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21. 发明公开

EP2937666A1 MIKROMECHANISCHER INERTIALSENSOR ZUR MESSUNG VON DREHRATEN 有权
标题翻译： MICRO机械惯性用于测量旋转速度
公开(公告)号：EP2937666A1
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：EP15165766.5
申请日：2008-03-20
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
发明人： Merz, Peter , Weiß, Manfred
IPC分类号： G01C19/56 , G01C19/5712 , G01C19/5762
CPC分类号： G01C19/5762 , G01C19/5712
摘要： Die Erfindung betrifft einen Drehratensensor zur Detektion einer Drehung Ω, um die der Sensor gedreht wird, wobei der Sensor ein Substrat und eine Antriebs- und Detektionsanordnung aufweist, die sich im Wesentlichen flächig in einer x-y-Ebene oberhalb der Substratoberfläche befindet, wobei die Antriebs- und Detektionsanordnung eine Antriebsmasse (4) und eine Detektionsmasse (3) aufweist, die in unterschiedlichen Abständen von einem Zentrum (Z) der Detektionsanordnung symmetrisch um dieses Zentrum herum angeordnet sind und deren Schwingungsmoden teilweise aufeinander übertragen werden können und teilweise entkoppelt sind, wobei die Primärbewegung der Antriebsmasse von der Detektionsmasse nicht oder nur partiell erfasst wird oder die Antriebsmasse nicht oder nur partiell aus der x-y-Ebene verkippt oder ausgelenkt werden kann, wobei die Drehung Ω dadurch detektiert wird, dass eine Verkippung der Detektionsmasse aus der Flächenebene der Antriebs- und Detektionsanordnung heraus detektiert wird, wobei diejenige der beiden Massen (3,4), die einen größeren Abstand zu dem genannten Zentrum aufweist, unter der Einwirkung von Corioliskraft aus der genannten Flächenebene heraus verkippen kann, dadurch gekennzeichnet, dass die genannte verkippbare Masse (3,4) über symmetrisch angeordnete Außenanker (7) mit dem Substrat derart verbunden ist, dass die Rückstellung der genannten Verkippung durch die Außenanker (7) unterstützt wird.
摘要翻译：本发明涉及一种横摆率传感器，用于检测旋转©，向其中传感器旋转时，该传感器包括基板和其基本上在衬底表面上方的xy平面平坦的驱动和检测装置，其中所述驱动具有与检测装置中，驱动质量块（4）和检测质量块（3），所述检测装置的（Z）是在从中心不同的距离对称地配置该中心周围和它们的振动模式可以部分被转移到彼此且部分地去耦合，其中所述主运动驱动质量块仅部分地或不通过检测质量覆盖或驱动质量块不能或可以倾斜出XY平面的或由以下事实偏转仅部分，从而检测出旋转©从驱动和检测装置的表面平面中的检测质量块的倾斜出DET ected，其特征在于，两个质量块中的一个（3,4），其具有较大的距离，以所述中心，可以的科里奥利力的作用下从所述倾斜表面平面出来，其特征在于，所述可倾斜的质量（3,4）通过对称地布置在外电枢（7）被连接到基板，使得提供所述由外电枢（7）的倾斜被支撑。

22. 发明公开

EP2899503A1 MEMS sensor with configuration to reduce non-linear motion 有权
标题翻译：微机电传感器
公开(公告)号：EP2899503A1
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：EP15152031.9
申请日：2015-01-21
申请人： InvenSense, Inc.
发明人： Anac, Ozan , Seeger, Joseph
IPC分类号： G01C19/5733 , G01C19/5747 , G01C19/5762 , G01P15/08 , B81B3/00
CPC分类号： G01C19/5762 , B81B3/0051 , B81B2201/0242 , B81B2203/0163 , G01C19/5733 , G01C19/5747 , G01P15/0802
摘要： Embodiments for modifying a spring mass configuration are disclosed that minimize the effects of unwanted nonlinear motion on a MEMS sensor, such as a gyroscope. Examples of gyroscope configurations (11A, 12A, 13A) includes at least one pair of counter-rotating arms (21A, 21B, 22A, 22B, 23A, 23B) linked to two traveling masses (31A, 31B, 32A, 32B, 33A, 33B). The modifications include any or any combination of providing a rigid element (21) between rotating structures of the spring mass configuration including the traveling masses (31A, 31B), tuning a spring system (22, 42A, 42B) between the rotating structures including the traveling masses (32A, 32B) and the rotating arms (12A, 12B) and coupling an electrical cancellation system (73A, 73B, 74A, 74B) to the rotating structures including the traveling masses (33A, 33B) and the rotating arms (23A, 23B). In so doing, unwanted nonlinear motion such as unwanted 2nd harmonic motion is minimized.
摘要翻译：公开了用于修改弹簧质量结构的实施例，其最小化对MEMS传感器（例如陀螺仪）的不期望的非线性运动的影响。陀螺仪构造（11A，12A，13A）的例子包括至少一对与两个行进质量块（31A，31B，32A，32B，33A，23B）连接的反向旋转臂（21A，21B，22A，22B，23A，23B） 33B）。修改包括在包括行进质量块（31A，31B）的弹簧质量结构的旋转结构之间提供刚性元件（21）的任何或任何组合，调整包括旋转结构的旋转结构之间的弹簧系统（22,42A，42B）移动块（32A，32B）和旋转臂（12A，12B），并且将电气消除系统（73A，73B，74A，74B）耦合到包括行进质量块（33A，33B）和旋转臂（23A）的旋转结构，23B）。在这样做时，诸如不想要的二次谐波运动的不期望的非线性运动被最小化。

23. 发明公开

EP2269001A4 VIBRATING MICRO-MECHANICAL SENSOR OF ANGULAR VELOCITY 有权转让
标题翻译： VIBRANT微机械角速度传感器
公开(公告)号：EP2269001A4
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：EP09732877
申请日：2009-04-08
申请人： MURATA ELECTRONICS OY
发明人： BLOMQVIST ANSSI
IPC分类号： G01C19/56 , B81B3/00 , G01C19/5712 , G01C19/5747 , G01C19/5762 , G01P3/44
CPC分类号： G01C19/5762 , G01C19/5712 , G01C19/5747

24. 发明授权

EP2259019B1 Microelectromechanical gyroscope with position control driving and method for controlling a microelectromechanical gyroscope 有权转让
标题翻译：微机电陀螺仪具有位置控制驱动器和一种用于控制微机电陀螺仪
公开(公告)号：EP2259019B1
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：EP10164823.6
申请日：2010-06-03
申请人： STMicroelectronics Srl
发明人： Prandi, Luciano , Caminada, Carlo
IPC分类号： G01C19/5762 , G01C19/5726
CPC分类号： G01C19/56 , G01C19/5726 , G01C19/5762 , H03F3/70

25. 发明公开

EP4361560A1 MICROELECTROMECHANICAL GYROSCOPE WITH DETECTION OF ANGULAR VELOCITY ALONG A VERTICAL AXIS 审中-公开
公开(公告)号：EP4361560A1
公开(公告)日：2024-05-01
申请号：EP23202344.0
申请日：2023-10-09
申请人： STMicroelectronics S.r.l.
发明人： CARULLI, Paola , FALORNI, Luca Giuseppe , FEDELI, Patrick , GUERINONI, Luca
IPC分类号： G01C19/5762 , G01C19/5747
CPC分类号： G01C19/5762 , G01C19/5747
摘要： A microelectromechanical gyroscope (10) with detection along a vertical axis is provided with a detection structure (10) having a movable structure (12), suspended above a substrate (13) so as to perform, as a function of an angular velocity (Ωz) around the vertical axis a sense movement along a first horizontal axis (x). The movable structure has at least one drive mass (14) internally defining a window (16), elastically coupled to a rotor anchor (20'), at an anchoring region (A), through elastic anchoring elements (21); at least one bridge element (18), rigid and of a conductive material, cantilevered suspended and extending within the window along the first horizontal axis, elastically coupled to the drive mass; movable electrodes (23), carried integrally by the bridge element with extension along a second horizontal axis (y). The detection structure (10) also has stator electrodes (28, 29), arranged in the window and interdigitated with the movable electrodes, at a certain separation distance below the bridge element (18), which extends longitudinally above the same stator electrodes and the movable electrodes.

26. 发明公开

EP3491395A1 COMPOSITE VIBRATORY IN-PLANE ACCELEROMETER 有权转让
公开(公告)号：EP3491395A1
公开(公告)日：2019-06-05
申请号：EP17749073.7
申请日：2017-07-27
申请人： Lumedyne Technologies Incorporated
发明人： ANAC, Ozan , HUANG, Xiaojun
IPC分类号： G01P15/097 , G01P15/125 , G01C19/5762 , G01P15/08
摘要： Systems and methods are described herein for detecting and measuring inertial parameters, such as acceleration. In particular, the systems and methods relate to vibratory inertial sensors implementing time-domain sensing techniques. Within a composite mass sensor system, a sense mass may oscillate at a frequency different from its actuation frequency, allowing flexibility when integrating the sensor into drive systems without sacrificing sensitivity.

27. 发明授权

EP2600104B1 Micro-capteur inertiel de mouvements de rotation 有权
标题翻译：微型惯性旋转运动
公开(公告)号：EP2600104B1
公开(公告)日：2017-08-23
申请号：EP12194966.3
申请日：2012-11-30
申请人： COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
发明人： Deimerly, Yannick , Jourdan, Guillaume
IPC分类号： G01C19/5762 , G01C19/5747 , G01C19/5712
CPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5747 , G01C19/5762

28. 发明授权

EP2269001B1 VIBRATING MICRO-MECHANICAL SENSOR OF ANGULAR VELOCITY 有权转让
标题翻译：振动角速度的微机械传感器
公开(公告)号：EP2269001B1
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：EP09732877.7
申请日：2009-04-08
申请人： Murata Electronics Oy
发明人： BLOMQVIST, Anssi
IPC分类号： G01C19/56 , G01P3/44 , B81B3/00 , G01C19/5712 , G01C19/5747 , G01C19/5762
CPC分类号： G01C19/5762 , G01C19/5712 , G01C19/5747

29. 发明公开

EP2867614A4 IMPROVED VIBRATORY GYROSCOPE 有权
标题翻译：改进的振动陀螺仪
公开(公告)号：EP2867614A4
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：EP13810666
申请日：2013-06-25
申请人： MURATA MANUFACTURING CO
发明人： AALTONEN LASSE
IPC分类号： G01C19/5726 , B81B7/00 , G01C19/5762 , G01C19/5776 , H03H9/02
CPC分类号： G01C19/5776 , G01C19/5726 , G01C19/5762

30. 发明授权

EP2150822B1 A METHOD FOR MEASURING ANGULAR VELOCITY AND A VIBRATING MICROMECHANICAL SENSOR OF ANGULAR VELOCITY 有权转让
标题翻译：方法用于测量角速度和充满活力的微观力学角速度传感器
公开(公告)号：EP2150822B1
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：EP08761709.8
申请日：2008-05-29
申请人： Murata Electronics Oy
发明人： BLOMQVIST, Anssi
IPC分类号： G01C19/5726 , G01P15/08 , G01C19/56 , G01C19/5762
CPC分类号： G01C19/5762 , G01C19/5726

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