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    • 15. 发明公开
    • Gassensor
    • EP2006668A1
    • 2008-12-24
    • EP07012222.1
    • 2007-06-22
    • Micronas GmbH
    • Wilbertz, ChristophFrerichs, Heinz-Peter
    • G01N27/414G01N27/00
    • G01N27/4143
    • Ein Gassensor (1) hat mindestens eine gassensitive Schicht (7), die wenigstens einen Oberflächenbereich (9) aufweist, in dem die Austrittsarbeit von der Konzentration eines mit dem Oberftachenbereich (9) in Kontakt bringbaren Zielgases abhängig ist. Über einen Luffspalt (8) ist mindestens ein elektrischer Potentialsensor kapazitiv an den Oberflächenbereich (9) gekoppelt. Der Oberflächenbereich (9) der gassensitiven Schicht (7) ist von einer für das Zielgas inerten, elektrisch isolierenden Beschichtung (18) überdeckt, die haftend mit der gassensitiven Schicht (7) verbundenen ist. Die Beschichtung (18) ist derart ausgestaltet, dass sie für das Zielgas durchlässlg ist und dass dass sie bei einem Kontakt des Zielgases mit dem Oberflächenbereich der gassensitiven Schicht eine Veränderung des Bindungszustands von an den Oberflächenbereich gebundenen, sich vom Zielgas unterscheidenden Atomen und/oder Molekülen, verhindert oder zumindest erschwert. ( Fig. 1 )
    • 气体传感器(1)具有气体敏感层(7),其包括表面积(9),其中目标气体的浓度,特别是氢气的电子亲和力与表面积接触。 气体敏感层的表面积被电绝缘涂层(18)覆盖,特别是用于惰性目标气体的硅烷。 气敏层由铂或钯制成。 硅原子与氯结合成电负性气体原子。