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1. 发明公开

CN105929436A 脉冲处理有权
公开(公告)号：CN105929436A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201610106051.1
申请日：2016-02-26
申请人： FEI公司
发明人： N.康塔拉斯 , B.J.詹斯森 , C.S.库伊姆 , D.G.T.安图内斯
IPC分类号： G01T1/17
摘要：本发明涉及脉冲处理。本发明涉及用于分析包括随机间隔事件（301、302）的模拟信号（图3、400）的方法，所述事件具有事件高度，所述方法包括：·将信号转换成样本的序列S(t)，其中t是采样的时刻，由此形成经采样的离散时间信号，·检测事件的存在，事件在t=T处被检测，·使用事件之前的数个样本和S(T)之后的数个样本来估计事件高度，所述方法还包括：·针对t=(T‑Δ1)到t=(T+Δ2)使用模型（412、图5）来估计噪声贡献N(t)，噪声贡献从t≤(T‑Δ1)情况下的样本S(t)和/或t≥(T+Δ2)情况下的样本S(t)导出，其中Δ1和Δ2是预确定或预设定的时间段，Δ1具有使得事件对在(T‑Δ1)之前所取得的样本具有可忽略贡献的值，并且Δ2具有使得事件对在(T+Δ2)之后所取得的样本具有可忽略贡献的值，·通过从(T‑Δ1)到(T+Δ2)对样本的序列进行积分再减去针对所述样本的噪声贡献来估计事件高度E，。在本发明的重要方面中，经采样的信号经受导致所述事件在时间上被压缩的稀疏化操作。该方法对于在SEM中使用的诸如硅漂移检测器的X射线检测器尤其有用。通过估计对信号的噪声贡献来以改进的精度估计阶跃高度。本发明还描述了被用作模型的若干方法。

2. 发明公开

CN104733271A 调查带电粒子射束的波阵面的方法有权
公开(公告)号：CN104733271A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201410785676.6
申请日：2014-12-18
申请人： FEI公司
发明人： B.J.詹斯森 , I.拉兹 , G.范杜恩恩 , U.鲁伊肯 , R.D.萨瓦格 , S.H.L.范登布姆
IPC分类号： H01J37/244
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/265 , H01J37/295 , H01J2237/12 , H01J2237/14 , H01J2237/226 , H01J2237/24507 , H01J2237/2614 , H01J2237/2802 , H01J2237/2806
摘要：本发明公开了调查带电粒子射束的波阵面的方法。调查从源通过发光器被引导以便穿过样本平面并且降落到检测器上的带电粒子射束的波阵面的方法，检测器的输出与数学重建技术结合使用以便在沿着到检测器的波阵面路径的预先定义的位置处针对波阵面计算相位信息和振幅信息中的至少一个，在该方法中：-使所述射束穿过设置在所述样本平面和所述检测器之间的粒子光学透镜系统；-在从所述源到所述检测器的路径中的所选择位置处，调制器用于局部地产生波阵面的给定调制；-在一系列测量阶段中，采用不同的此类调制，并且在所述数学重建中共同地使用相关联的检测器输出。

3. 发明授权

CN105929436B 脉冲处理有权
公开(公告)号：CN105929436B
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201610106051.1
申请日：2016-02-26
申请人： FEI 公司
发明人： N.康塔拉斯 , B.J.詹斯森 , C.S.库伊姆 , D.G.T.安图内斯
IPC分类号： G01T1/17
摘要：本发明涉及脉冲处理。本发明涉及用于分析包括随机间隔事件（301、302）的模拟信号（图3、400）的方法，所述事件具有事件高度，所述方法包括：·将信号转换成样本的序列S(t)，其中t是采样的时刻，由此形成经采样的离散时间信号，·检测事件的存在，事件在t=T处被检测，·使用事件之前的数个样本和S(T)之后的数个样本来估计事件高度，所述方法还包括：·针对t=(T‑Δ1)到t=(T+Δ2)使用模型（412、图5）来估计噪声贡献N(t)，噪声贡献从t≤(T‑Δ1)情况下的样本S(t)和/或t≥(T+Δ2)情况下的样本S(t)导出，其中Δ1和Δ2是预确定或预设定的时间段，Δ1具有使得事件对在(T‑Δ1)之前所取得的样本具有可忽略贡献的值，并且Δ2具有使得事件对在(T+Δ2)之后所取得的样本具有可忽略贡献的值，·通过从(T‑Δ1)到(T+Δ2)对样本的序列进行积分再减去针对所述样本的噪声贡献来估计事件高度E，。在本发明的重要方面中，经采样的信号经受导致所述事件在时间上被压缩的稀疏化操作。该方法对于在SEM中使用的诸如硅漂移检测器的X射线检测器尤其有用。通过估计对信号的噪声贡献来以改进的精度估计阶跃高度。本发明还描述了被用作模型的若干方法。

4. 发明公开

CN108878239A8 带电粒子显微镜中的图像处理有权
公开(公告)号：CN108878239A8
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201810432087.8
申请日：2018-05-08
申请人： FEI 公司
发明人： B.J.詹斯森 , A.范德海德 , H.罗伊文 , S.托马斯森
IPC分类号： H01J37/26
摘要：一种使用带电粒子显微镜的方法，所述带电粒子显微镜包括：源，用于产生带电粒子的射束；样品保持器，用于保持样品；光照器，用于利用所述带电粒子辐照所述样品；检测器，用于检测响应于所述辐照而从样品放射的辐射；控制器，用于控制显微镜的操作的至少一些方面，所述方法包括以下步骤：使用所述检测器来采集样品的给定部分的相继的一系列分量图像{I1,…,In,…,IN}；组合所述分量图像以便聚集复合图像，进一步包括在所述组合步骤之前执行的以下步骤：接连地量化每一个分量图像，并且将它存储在存储器中；针对每一个经量化的分量图像记录每像素的量化误差，以及针对经量化的分量图像{I1,…,In}保存每像素的累积量化误差的运转记录Tn；当针对给定像素量化下一分量图像In+1时，选择将趋于避免相对于Tn而进一步增加Tn+1的量化极性，使得：如果Tn为正，那么Tn+1将更负；如果Tn为负，那么Tn+1将更正；如果Tn为零，那么允许Tn+1为正、负或零。

5. 发明公开

CN108878239A 带电粒子显微镜中的图像处理有权
公开(公告)号：CN108878239A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810432087.8
申请日：2018-05-08
申请人： FEI 公司
发明人： B.J.詹斯森 , A.范德海德 , H.罗伊文 , S.托马斯森
IPC分类号： H01J37/26
摘要：一种使用带电粒子显微镜的方法，所述带电粒子显微镜包括：源，用于产生带电粒子的射束；样品保持器，用于保持样品；光照器，用于利用所述带电粒子辐照所述样品；检测器，用于检测响应于所述辐照而从样品放射的辐射；控制器，用于控制显微镜的操作的至少一些方面，所述方法包括以下步骤：使用所述检测器来采集样品的给定部分的相继的一系列分量图像{I1,…,In,…,IN}；组合所述分量图像以便聚集复合图像，进一步包括在所述组合步骤之前执行的以下步骤：接连地量化每一个分量图像，并且将它存储在存储器中；针对每一个经量化的分量图像记录每像素的量化误差，以及针对经量化的分量图像{I1,…,In}保存每像素的累积量化误差的运转记录Tn；当针对给定像素量化下一分量图像In+1时，选择将趋于避免相对于Tn而进一步增加Tn+1的量化极性，使得：如果Tn为正，那么Tn+1将更负；如果Tn为负，那么Tn+1将更正；如果Tn为零，那么允许Tn+1为正、负或零。

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