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1. 发明申请

US20150148935A1 SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, DATA PROCESSING METHOD, AND STORAGE MEDIUM 审中-公开
标题翻译：基板处理系统，基板处理装置，数据处理方法和存储介质
公开(公告)号：US20150148935A1
公开(公告)日：2015-05-28
申请号：US14408164
申请日：2013-06-21
申请人： Hitachi Kokusai Electric Inc.
发明人： Toshiro Koshimaki
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： G05B19/418 , G05B19/4183 , G05B2219/2602 , G05B2219/31259 , G05B2219/45031 , Y02P90/10 , Y02P90/18
摘要： A substrate processing system includes a substrate processing apparatus for generating apparatus data on substrate processing and a management apparatus connected to at least one substrate processing apparatus via a network for receiving and storing the apparatus data periodically reported from the substrate processing apparatus. The substrate processing apparatus includes a storage unit for storing the apparatus data a report cycle or the number of reports of the apparatus data to the management apparatus, and a degree of importance of the apparatus data in association with a data type of the apparatus data, and a control unit for, when changing a report cycle of the apparatus data, determining a data type of the report cycle of which is to be changed based on the report cycle or the number of reports and the degree of importance per data type stored in the storage unit.
摘要翻译：基板处理系统包括用于生成基板处理装置数据的基板处理装置和经由网络连接到至少一个基板处理装置的管理装置，用于接收和存储从基板处理装置周期性地报告的装置数据。基板处理装置包括：存储单元，用于将装置数据的报告周期或装置数据的报告数量存储到管理装置，以及与装置数据的数据类型相关联的装置数据的重要程度，以及控制单元，用于当改变所述装置数据的报告周期时，基于所述报告周期或报告数量以及存储在所述报告周期中的每个数据类型的重要度确定要更改其报告周期的数据类型存储单元。

2. 发明申请

WO2015074795A2 VEREINFACHTER AUSTAUSCH VON FELDGERÄTEN EINER PROZESSEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：的装置现场设备过程简化交换
公开(公告)号：WO2015074795A2
公开(公告)日：2015-05-28
申请号：PCT/EP2014/071140
申请日：2014-10-02
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： BURGER-SCHEIDLIN, Christoph , BARISIC, Daniel , GRUBER, Tobias , PFEFFERSEDER, Anton , ALJAZZAR, Husain , STEGEMANN, Dirk
CPC分类号： G05B19/4185 , G05B19/0426 , G05B2219/23406 , G05B2219/25061 , G05B2219/25074 , G05B2219/25101 , G05B2219/31121 , G05B2219/31197 , G05B2219/31259 , H04W4/80 , Y02P90/18
摘要： Ein Verfahren zum Betreiben einer Prozesseinrichtung (2) mit einer Steuereinheit (4) und zumindest einem mit der Steuereinheit (4) zum Datenaustausch mittels einer Datenaustauschverbindung (6) verbundenem Feldgerät (8, 10, 12) wird vorgeschlagen, bei dem ein auszutauschendes Feldgerät (10) durch ein anderes, einzusetzendes Feldgerät (12) ersetzt wird, mit den Schritten: Erzeugen eines Austauschsignals (AS) mittels eines Austauschsignalgebers (14), und Übertragen des Austauschsignals (AS) zu der Steuereinheit (4). Eine entsprechende Prozesseinrichtung sowie eine Steuereinheit, ein Feldgerät und ein Austauschsignalgeber sowie ein Computerprogramm sind ebenfalls Gegenstand der Erfindung.
摘要翻译：提出一种操作处理装置（2）的控制单元的方法，（4）和至少一个与所述控制单元（4），用于通过数据交换连接来交换数据（6）包扎现场设备（8，10，12），其中（可更换的现场装置（4）产生由交流信号发射器（14）的装置的替换信号（AS），和替换信号（AS）发送到所述控制单元：10）由另一个替换中，待分配的现场设备（12），其包括以下步骤。了相应的处理装置和一个控制单元，现场装置和替换信号发射器和一个计算机程序也是本发明的主题。

3. 发明申请

WO2015074795A3 SIMPLIFIED FIELD DEVICE EXCHANGE IN A PROCESSING DEVICE 审中-公开
标题翻译：的装置现场设备过程简化交换
公开(公告)号：WO2015074795A3
公开(公告)日：2016-01-28
申请号：PCT/EP2014071140
申请日：2014-10-02
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： BURGER-SCHEIDLIN CHRISTOPH , BARISIC DANIEL , GRUBER TOBIAS , PFEFFERSEDER ANTON , ALJAZZAR HUSAIN , STEGEMANN DIRK
IPC分类号： G05B19/418 , G05B19/042 , G08B25/00 , H04L12/24
CPC分类号： G05B19/4185 , G05B19/0426 , G05B2219/23406 , G05B2219/25061 , G05B2219/25074 , G05B2219/25101 , G05B2219/31121 , G05B2219/31197 , G05B2219/31259 , H04W4/008 , Y02P90/18
摘要： The invention relates to a method for operating a processing device (2) that comprises a control unit (4) and at least one field device (8, 10, 12) connected to said control unit (4) for the purpose of exchanging data via a data exchange connection (6), in which a field device (10) to be exchanged is replaced by another field device (12) to be inserted, and which comprises the steps of: generating an exchange signal (AS) using an exchange signal generator (14), and transmitting said exchange signal (AS) to the control unit (4). The invention also relates to a corresponding processing device and a control unit, field device, and exchange signal generator, as well as a computer program.
摘要翻译：提出一种操作处理装置（2）的控制单元的方法，（4）和至少一个与所述控制单元（4），用于通过数据交换连接来交换数据（6）包扎现场设备（8，10，12），其中（可更换的现场装置（4）产生由交流信号发射器（14）的装置的替换信号（AS），和替换信号（AS）发送到所述控制单元：10）由另一个替换中，待分配的现场设备（12），其包括以下步骤。了相应的处理装置和一个控制单元，现场装置和替换信号发射器和一个计算机程序也是本发明的主题。

4. 发明申请

WO2014007081A1 基板処理システム、基板処理装置及びデータ処理方法並びに記憶媒体审中-公开
标题翻译：基板处理系统，基板处理装置，数据处理方法和存储介质
公开(公告)号：WO2014007081A1
公开(公告)日：2014-01-09
申请号：PCT/JP2013/067098
申请日：2013-06-21
申请人：株式会社日立国際電気
发明人：越巻　寿朗
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： G05B19/418 , G05B19/4183 , G05B2219/2602 , G05B2219/31259 , G05B2219/45031 , Y02P90/10 , Y02P90/18
摘要：基板処理に関する装置データを生成する基板処理装置と、少なくとも１台の基板処理装置とネットワークを介して接続され、基板処理装置から周期的に報告される装置データを受信して記憶する管理装置とを備える基板処理システムにおいて、基板処理装置は、当該基板処理装置内部で生成された装置データと、管理装置への装置データの報告周期又は報告回数と、装置データの重要度とを、装置データのデータ種別に対応付けて記憶する記憶部と、装置データの報告周期を変更する際に、記憶部に記憶されているデータ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定する制御部を備える基板処理システムが提供される。
摘要翻译：本发明提供了一种基板处理系统，其具有生成与基板处理有关的装置数据的基板处理装置，以及经由网络与至少一个基板处理装置连接的管理装置，并接收并存储从基板循环报告的装置数据所述基板处理装置设置有存储单元，所述存储单元将在所述基板处理装置中生成的装置数据，所述报告周期或所述装置数据的报告数量关联并存储到所述管理装置，以及所述处理装置的重要性程度具有设备数据的数据类型的设备数据，以及控制单元，当设备数据的报告周期改变时，根据该报告确定报告周期将被改变的数据的类型循环或报告的数量以及存储在存储单元中的每种数据类型的重要程度。

5. 发明公开

EP3074827A2 VEREINFACHTER AUSTAUSCH VON FELDGERÄTEN EINER PROZESSEINRICHTUNG 有权转让
标题翻译：的装置现场设备过程简化交换
公开(公告)号：EP3074827A2
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：EP14781849.6
申请日：2014-10-02
申请人： Robert Bosch GmbH
发明人： BURGER-SCHEIDLIN, Christoph , BARISIC, Daniel , GRUBER, Tobias , PFEFFERSEDER, Anton , ALJAZZAR, Husain , STEGEMANN, Dirk
IPC分类号： G05B19/418 , G05B19/042 , G08B25/00 , H04L12/24
CPC分类号： G05B19/4185 , G05B19/0426 , G05B2219/23406 , G05B2219/25061 , G05B2219/25074 , G05B2219/25101 , G05B2219/31121 , G05B2219/31197 , G05B2219/31259 , H04W4/80 , Y02P90/18
摘要： The invention relates to a method for operating a processing device (2) that comprises a control unit (4) and at least one field device (8, 10, 12) connected to said control unit (4) for the purpose of exchanging data via a data exchange connection (6), in which a field device (10) to be exchanged is replaced by another field device (12) to be inserted, and which comprises the steps of: generating an exchange signal (AS) using an exchange signal generator (14), and transmitting said exchange signal (AS) to the control unit (4). The invention also relates to a corresponding processing device and a control unit, field device, and exchange signal generator, as well as a computer program.

6. 发明专利

JP6220783B2 基板処理システム、基板処理装置及びデータ処理方法有权
公开(公告)号：JP6220783B2
公开(公告)日：2017-10-25
申请号：JP2014523672
申请日：2013-06-21
申请人：株式会社日立国際電気
发明人：越巻寿朗
IPC分类号： H01L21/22 , H01L21/31 , H01L21/02
CPC分类号： G05B19/418 , G05B19/4183 , G05B2219/2602 , G05B2219/31259 , G05B2219/45031 , Y02P90/10 , Y02P90/18

7. 发明专利

JPWO2014007081A1 基板処理システム、基板処理装置及びデータ処理方法並びに記憶媒体有权
标题翻译：一种基板处理系统，该基板处理装置和数据处理方法和存储介质
公开(公告)号：JPWO2014007081A1
公开(公告)日：2016-06-02
申请号：JP2014523672
申请日：2013-06-21
申请人：株式会社日立国際電気
发明人：寿朗越巻 , 寿朗越巻
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/22 , H01L21/31
CPC分类号： G05B19/418 , G05B19/4183 , G05B2219/2602 , G05B2219/31259 , G05B2219/45031 , Y02P90/10 , Y02P90/18
摘要：基板処理に関する装置データを生成する基板処理装置と、少なくとも1台の基板処理装置とネットワークを介して接続され、基板処理装置から周期的に報告される装置データを受信して記憶する管理装置とを備える基板処理システムにおいて、基板処理装置は、当該基板処理装置内部で生成された装置データと、管理装置への装置データの報告周期又は報告回数と、装置データの重要度とを、装置データのデータ種別に対応付けて記憶する記憶部と、装置データの報告周期を変更する際に、記憶部に記憶されているデータ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定する制御部を備える基板処理システムが提供される。
摘要翻译：用于生成与该基板处理装置的数据的基板处理装置中，通过至少一个基板处理装置和网络，管理设备和用于接收和存储被周期性地从基板处理装置报告的设备数据连接在具有基板处理装置的基板处理系统，在内部产生的基板处理装置，报告装置的数据管理装置的报告期间或数量，以及一定程度的装置的数据，所述装置数据的数据的重要的装置数据改变存储单元，用于相关联地存储与所述类型，改变设备数据的报告期间的情况下，报告期间或报告数存储在存储单元和重要性的每个数据类型，报告期间的基础上的基板处理系统，其包括用于确定设置有目标的数据类型的控制单元。

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