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    • 2. 发明公开
    • ABSTANDSMESSVORRICHTUNG
    • EP3742128A1
    • 2020-11-25
    • EP20000237.6
    • 2016-04-29
    • TDK-Micronas GmbH
    • Franke, Jörg
    • G01D5/14
    • Abstandsmessvorrichtung mit zwei Magnetfeldsensoren und einem Dauermagneten und einem Halbleiterkörper, wobei eine monolithisch integrierte die Auswerteschaltung aufweist und mittels der Magnetfeldsensoren ein Differenzsignal ermittelbar ist und ein Ausgangssignal als Ergebnis der Ermittlung bereitstellt, wobei der Wert des auf der Aufhebung eines magnetflussfreien Bereichs beruhenden Ausgangssignals von einem Abstand eines ferromagnetischen Gebers zu den beiden Magnetfeldsensoren abhängt und In einer ersten Ausführungsform der Halbleiterkörper zwischen u-förmig ausgebildeten Polschenkeln des in X-Richtung magnetisierten Magneten angeordnet ist, wobei der erste Magnetfeldsensor in einem zwischen zwei einander gegenüberliegenden Schenkeln des ersten Pols liegendem Gebiet angeordnet Ist und der zweite Magnetfeldsensor in einem zwischen zwei einander gegenüberliegenden Schenkeln des zweiten Pols liegendem Gebiet angeordnet ist, und zwischen den Polschenkeln eine Bodenfläche ausgebildet ist und der Halbleiterkörper in Z-Richtung oberhalb des Bodenbereichs angeordnet ist.