , G01C19/5762
CPC分类号： G01P15/125 , G01C19/5705 , G01C19/5726 , G01C19/5747 , G01P15/0802
摘要： Systems and methods are disclosed herein for extracting system parameters from nonlinear periodic signals from sensors. A sensor such as an inertial device includes a first structure and a second structure that is springedly coupled to the first structure. The sensor is configured to generate an output voltage based on a current between the first and second structures. Monotonic motion of the second structure relative to the first structure causes a reversal in direction of the current.
摘要翻译：本文公开了用于从来自传感器的非线性周期性信号提取系统参数的系统和方法诸如惯性装置的传感器包括第一结构和与第一结构弹性联接的第二结构。传感器被配置为基于第一和第二结构之间的电流生成输出电压。第二结构相对于第一结构的单调运动引起电流方向的反转。

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