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    • 2. 发明公开
    • Dispositif manipulateur, à structure parallèle, pour déplacer et orienter un objet dans un espace de travail cylindrique
    • 具有平行结构处理装置,用于移动和定向在圆柱形工作腔的对象。
    • EP0668130A1
    • 1995-08-23
    • EP95400341.4
    • 1995-02-17
    • Office National d'Etudes et de Recherches Aérospatiales (O.N.E.R.A.)
    • Reboulet, Claude
    • B25J17/02B25J9/10
    • B25J17/0266B25J9/0042B25J9/107
    • Dispositif manipulateur à structure parallèle pour déplacer un objet dans un espace de travail cylindrique d'axe (X) prédéterminé et comportant au moins trois mécanismes d'entraînement (A, B, C) interposés entre une embase (2) et un élément mobile (1). Deux mécanismes (A, B) comprennent chacun : un moyen moteur (V) mobile sur une trajectoire circulaire (L) dans un plan transversal perpendiculaire à l'axe (X) ; une bielle (7) entre le moyen moteur et l'élément (1), raccordée à ceux-ci par des moyens (8) d'articulation à rotation bidirectionnelle ; et un organe de transmission d'attitude (9) associé à la bielle pour maintenir l'élément (1) parallèle au plan transversal ; les mécanismes (A, B) coagissant sur l'élément (1) pour définir sa position angulaire autour de l'axe (X) et sa distance (D) à un axe fictif (W) passant par les extrémités des bielles raccordées aux moyens moteurs. Un troisième mécanisme (C) est librement rotatif sur l'embase autour d'un axe parallèle à l'axe (X) et en dehors du plan transversal et est supporté par l'embase sur un axe de pivotement (H) perpendiculaire à l'axe (X) en étant fonctionnellement actif pour régler la distance de l'élément (1) à l'axe (H) et pour maintenir l'élément (1) orienté vers l'axe (X).
    • 每个臂(A,B)被安装在一枢转部(8)。 枢转部分被附接至马达驱动(V),所有这些是在基板(2)坐落在圆形槽(L)。 两个圆槽是镜像。 马达驱动围绕圆形槽的臂。 操纵器(1)安装在具有三维枢转机构的臂的另一端上。 有圆形的支柱(2a)由所述底板的中心升高并支撑第三臂(C)稳定伊辛在第三平面中的操纵器。 因此,机械手可以在任何地方在圆柱形部分被放置,使信息检索。
    • 5. 发明公开
    • Installation de test, en particulier pour plaquettes de matériau semi-conducteur
    • Testanlage,speziellfürScheiben aus Halbleitermaterial。
    • EP0477453A1
    • 1992-04-01
    • EP90402627.5
    • 1990-09-24
    • Office National d'Etudes et de Recherches Aérospatiales (O.N.E.R.A.)
    • Roizes, AlainDavid, Jean-PierreChourreau, Alain
    • G01R31/28
    • G01R31/2831G01R31/2862G01R31/2875
    • Une enceinte sous vide est définie par une plate-forme (10) surmontée d'une cloche (20) à fenêtre optique (21). Intérieurement, l'enceinte loge une table (30) dont le plateau inférieur reçoit un mécanisme de positionnement quatre axes (40), supportant un insert isolant (60) surmonté d'une tête à régulation de température portant une plaquette semi-conductrice (W). Le plateau supérieur (32) de la table reçoit des dispositifs porte-aiguilles susceptibles de venir en contact de manière ajustable sur des plots de contact de la plaquette (W) à des fins de test, tandis qu'un solénoïde plat (90), muni d'un écran isolant thermique, permet l'application d'un champ magnétique à la plaquette. Cet ensemble permet des mesures extrêmement sophistiquées sous excitations électrique, magnétique aussi bien qu'optique, à des températures allant de celle de l'azote liquide jusqu'à quelques centaines de degrés Celsius.
    • 包含真空的外壳通过由具有光学窗口(21)的钟罩(20)所覆盖的平台(10)限定。 在内部,外壳包括一个桌子(30),其下部托盘接收具有四个轴线(40)的定位机构,支撑由轴承半导体晶片(W)的温度调节头所覆盖的绝缘插入件(60)。 桌子的上托盘(32)接收能够以可调节的方式与晶片(W)的接触垫进行接触的针脚承载装置,用于测试目的,而扁平螺线管(90)装配有隔热 屏幕,允许向晶片施加磁场。 该组件允许在从液氮到几百摄氏度的温度范围内进行电气,磁性和光学激发的非常复杂的测量。