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21. 发明授权

EP3371096B1 MEMBRANE DEVICE AND METHOD OF FABRICATING SUCH A DEVICE 有权
公开(公告)号：EP3371096B1
公开(公告)日：2024-07-03
申请号：EP16794007.1
申请日：2016-11-04
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/007 , B81B2203/012720130101 , B81B2203/031520130101

22. 发明授权

EP3839520B1 MICROMECHANICAL DEVICE WITH ELASTIC ASSEMBLY HAVING VARIABLE ELASTIC CONSTANT 有权
公开(公告)号：EP3839520B1
公开(公告)日：2024-05-01
申请号：EP20212118.2
申请日：2020-12-07
IPC分类号： G01P15/125 , B81B3/00 , B81B5/00 , G01L1/14 , G01L5/00 , G01P15/08
CPC分类号： G01P15/125 , G01P2015/081420130101 , G01P2015/085120130101 , G01P2015/087120130101 , B81B3/007 , B81B2201/023520130101 , B81B2203/016320130101 , G01L5/0052

23. 发明公开

EP3234532A1 MEMBRANE FOR A CAPACITIVE MEMS PRESSURE SENSOR AND METHOD OF FORMING A CAPACITIVE MEMS PRESSURE SENSOR 有权转让
标题翻译：用于电容式MEMS压力传感器的膜及形成电容式MEMS压力传感器的方法
公开(公告)号：EP3234532A1
公开(公告)日：2017-10-25
申请号：EP15870969.1
申请日：2015-12-16
申请人： Robert Bosch GmbH
发明人： FEYH, Ando , O'BRIEN, Gary
IPC分类号： G01L9/12 , G01L7/08 , B81B7/02 , B81C1/00
CPC分类号： B81B7/02 , B81B3/007 , B81B3/0072 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2207/115 , B81C1/00261 , G01L9/0042 , G01L9/0073
摘要： A capacitive micro electrical mechanical system (MEMS) pressure sensor in one embodiment includes a base layer, a lower oxide layer supported by the base layer, a contact layer extending within the lower oxide layer, a membrane layer positioned generally above the lower oxide layer, the membrane layer including at least one protrusion extending downwardly through a portion of the lower oxide layer and contacting the contact layer, a nitride layer extending partially over the membrane layer, an upper oxide layer above the nitride layer, a backplate layer directly supported by the membrane layer and positioned above the upper oxide layer, a front-side etched portion exposing a first portion of the membrane layer through the upper oxide layer and the nitride layer, and a backside etched portion extending through the base layer, the backside etched portion at least partially aligned with the front-side etched portion.
摘要翻译：在一个实施例中，电容微电子机械系统（MEMS）压力传感器包括基底层，由基底层支撑的下氧化物层，在下氧化物层内延伸的接触层，大致位于下氧化物层上方的膜层，所述膜层包括至少一个向下延伸穿过所述下氧化物层的一部分并与所述接触层接触的突起，在所述膜层上部分地延伸的氮化物层，所述氮化物层上的上氧化物层，由所述氮化物层直接支撑的背板层位于所述上氧化层上方的正面蚀刻部分，暴露所述膜层的第一部分穿过所述上氧化层和所述氮化物层的正面蚀刻部分，以及延伸穿过所述基层的背面蚀刻部分，所述背面蚀刻部分在至少部分地与正面蚀刻部分对齐。

24. 发明授权

EP2836455B1 MEMBRANANORDNUNG FÜR EINEN MIKRO-ELEKTROMECHANISCHEN MESSUMFORMER 有权
标题翻译：用于微机电变送器的膜组件
公开(公告)号：EP2836455B1
公开(公告)日：2017-10-18
申请号：EP13707863.0
申请日：2013-03-05
申请人： Robert Bosch GmbH
发明人： DALEY, Mike , SCHEBEN, Rolf , SCHELLING, Christoph
IPC分类号： B81B3/00 , B81C1/00
CPC分类号： H04R17/005 , B81B3/007 , B81B3/0086 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81C1/00158

25. 发明授权

EP2389336B1 FABRICATION OF MEMS BASED CANTILEVER SWITCHES BY EMPLOYING A SPLIT LAYER CANTILEVER DEPOSITION SCHEME 有权转让
标题翻译：采用分层悬臂式沉积方法制作基于MEMS的悬臂式开关
公开(公告)号：EP2389336B1
公开(公告)日：2017-09-20
申请号：EP10700934.2
申请日：2010-01-20
申请人： Cavendish Kinetics, Inc.
发明人： LACEY, Joseph, Damian, Gordon
IPC分类号： H01L41/09
CPC分类号： B81B3/007 , B81B2201/014 , B81B2203/0118 , H01L41/094

26. 发明公开

EP3141519A1 PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE PIÈCE MICROMÉCANIQUE HORLOGÈRE ET LADITE PIÈCE MICROMÉCANIQUE HORLOGÈRE 有权
标题翻译：赫尔辛基（FHR）EIN MIKROMECHANISCHES UHRENBAUTEIL UND ENTSPRECHENDES MIKROMECHANISCHES UHRENBAUTEIL
公开(公告)号：EP3141519A1
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：EP15184184.8
申请日：2015-09-08
申请人： Nivarox-FAR S.A.
发明人： Dubois, Philippe
IPC分类号： B81B3/00 , G04D3/00
CPC分类号： G04B15/14 , B81B3/007 , B81B2201/035 , B81C1/0038 , B81C1/00539 , B81C1/00547 , B81C1/00714 , B81C1/00992 , B81C2201/0115 , C09K13/00 , C09K13/08 , C23C14/0611 , C23C14/0652 , C23C14/10 , C23C14/12 , C23C16/0254 , C23C16/45525 , C25F3/02 , C25F3/12 , G04D3/0069
摘要： L'invention se rapporte à un procédé de fabrication d'une pièce micromécanique horlogère à partir d'un substrat à base de silicium (1), comprenant, dans l'ordre, les étapes de :
a) former des pores (2) à la surface d'au moins une partie d'une surface dudit substrat à base de silicium (1) d'une profondeur déterminée,
b) remplir entièrement lesdits pores (2) d'un matériau choisi parmi le diamant, le carbone-diamant (DLC), l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium, des céramiques, des polymères et leurs mélanges, afin de former dans les pores (2) une couche dudit matériau d'une épaisseur au moins égale à la profondeur des pores (2).
L'invention concerne également une pièce micromécanique horlogère comprenant un substrat à base de silicium (1) qui présente, à la surface d'au moins une partie d'une de ses surfaces, des pores (2) d'une profondeur déterminée, lesdits pores (2) étant entièrement remplis d'une couche d'un matériau choisi parmi le diamant, le carbone-diamant (DLC), l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium, des céramiques, des polymères et leurs mélanges, d'une épaisseur au moins égale à la profondeur des pores (2).
摘要翻译：一种用于制造从硅基基底开始的微机械钟表部件的方法，包括在所确定的深度的所述硅基底板的至少一部分表面的表面上形成孔，用选定的材料完全填充孔来自金刚石，类金刚石碳，氧化硅，氮化硅，陶瓷，聚合物及其混合物，以在孔中形成至少等于孔深度的厚度的材料层。一种微机械钟表部件，其包括硅基基板，所述硅基基板在所述硅基基板的表面的至少一部分的表面上具有确定深度的孔，所述孔被完全填充有选自以下的材料层：金刚石，类金刚石碳，氧化硅，氮化硅，陶瓷，聚合物及其混合物，其厚度至少等于孔的深度。

27. 发明公开

EP3071933A1 CAPTEUR COMPRENANT DES MASSES MOBILES ET DES MOYENS DE DÉTECTION DES MOUVEMENTS RELATIFS DES MASSES 有权
标题翻译：传感器MIT BEWEGLICHEN MASSEN MASSEN MITTEL ZUM ERFASSEN VON RELATIVBEWEGUNGEN DER MASSEN
公开(公告)号：EP3071933A1
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：EP14802026.6
申请日：2014-11-20
申请人： Safran Electronics & Defense
发明人： JEANROY, Alain , ONFROY, Philippe
IPC分类号： G01C19/574 , B81B3/00 , G01P15/097
CPC分类号： G01C19/574 , B81B3/0021 , B81B3/007 , B81B2201/0242 , B81B2201/0271 , B81B2203/0109 , B81B2203/04 , B81C1/00658 , G01P15/097 , G01P2015/084
摘要： The invention relates to a MEMS inertial sensor, including a frame to which at least a first seismic body and a second seismic body are connected by resilient means such as to be movable in a suspension plane, transducers to keep the seismic bodies vibrating and determine a movement of the seismic bodies in the suspension plane, and a control unit connected to the transducers by electrical conduction means. The transducers comprise at least one electrode rigidly connected to the first seismic body and one electrode rigidly connected to the second seismic body, the two electrodes being arranged such as to allow direct measurement of the relative movement of the seismic bodies relative to one another in the suspension plane.
摘要翻译：一种MEMS型惯性传感器，包括至少具有第一地震体的支撑结构和通过弹性装置连接到其上的第二地震体，以便能够在悬架平面中移动，用于将地震体保持在振动中并用于确定振动的运动悬架平面中的地震体，以及通过电导体装置连接到换能器的控制单元。所述换能器包括固定到所述第一地震体的至少一个电极和固定到所述第二地震体的至少一个电极，所述两个电极被布置成使所述地震体相对于所述悬架平面中的相对运动被直接测量。

28. 发明授权

EP2844611B1 MEMS DEVICE 有权
标题翻译： MEMS器件
公开(公告)号：EP2844611B1
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：EP13715766.5
申请日：2013-03-27
申请人： Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho
发明人： OZAKI, Takashi , FUJITSUKA, Norio , SHIMAOKA, Keiichi , NONOMURA, Yutaka
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0048 , B81B3/007 , B81B2201/042 , B81B2203/0109

29. 发明公开

EP2878573A1 Système masse-ressort à faible débattement transverse 有权
标题翻译：质量 - 弹簧系统与弱横向偏转
公开(公告)号：EP2878573A1
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：EP14195237.4
申请日：2014-11-27
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
发明人： Boisseau, Sébastien , Chaillout, Jean-Jacques , Despesse, Ghislain , Duret, Alexandre-Benoit
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： G01P15/0802 , B81B3/0021 , B81B3/0037 , B81B3/007 , B81B2203/0109 , B81B2203/0163 , F03G3/00 , G01C9/00 , G01D5/12 , H01L27/16
摘要： L'invention concerne un système masse-ressort (30) comprenant un support (34), une masse mobile (32) par rapport au support, au moins un premier et un deuxième ressort (36A, 36B) reliant la masse au support et permettant un déplacement de la masse par rapport au support selon une première direction (Ox), le premier ressort étant le symétrique du deuxième ressort par rapport à un axe (C), chaque premier et deuxième ressort comprenant au moins des première et deuxième poutres (38A, 38B, 39A, 39B) en série agencées en zigzag et un premier cadre fermé (40) entourant la masse, à distance de la masse et du support, chaque première poutre (38A, 38B) comprenant une première extrémité reliée au support et une deuxième extrémité fixée au premier cadre et chaque deuxième poutre (39A, 39B) comprenant une troisième extrémité fixée au premier cadre et une quatrième extrémité reliée à la masse.

30. 发明授权

EP2328361B1 CAPACITIVE VIBRATION SENSOR 有权转让
标题翻译：电容式传感器振动
公开(公告)号：EP2328361B1
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：EP09809435.2
申请日：2009-02-20
申请人： Omron Corporation
发明人： KASAI, Takashi , IIDA, Nobuyuki , NISHIO, Hidetoshi
IPC分类号： H04R19/04
CPC分类号： H04R19/005 , B81B3/007 , B81B2201/0257 , B81B2203/0307 , H04R19/04 , H04R31/00

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