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    • 3. 发明申请
    • VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON MIKROSTRUKTUREN
    • 装置和方法中微型结构的生产
    • WO2005108004A1
    • 2005-11-17
    • PCT/EP2005/003860
    • 2005-04-13
    • SCHOTT AGOSTENDARP, Heinrich
    • OSTENDARP, Heinrich
    • B23Q1/58
    • B23Q5/027B23Q1/34B23Q1/36G05B2219/41344G05B2219/49382Y10T82/10Y10T82/147Y10T82/25Y10T82/2502
    • Es werden eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Erzeugung von Mikrostrukturen angegeben, mit einer um ihre Spindelachse ro­tierend antreibbaren Spindel, an der eine Aufnahme zum Einspan­nen eines Werkstückes vorgesehen ist, mit einem Aktor (30), der einen schnellen Antrieb (36), insbesondere einen Piezoantrieb, zur Erzeugung einer schnellen Bewegung eines Werkzeugs (32) in einer zur Werkstückoberfläche im Wesentlichen senkrechten Rich­tung aufweist, wobei der Aktor (30) mittels eines weiteren Antriebes (24) zur Erzeugung eines linearen Vorschubes in einer ersten Richtung entlang einer zu bearbeitenden Werkstückober­fläche positionierbar, ist, wobei der schnelle Antrieb (36) mit dem Werkzeug (32) über eine Führungseinrichtung (38) gekoppelt ist, die eine Zustellung des Werkzeugs (32) in Axialrichtung des schnellen Antriebs (36) entgegen einer Rückstellkraft er­laubt und in einer Ebene senkrecht dazu eine hohe Steifigkeit aufweist. Die angewandte Steuerungstechnik erlaubt unter Aus­nutzung der dynamischen Systemeigenschaften eine präzise und reproduzierbare Herstellung von Mikrostrukturen .
    • 本发明提供一种装置和用于制作微结构的一个绕其主轴轴线旋转驱动的主轴在其上提供用于夹持工件的容器的方法,其具有具有快速驱动器(36)的致动器(30),特别是 为垂直于大致的方向在工件表面上产生在一个方向上的工具(32)的快速移动的压电驱动器,所述致动器(30)通过另外的驱动器(24),用于沿一工件产生在第一方向的线性进料的手段被加工表面定位 是,其中,所述快速驱动器(36)经由导向装置(38)的工具(32)被耦合,这允许克服恢复力和在垂直的平面中在快速驱动器(36)的轴向方向上的工具(32)的输送 这种具有高刚性。 所施加的控制技术允许以微结构的精确和可重复的制造的动态系统特性的优点。