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11. 发明公开

EP0500783A1 PRESSURE TRANSDUCER WITH FLOW-THROUGH MEASUREMENT CAPABILITY 失效
标题翻译：流量测量的可能性压力变压器。
公开(公告)号：EP0500783A1
公开(公告)日：1992-09-02
申请号：EP91900581.0
申请日：1990-11-05
申请人： SETRA SYSTEMS, INC.
发明人： LEE, Shih-Ying
IPC分类号： G01L9
CPC分类号： G01L9/0004 , A61M2205/3331 , G01L9/0002 , G01L9/0005
摘要： Un transducteur mesure la pression d'un fluide à l'intérieur d'un conduit creux, en général un conduit ayant une section circulaire, ayant une région centrale qui est déformée en section non circulaire. Cette partie non circulaire du conduit se déplace radialement et de manière répétée sans hystérèse en réponse à la pression du fluide s'écoulant dans le conduit d'une manière qui correspond à la pression. Un ensemble à condensateur variable (26), ou un groupe de jauges de contraintes (A, B, C, D) monté sur l'extérieur de la partie non circulaire, produisent un signal électrique proportionnel au déplacement radial ou à la contrainte, respectivement. Dans une forme capacitive (26), une paire d'électrodes (24) est montée sur les côtés opposés de la partie non circulaire formée comme parties extrêmes libres d'éléments en feuille métallique avec un canal central. Dans une autre forme capacitive (26'), des électrodes (24') sont montées à une extrémité ou aux deux extrémités de bras de levier qui, à leur tour, sont couplés à la partie non circulaire avec un ensemble de plaques de flexion (34, 36) pour produire une amplification mécanique du déplacement radial.

12. 发明公开

EP3344968A1 ELECTROACTIVE POLYMER SENSORS AND SENSING METHODS 有权
公开(公告)号：EP3344968A1
公开(公告)日：2018-07-11
申请号：EP16762996.3
申请日：2016-08-31
申请人： Koninklijke Philips N.V.
发明人： VAN DEN ENDE, Daan, Anton , JOHNSON, Mark, Thomas , HILGERS, Achim
IPC分类号： G01L9/08 , H01L41/08 , G01K7/24 , G01L1/16 , H01L41/04 , H01L41/113 , H01L41/193 , H01L41/09
CPC分类号： A61B5/01 , A61B1/0008 , A61B5/0048 , A61B5/0053 , A61B5/0531 , A61B5/0816 , A61B5/6843 , A61B5/7278 , A61B2560/0223 , A61B2560/0252 , G01K7/22 , G01K7/24 , G01L1/16 , G01L9/0005 , H01L41/042 , H01L41/0825 , H01L41/0926 , H01L41/1132 , H01L41/193
摘要： The invention provides an electroactive material (preferably electroactive polymer) sensor system, comprising an electroactive material sensor (22) and a control system (28) for performing measurements relating to the impedance of the electroactive material sensor at at least first and second different frequencies. From these measurements a temperature at the sensor and an external pressure or force applied to the sensor can be determined. The sensor can thus be used as a pressure sensor and as a temperature sensor. When used in combination with actuation, an electroactive material actuator with integrated temperature sensing functionality is able to measure the temperature at the exact actuator position, which is always closer than an external thermocouple.

13. 发明授权

EP2299805B1 PRESSURE SENSOR FOR A MILK TRANSPORT SYSTEM 有权
标题翻译：奶牛运输系统的压力传感器
公开(公告)号：EP2299805B1
公开(公告)日：2017-08-30
申请号：EP09755091.7
申请日：2009-06-02
申请人： N.V. Nederlandsche Apparatenfabriek NEDAP
发明人： VAN DIJK, Jeroen Martin , KLOOSTRA, Sietze , SCHÄPERCLAUS, Edwin
IPC分类号： G01L19/00 , A01J5/04 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0076 , A01J5/04 , G01L9/0005 , G01L9/0007 , G01L9/003 , G01L9/0032 , G01L9/0072 , G01L9/0077 , G01L19/0023

14. 发明授权

EP2520918B1 MEMS capacitive pressure sensor, operating method and manufacturing method 有权转让
标题翻译：电容MEMS压力传感器，操作程序和制造过程
公开(公告)号：EP2520918B1
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：EP12165684.7
申请日：2012-04-26
申请人： ams International AG
发明人： Besling, Willem , Reimann, Klaus , Steeneken, Peter , Wunnicke, Olaf , Woltjer, Reinout
IPC分类号： G01L9/00 , G01L9/12 , G01L19/00 , G01L27/00
CPC分类号： G01L9/0005 , G01L9/0042 , G01L9/0073 , G01L9/125 , G01L19/0076 , G01L27/002

15. 发明公开

EP2520918A3 MEMS capacitive pressure sensor, operating method and manufacturing method 有权转让
标题翻译：电容MEMS压力传感器，操作程序和制造过程
公开(公告)号：EP2520918A3
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：EP12165684.7
申请日：2012-04-26
申请人： NXP B.V.
发明人： Besling, Willem , Reimann, Klaus , Steeneken, Peter , Wunnicke, Olaf , Woltjer, Reinout
IPC分类号： G01L9/00 , G01L9/12 , G01L19/00 , G01L27/00
CPC分类号： G01L9/0005 , G01L9/0042 , G01L9/0073 , G01L9/125 , G01L19/0076 , G01L27/002
摘要： A MEMS pressure sensor wherein at least one of the electrode arrangements comprises an inner electrode and an outer electrode arranged around the inner electrode. The sensor is provided over an integrated circuit. The capacitances associated with the inner electrode and the outer electrode can be independently measured and can be differentially measured. This arrangement enables various different read out schemes to be implemented and also enables improved compensation for variations between devices or changes in device characteristics over time.

16. 发明公开

EP2520918A2 MEMS capacitive pressure sensor, operating method and manufacturing method 有权转让
标题翻译： MEMS电容式压力传感器，操作方法和制造方法
公开(公告)号：EP2520918A2
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：EP12165684.7
申请日：2012-04-26
申请人： NXP B.V.
发明人： Besling, Willem , Reimann, Klaus , Steeneken, Peter , Wunnicke, Olaf , Woltjer, Reinout
IPC分类号： G01L9/00 , G01L9/12 , G01L19/00
CPC分类号： G01L9/0005 , G01L9/0042 , G01L9/0073 , G01L9/125 , G01L19/0076 , G01L27/002
摘要： A MEMS pressure sensor wherein at least one of the electrode arrangements comprises an inner electrode and an outer electrode arranged around the inner electrode. The sensor is provided over an integrated circuit. The capacitances associated with the inner electrode and the outer electrode can be independently measured and can be differentially measured. This arrangement enables various different read out schemes to be implemented and also enables improved compensation for variations between devices or changes in device characteristics over time.
摘要翻译：一种MEMS压力传感器，其中所述电极装置中的至少一个包括内电极和布置在所述内电极周围的外电极。传感器通过集成电路提供。与内部电极和外部电极相关的电容可以独立测量并且可以被差分测量。该布置使得能够实现各种不同的读出方案，并且还能够改善对器件之间的变化的补偿或者随时间的器件特性的变化。

17. 发明公开

EP2299805A1 PRESSURE SENSOR FOR A MILK TRANSPORT SYSTEM 有权
标题翻译： DRUCKENSENSFÜREINMILCHFÖRDERUNGSSYSTEM
公开(公告)号：EP2299805A1
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：EP09755091.7
申请日：2009-06-02
申请人： N.V. Nederlandsche Apparatenfabriek NEDAP
发明人： VAN DIJK, Jeroen Martin , KLOOSTRA, Sietze , SCHÄPERCLAUS, Edwin
IPC分类号： A01J5/04 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0076 , A01J5/04 , G01L9/0005 , G01L9/0007 , G01L9/003 , G01L9/0032 , G01L9/0072 , G01L9/0077 , G01L19/0023
摘要： A sensor (1) to determine the pressure in a milk transport system of an installation for milking animals, more particularly to determine to what extent a vacuum is present in the milk transport system. The sensor is provided with a first space (4), bounded by one first wall (2), which, in use, is in open communication with the milk transport system or is part of the milk transport system. The sensor is further provided with a first electrode (8) which is mechanically in contact with the first wall, a second electrode (12) and an electronic measuring circuit (16) for measuring a parameter which depends at least on the capacity formed by the first and the second electrode. The sensor is designed such that a distance between the first and second electrode varies as a function of a difference in pressure between the first space and the second space so that the parameter is a measure of the pressure prevailing in the first space relative to the pressure prevailing in the second space.
摘要翻译：一种传感器（1），用于确定用于挤奶动物的装置的牛奶输送系统中的压力，更具体地，确定牛奶输送系统中真空存在的程度。传感器设置有第一空间（4），第一空间（4）由一个第一壁（2）限定，其在使用中与牛奶输送系统开放连通或者是牛奶输送系统的一部分。传感器还设置有与第一壁机械接触的第一电极（8），第二电极（12）和电子测量电路（16），用于测量至少取决于由第一和第二电极。传感器被设计成使得第一和第二电极之间的距离作为第一空间和第二空间之间的压力差的函数而变化，使得参数是在第一空间中相对于压力存在的压力的量度盛行于第二空间。

18. 发明授权

EP0634003B1 LOAD CELL 失效
标题翻译： Kraftmesseinrichtung
公开(公告)号：EP0634003B1
公开(公告)日：1996-08-14
申请号：EP92921918.6
申请日：1992-10-02
申请人： WEIGH-TRONIX, INC.
发明人： JOHNSON, Thomas, H.
IPC分类号： G01G3/12 , G01L1/10 , G01L1/22
CPC分类号： G01P15/097 , G01L1/14 , G01L1/162 , G01L1/2206 , G01L9/0005 , G01L9/0022
摘要： The invention is a load cell for the measurement of force, independent of displacement, created by means such as weight, acceleration, pressure, and the like. The load cell has a beam structure with beams positioned parallel to each other in at least one plane. Generally, these parallel beams are attached to a stationary substrate and have sensing means attached between the two beams. In operation, deflection of one beam creates a response in the sensing means due to the relative action or deflection in the second beam.

19. 发明授权

EP0548043B1 Drucksensor 失效
公开(公告)号：EP0548043B1
公开(公告)日：1996-02-14
申请号：EP92890260.0
申请日：1992-12-14
申请人： AVL Gesellschaft für Verbrennungskraftmaschinen und Messtechnik mbH.Prof.Dr.Dr.h.c. Hans List
发明人： Glaser, Josef, Dr.
IPC分类号： G01L9/12 , G01L9/04 , G01L9/08 , G01L23/22 , G01L19/04 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0001 , G01L9/0002 , G01L9/0005 , G01L19/04 , G01L23/22

20. 发明公开

EP3234531A1 FLEXIBLE DISPOSABLE MEMS PRESSURE SENSOR 有权转让
标题翻译：柔性一次性MEMS压力传感器
公开(公告)号：EP3234531A1
公开(公告)日：2017-10-25
申请号：EP15870748.9
申请日：2015-12-10
申请人： Robert Bosch GmbH
发明人： YEE, Seow, Yuen , YAMA, Gary
IPC分类号： G01L9/12 , G01L1/14 , B81B7/02
CPC分类号： B81C99/008 , B81B7/0058 , B81B7/02 , B81B2201/0264 , B81C2201/038 , B81C2201/056 , G01L9/0005 , G01L19/144 , G01L19/147
摘要： A MEMS device, e.g., a flexible MEMS pressure sensor, is formed by disposing a sacrificial layer, such as photoresist, on a substrate. A first flexible support layer is disposed on the substrate, and a first conductive layer is disposed over a portion of the first support layer. A liquid or gel separator, e.g., silicone oil, is disposed on an internal region of the first conductive layer. A second flexible support layer encapsulates the first conductive layer and the separator. A second conductive layer disposed over the second support layer at least partially overlaps the first conductive layer and forms a parallel plate capacitor. A third flexible support layer encapsulates the second conductive layer and second support layer. Soaking the sensor in hot water releases the sensor from the sacrificial layer.
摘要翻译： MEMS器件，例如柔性MEMS压力传感器，通过在衬底上设置诸如光致抗蚀剂的牺牲层来形成。第一柔性支撑层设置在衬底上，并且第一导电层设置在第一支撑层的一部分之上。液体或凝胶分离器（例如硅油）被布置在第一导电层的内部区域上。第二柔性支撑层封装第一导电层和隔离物。设置在第二支撑层上的第二导电层至少部分地与第一导电层重叠并形成平行板电容器。第三柔性支撑层封装第二导电层和第二支撑层。将传感器浸泡在热水中会从牺牲层释放传感器。

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