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1. 发明授权

CN105929436B 脉冲处理有权
公开(公告)号：CN105929436B
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201610106051.1
申请日：2016-02-26
申请人： FEI 公司
发明人： N.康塔拉斯 , B.J.詹斯森 , C.S.库伊姆 , D.G.T.安图内斯
IPC分类号： G01T1/17
摘要：本发明涉及脉冲处理。本发明涉及用于分析包括随机间隔事件（301、302）的模拟信号（图3、400）的方法，所述事件具有事件高度，所述方法包括：·将信号转换成样本的序列S(t)，其中t是采样的时刻，由此形成经采样的离散时间信号，·检测事件的存在，事件在t=T处被检测，·使用事件之前的数个样本和S(T)之后的数个样本来估计事件高度，所述方法还包括：·针对t=(T‑Δ1)到t=(T+Δ2)使用模型（412、图5）来估计噪声贡献N(t)，噪声贡献从t≤(T‑Δ1)情况下的样本S(t)和/或t≥(T+Δ2)情况下的样本S(t)导出，其中Δ1和Δ2是预确定或预设定的时间段，Δ1具有使得事件对在(T‑Δ1)之前所取得的样本具有可忽略贡献的值，并且Δ2具有使得事件对在(T+Δ2)之后所取得的样本具有可忽略贡献的值，·通过从(T‑Δ1)到(T+Δ2)对样本的序列进行积分再减去针对所述样本的噪声贡献来估计事件高度E，。在本发明的重要方面中，经采样的信号经受导致所述事件在时间上被压缩的稀疏化操作。该方法对于在SEM中使用的诸如硅漂移检测器的X射线检测器尤其有用。通过估计对信号的噪声贡献来以改进的精度估计阶跃高度。本发明还描述了被用作模型的若干方法。

2. 发明公开

CN105929436A 脉冲处理有权
公开(公告)号：CN105929436A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201610106051.1
申请日：2016-02-26
申请人： FEI公司
发明人： N.康塔拉斯 , B.J.詹斯森 , C.S.库伊姆 , D.G.T.安图内斯
IPC分类号： G01T1/17
摘要：本发明涉及脉冲处理。本发明涉及用于分析包括随机间隔事件（301、302）的模拟信号（图3、400）的方法，所述事件具有事件高度，所述方法包括：·将信号转换成样本的序列S(t)，其中t是采样的时刻，由此形成经采样的离散时间信号，·检测事件的存在，事件在t=T处被检测，·使用事件之前的数个样本和S(T)之后的数个样本来估计事件高度，所述方法还包括：·针对t=(T‑Δ1)到t=(T+Δ2)使用模型（412、图5）来估计噪声贡献N(t)，噪声贡献从t≤(T‑Δ1)情况下的样本S(t)和/或t≥(T+Δ2)情况下的样本S(t)导出，其中Δ1和Δ2是预确定或预设定的时间段，Δ1具有使得事件对在(T‑Δ1)之前所取得的样本具有可忽略贡献的值，并且Δ2具有使得事件对在(T+Δ2)之后所取得的样本具有可忽略贡献的值，·通过从(T‑Δ1)到(T+Δ2)对样本的序列进行积分再减去针对所述样本的噪声贡献来估计事件高度E，。在本发明的重要方面中，经采样的信号经受导致所述事件在时间上被压缩的稀疏化操作。该方法对于在SEM中使用的诸如硅漂移检测器的X射线检测器尤其有用。通过估计对信号的噪声贡献来以改进的精度估计阶跃高度。本发明还描述了被用作模型的若干方法。

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