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    • 11. 发明公开
    • PRESSURE SENSOR FOR A MILK TRANSPORT SYSTEM
    • DRUCKENSENSFÜREINMILCHFÖRDERUNGSSYSTEM
    • EP2299805A1
    • 2011-03-30
    • EP09755091.7
    • 2009-06-02
    • N.V. Nederlandsche Apparatenfabriek NEDAP
    • VAN DIJK, Jeroen MartinKLOOSTRA, SietzeSCHÄPERCLAUS, Edwin
    • A01J5/04G01L9/00
    • G01L9/0076A01J5/04G01L9/0005G01L9/0007G01L9/003G01L9/0032G01L9/0072G01L9/0077G01L19/0023
    • A sensor (1) to determine the pressure in a milk transport system of an installation for milking animals, more particularly to determine to what extent a vacuum is present in the milk transport system. The sensor is provided with a first space (4), bounded by one first wall (2), which, in use, is in open communication with the milk transport system or is part of the milk transport system. The sensor is further provided with a first electrode (8) which is mechanically in contact with the first wall, a second electrode (12) and an electronic measuring circuit (16) for measuring a parameter which depends at least on the capacity formed by the first and the second electrode. The sensor is designed such that a distance between the first and second electrode varies as a function of a difference in pressure between the first space and the second space so that the parameter is a measure of the pressure prevailing in the first space relative to the pressure prevailing in the second space.
    • 一种传感器(1),用于确定用于挤奶动物的装置的牛奶输送系统中的压力,更具体地,确定牛奶输送系统中真空存在的程度。 传感器设置有第一空间(4),第一空间(4)由一个第一壁(2)限定,其在使用中与牛奶输送系统开放连通或者是牛奶输送系统的一部分。 传感器还设置有与第一壁机械接触的第一电极(8),第二电极(12)和电子测量电路(16),用于测量至少取决于由 第一和第二电极。 传感器被设计成使得第一和第二电极之间的距离作为第一空间和第二空间之间的压力差的函数而变化,使得参数是在第一空间中相对于压力存在的压力的量度 盛行于第二空间。
    • 19. 发明公开
    • PRESSURE TRANSDUCER WITH FLOW-THROUGH MEASUREMENT CAPABILITY
    • 流量测量的可能性压力变压器。
    • EP0500783A1
    • 1992-09-02
    • EP91900581.0
    • 1990-11-05
    • SETRA SYSTEMS, INC.
    • LEE, Shih-Ying
    • G01L9
    • G01L9/0004A61M2205/3331G01L9/0002G01L9/0005
    • Un transducteur mesure la pression d'un fluide à l'intérieur d'un conduit creux, en général un conduit ayant une section circulaire, ayant une région centrale qui est déformée en section non circulaire. Cette partie non circulaire du conduit se déplace radialement et de manière répétée sans hystérèse en réponse à la pression du fluide s'écoulant dans le conduit d'une manière qui correspond à la pression. Un ensemble à condensateur variable (26), ou un groupe de jauges de contraintes (A, B, C, D) monté sur l'extérieur de la partie non circulaire, produisent un signal électrique proportionnel au déplacement radial ou à la contrainte, respectivement. Dans une forme capacitive (26), une paire d'électrodes (24) est montée sur les côtés opposés de la partie non circulaire formée comme parties extrêmes libres d'éléments en feuille métallique avec un canal central. Dans une autre forme capacitive (26'), des électrodes (24') sont montées à une extrémité ou aux deux extrémités de bras de levier qui, à leur tour, sont couplés à la partie non circulaire avec un ensemble de plaques de flexion (34, 36) pour produire une amplification mécanique du déplacement radial.
    • 20. 发明公开
    • FLEXIBLE DISPOSABLE MEMS PRESSURE SENSOR
    • 柔性一次性MEMS压力传感器
    • EP3234531A1
    • 2017-10-25
    • EP15870748.9
    • 2015-12-10
    • Robert Bosch GmbH
    • YEE, Seow, YuenYAMA, Gary
    • G01L9/12G01L1/14B81B7/02
    • B81C99/008B81B7/0058B81B7/02B81B2201/0264B81C2201/038B81C2201/056G01L9/0005G01L19/144G01L19/147
    • A MEMS device, e.g., a flexible MEMS pressure sensor, is formed by disposing a sacrificial layer, such as photoresist, on a substrate. A first flexible support layer is disposed on the substrate, and a first conductive layer is disposed over a portion of the first support layer. A liquid or gel separator, e.g., silicone oil, is disposed on an internal region of the first conductive layer. A second flexible support layer encapsulates the first conductive layer and the separator. A second conductive layer disposed over the second support layer at least partially overlaps the first conductive layer and forms a parallel plate capacitor. A third flexible support layer encapsulates the second conductive layer and second support layer. Soaking the sensor in hot water releases the sensor from the sacrificial layer.
    • MEMS器件,例如柔性MEMS压力传感器,通过在衬底上设置诸如光致抗蚀剂的牺牲层来形成。 第一柔性支撑层设置在衬底上,并且第一导电层设置在第一支撑层的一部分之上。 液体或凝胶分离器(例如硅油)被布置在第一导电层的内部区域上。 第二柔性支撑层封装第一导电层和隔离物。 设置在第二支撑层上的第二导电层至少部分地与第一导电层重叠并形成平行板电容器。 第三柔性支撑层封装第二导电层和第二支撑层。 将传感器浸泡在热水中会从牺牲层释放传感器。