专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW200703455A 實施成形為線光束之雷射與沉積於基材上之薄膜間之交互作用的系統與方法(二) SYSTEMS AND METHODS FOR IMPLEMENTING AN INTERACTION BETWEEN A LASER SHAPED AS A LINE BEAM AND A FILM DEPOSITED ON A SUBSTRATE 审中-公开
简体标题：实施成形为线光束之激光与沉积于基材上之薄膜间之交互作用的系统与方法(二) SYSTEMS AND METHODS FOR IMPLEMENTING AN INTERACTION BETWEEN A LASER SHAPED AS A LINE BEAM AND A FILM DEPOSITED ON A SUBSTRATE
公开(公告)号：TW200703455A
公开(公告)日：2007-01-16
申请号：TW095116212
申请日：2006-05-08
申请人：希瑪股份有限公司 CYMER, INC. , 卡爾蔡司工業製造科技公司 CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH
发明人：達斯帕拉旭P. DAS, PALASH P. , 赫夫曼湯瑪斯 HOFMANN, THOMAS , 山德史壯李察L. SANDSTROM, RICHARD L. , 布奇鄂圖 BOUCKY, OTTO , 史圖帕恩斯特 STUMPP, ERNST , 馬茲寇維斯伯索德 MATZKOVITS, BERTHOLD , 赫爾麥可 HOELL, MICHAEL , 華爾瑟喬治 WALTHER, JOERG , 伯瑞納寇特 BRENNER, KURT , 格魯帕甘特 GRUPP, GUENTER
IPC分类号： H01L , G03F , H01S
CPC分类号： B23K26/03 , B23K26/0006 , B23K26/0066 , B23K26/032 , B23K26/04 , B23K26/043 , B23K26/0622 , B23K26/0665 , B23K26/0738 , B23K26/083 , B23K37/0408 , B23K37/047 , B23K2201/18 , B23K2201/38 , B23K2203/56 , C30B13/22 , C30B29/06 , G01B21/00 , G03F7/70383 , G03F7/70583 , H01L27/1296
摘要：揭露一用於聚焦一光束以與一沉積在一基材上之薄膜作一交互作用之系統及方法,其中該經聚焦光束係界定一短軸線及一長軸線。一態樣中,該系統可包括一偵測系統以分析一像平面上自該薄膜反射之光來決定該光束是否在短軸線中聚焦於薄膜處。另一態樣中,可提供一系統以定位一薄膜(具有一不完美、非平面性表面)以供與一經成形線光束之交互作用。
简体摘要：揭露一用于聚焦一光束以与一沉积在一基材上之薄膜作一交互作用之系统及方法,其中该经聚焦光束系界定一短轴线及一长轴线。一态样中,该系统可包括一侦测系统以分析一像平面上自该薄膜反射之光来决定该光束是否在短轴线中聚焦于薄膜处。另一态样中,可提供一系统以定位一薄膜(具有一不完美、非平面性表面)以供与一经成形线光束之交互作用。

2. 发明专利

TWI297509B 實施成形為線光束之雷射與沉積於基材上之薄膜間之交互作用的系統與方法(二) SYSTEMS AND METHODS FOR IMPLEMENTING AN INTERACTION BETWEEN A LASER SHAPED AS A LINE BEAM AND A FILM DEPOSITED ON A SUBSTRATE 有权
简体标题：实施成形为线光束之激光与沉积于基材上之薄膜间之交互作用的系统与方法(二) SYSTEMS AND METHODS FOR IMPLEMENTING AN INTERACTION BETWEEN A LASER SHAPED AS A LINE BEAM AND A FILM DEPOSITED ON A SUBSTRATE
公开(公告)号：TWI297509B
公开(公告)日：2008-06-01
申请号：TW095116212
申请日：2006-05-08
申请人：希瑪股份有限公司 CYMER, INC. , 卡爾蔡司工業製造科技公司 CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH
发明人：達斯帕拉旭P. DAS, PALASH P. , 赫夫曼湯瑪斯 HOFMANN, THOMAS , 山德史壯李察L. SANDSTROM, RICHARD L. , 布奇鄂圖 BOUCKY, OTTO , 史圖帕恩斯特 STUMPP, ERNST , 馬茲寇維斯伯索德 MATZKOVITS, BERTHOLD , 赫爾麥可 HOELL, MICHAEL , 華爾瑟喬治 WALTHER, JOERG , 伯瑞納寇特 BRENNER, KURT , 格魯帕甘特 GRUPP, GUENTER
IPC分类号： H01L , G03F , H01S
CPC分类号： B23K26/03 , B23K26/0006 , B23K26/0066 , B23K26/032 , B23K26/04 , B23K26/043 , B23K26/0622 , B23K26/0665 , B23K26/0738 , B23K26/083 , B23K37/0408 , B23K37/047 , B23K2201/18 , B23K2201/38 , B23K2203/56 , C30B13/22 , C30B29/06 , G01B21/00 , G03F7/70383 , G03F7/70583 , H01L27/1296
摘要：揭露一用於聚焦一光束以與一沉積在一基材上之薄膜作一交互
作用之系統及方法,其中該經聚焦光束係界定一短軸線及一長軸
線。一態樣中,該系統可包括一偵測系統以分析一像平面上自該薄
膜反射之光來決定該光束是否在短軸線中聚焦於薄膜處。另一態樣
中,可提供一系統以定位一薄膜(具有一不完美、非平面性表面)以
供與一經成形線光束之交互作用。
简体摘要：揭露一用于聚焦一光束以与一沉积在一基材上之薄膜作一交互作用之系统及方法,其中该经聚焦光束系界定一短轴线及一长轴线。一态样中,该系统可包括一侦测系统以分析一像平面上自该薄膜反射之光来决定该光束是否在短轴线中聚焦于薄膜处。另一态样中,可提供一系统以定位一薄膜(具有一不完美、非平面性表面)以供与一经成形线光束之交互作用。

3. 发明申请

WO2022268760A1 COMPUTERTOMOGRAPHIEANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINER COMPUTERTOMOGRAPHIEANORDNUNG 审中-公开
公开(公告)号：WO2022268760A1
公开(公告)日：2022-12-29
申请号：PCT/EP2022/066801
申请日：2022-06-21
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH
发明人： KRENKEL, Martin , HÖRR, Christian , KIMMIG, Wolfgang , BRÜNDL, Roman , STEINBEISSER, Sebastian
IPC分类号： A61B6/03 , A61B6/00 , G01N23/046 , A61B6/035 , A61B6/4452 , A61B6/547 , A61B6/587
摘要： Die Erfindung betrifft eine Computertomographieanordnung (1), umfassend eine Röntgenquelle (2), einen Röntgendetektor (3), eine erste Positioniereinrichtung (4) mit mindestens zwei Translationsachsen (4-1,4-2) und mindestens einer Rotationsachse (4-3,4-4), eine zweite Positioniereinrichtung (5) mit mindestens zwei Translationsachsen (5-1,5-2) und mindestens einer Rotationsachse (5-3,5-4), mindestens eine Posenerfassungseinrichtung (6), und eine Steuereinrichtung (7), wobei die Röntgenquelle (2) an der ersten Positioniereinrichtung (4) angeordnet ist, wobei der Röntgendetektor (3) an der zweiten Positioniereinrichtung (5) angeordnet ist, wobei die mindestens eine Posenerfassungseinrichtung (6) dazu eingerichtet ist, Quellposen (12) der Röntgenquelle (2) und Detektorposen (13) des Röntgendetektors (3) zu erfassen und/oder zu bestimmen, wobei die Steuereinrichtung (7) dazu eingerichtet ist, die Röntgenquelle (2) durch Ansteuern der ersten Positioniereinrichtung (4) entlang einer Quelltrajektorie (30) anzuordnen und den Röntgendetektor (3) durch Ansteuern der zweiten Positioniereinrichtung (5) entlang einer Detektortrajektorie (31) anzuordnen, und die jeweils zu jedem erfassten Durchstrahlungsbild (20) bestimmten Quellposen (12) und Detektorposen (13) beim Rekonstruieren eines Objektvolumens (40) aus den erfassten Durchstrahlungsbildern (20) zu berücksichtigen.

4. 发明申请

WO2019219201A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINES PRÜFPLANS, VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR PRÜFUNG EINES MESSOBJEKTS UND COMPUTERPROGRAMMPRODUKT 审中-公开
公开(公告)号：WO2019219201A1
公开(公告)日：2019-11-21
申请号：PCT/EP2018/063001
申请日：2018-05-17
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH
发明人： MAYR, Ana Carolina , RIEGER, Stephan , MAYER, Florian
IPC分类号： G01B21/04 , G05B19/401
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Prüfplans für die Prüfung eines Messobjekts (2), wobei ein das Messobjekt (2) repräsentierender Datensatz (DS) bereitgestellt wird, wobei datenbasiert eine Referenzstruktur (RS1, RS2, RS3, RS4) festgelegt wird, wobei der Referenzstruktur (RS1, RS2, RS3, RS4) mindestens ein referenzstrukturspezifisches Prüfmerkmal zugeordnet wird, wobei für den das Messobjekt (2) repräsentierenden Datensatz (DS) datenbasiert geprüft wird, ob zur Referenzstruktur (RS1, RS2, RS3, RS4) ähnliche oder gleiche Strukturen (S) vorhanden sind, wobei jeder ähnlichen oder gleichen Struktur (S) das referenzstrukturspezifische Prüfmerkmal als strukturspezifisches Prüfmerkmal zugeordnet wird, wobei der Prüfplan die derart bestimmten strukturspezifischen Prüfmerkmale umfasst, sowie ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Prüfung des Messobjekts und ein Computerprogramm.

5. 发明申请

WO2017046254A1 BETREIBEN EINES KONFOKALEN WEIßLICHTSENSORS AN EINEM KOORDINATENMESSGERÄT 审中-公开
标题翻译：一种操作共聚焦白色光传感器上的坐标测量装置
公开(公告)号：WO2017046254A1
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：PCT/EP2016/071843
申请日：2016-09-15
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH
发明人： KERN, Rudolf , BURGER, Jochen , BRENNER, Kurt
IPC分类号： G01B11/00 , G01B21/04 , G05B19/401
CPC分类号： G01S17/42 , G01B11/005 , G01B21/042 , G01B2210/50 , G01B2210/60 , G01S7/4816 , G01S7/534
摘要： Die Erfindung betrifft Verfahren zum Betreiben eines konfokalen Weißlichtsensors (215) an einem Koordinatenmessgerät (211), welches einen Sensorträger (110) zum Ankoppeln eines Koordinaten-Messsensors aufweist, der in einer geradlinigen Bewegungsrichtung relativ zu einer Basis des Koordinatenmessgeräts (211) beweglich ist, wobei a) der konfokale Weißlichtsensor (215) an den Sensorträger (110) angekoppelt wird, b) der konfokale Weißlichtsensor (215) in der geradlinigen Bewegungsrichtung auf einen Referenzkörper (231) ausgerichtet wird, wobei eine Position des Referenzkörpers (231) in Bezug auf die geradlinige Bewegungsrichtung bekannt ist oder ermittelt wird, c) der Sensorträger (110) mit dem daran angekoppelten konfokalen Weißlichtsensor (215) und der Referenzkörper (231) relativ zueinander in der geradlinigen Bewegungsrichtung bewegt werden und an verschiedenen Bewegungspositionen jeweils von dem konfokalen Weißlichtsensor (215) ein Messsignal eines Abstandes des konfokalen Weißlichtsensors (215) zu dem Referenzkörper (231) erzeugt wird und jeweils von einem Positionsmesssystem (206) des Koordinatenmessgeräts (211) die Bewegungsposition bezüglich der geradlinigen Bewegungsrichtung ermittelt wird, d) aus den erzeugten Messsignalen des Abstandes des konfokalen Weißlichtsensors (215) zu dem Referenzkörper (231) und aus den ermittelten Bewegungspositionen Informationen über einen Zusammenhang zwischen Messsignalen des konfokalen Weißlichtsensors (215) und einem tatsächlichen Abstand des Weißlichtsensors zu einem Messobjekt gewonnen werden, e) von dem an dem Sensorträger (110) angekoppelten konfokalen Weißlichtsensor (215) zumindest ein Messsignal eines Objekt-Abstandes zu einem von dem Koordinatenmessgerät (211) zu vermessenden Messobjekt (235) erzeugt wird, wobei das zu vermessende Messobjekt (235) nicht der Referenzkörper (231) ist, f) aus dem zumindest einen Messsignal des Objekt-Abstandes und unter Verwendung der gewonnenen Informationen über den Zusammenhang ein Messwert des Objekt- Abstandes erzeugt wird.
摘要翻译：本发明涉及一种用于操作在一个共焦白色光传感器（215）的坐标测量机（211）包括传感器载体（110），用于耦合到一个坐标测量传感器，其是在相对移动的直线方向上移动到坐标测量机的底座（211）其中a）耦合到所述共焦白色光传感器（215）到所述传感器载体（110），b）将共焦白色光传感器（215）中移动的直线方向被对准到基准体（231），其中所述基准体（231）相对于一个位置，以直线移动方向是已知的或确定，c）传感器载体（110）与耦合到其共焦白色光传感器（215）和所述基准体（231）相对于彼此在运动的直线方向和在不同的移动位置（每个共焦白色光传感器215的移动）共焦的距离的测量信号 S从共焦白色光传感器215的距离的所生成的测量信号而生成的白色光传感器（215），以基准体（231）和各坐标测量装置（211）的位置测量系统（206）的，所述移动位置是相对于运动（d）的直线方向来确定），以关于共焦白色光传感器（215）和白色光传感器的实际距离的测量信号之间的相关性的信息可以从来自耦合在所述基准体（231）和e）的所确定的移动的位置（传感器载体110）共焦白色光传感器上获得（到测量对象215）在被摄体距离中的至少一个测量信号输出到坐标测量机（211）要被测量时，产生所述测量物体（235）中的一个，其中，要测量的被测量物体（235）是不是基准体（231）中，f）从所述对象的至少一个测量信号距离，并使用所获得的信息的连接时，对象距离的测量值上被产生。

6. 发明申请

WO2016169589A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESTIMMEN VON DIMENSIONELLEN IST-EIGENSCHAFTEN EINES MESSOBJEKTS 审中-公开
标题翻译：方法和装置被测物体厘定DIMENSION ELLEN的功能
公开(公告)号：WO2016169589A1
公开(公告)日：2016-10-27
申请号：PCT/EP2015/058607
申请日：2015-04-21
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH
发明人： GEORGI, Bernd , WANNER, Josef , FRÖWIS, Roland , LETTENBAUER, Hubert
IPC分类号： G01B21/04 , G05B19/19
CPC分类号： G01B21/04
摘要： Zum Bestimmen von dimensionellen Ist-Eigenschaften eines Messobjekts (32), das eine Vielzahl von Geometrieelementen besitzt, wird ein Koordinatenmessgerät (12) mit einem Messkopf (16) bereitgestellt. Ferner werden Solldaten (34) bereitgestellt, die Soll-Eigenschaften für die Vielzahl von Geometrieelementen repräsentieren. Die Solleigenschaften beinhalten akzeptable Fertigungstoleranzen für die Geometrieelemente. Ein Messablauf (40), der Bewegungen des Messkopfes (16) relativ zu dem Messobjekt (32) und die Aufnahme von Messwerten an definierten Messkopfpositionen relativ zu dem Messobjekt (32) festlegt, wird computerunterstützt erstellt. Dabei werden Steuerbefehle zum Steuern des Messkopfes (16) in Abhängigkeit von Prüfmerkmalen zu den definierten Geometrieelementen festgelegt. Anhand von individuellen Messwerten an dem Messobjekt werden Zahlenwerte bestimmt, die dimensionelle Ist-Eigenschaften des Messobjekts entsprechend den Prüfmerkmalen repräsentieren. Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird zunächst ein erster Messablauf erstellt und vor dem Aufnehmen der individuellen Messwerte modifiziert, um einen modifizierten zweiten Messablauf mit zumindest teilweise modifizierten zweiten Steuerbefehlen zu erhalten. Die zweiten Steuerbefehle werden so gewählt, dass die Zahlenwerte jeweils eine definierte Messunsicherheit aufweisen, die um einen definierten Betrag kleiner ist als die akzeptablen Fertigungstoleranzen für die Geometrieelemente.
摘要翻译：为了确定测量对象（32）的三维实际特性具有多个几何元素的，坐标测量机（12）的测量头（16）被提供。进一步设定点数据（34）提供了表示针对所述多个几何元素的期望的特性。所期望的特性包括用于所述几何元素可接受的公差。限定测量序列（40），所述测量头的移动（16）相对于测量对象（32），并在限定的测量头的位置的测量值的相对于测量对象（32）的记录与计算机协助创建。在这种情况下，用于控制所述测量头（16）作为测试特征的功能的控制指令被设置为限定的几何形状的元件。测量物体上各个测量值的基础上被确定表示按照检验特性DUT的三维实际特性的数值。根据本发明的一个方面中，第一测量处理首先创建和之前接收的各个测量值，以获得具有至少部分地修改的第二控制命令的修改的第二测量程序修改。所述第二控制命令被选择为使得每一个都具有规定的不确定度，它是由比所述上可接受的制造公差的几何元素限定量较少的数值。

7. 发明申请

WO2016097142A1 VERFAHREN ZUR ÜBERWACHUNG EINES KOORDINATENMESSGERÄTS 审中-公开
标题翻译：监测方法的坐标METER
公开(公告)号：WO2016097142A1
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：PCT/EP2015/080217
申请日：2015-12-17
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH
发明人： RUCK, Otto , UHL, Peter
IPC分类号： F16P3/14
CPC分类号： G01B7/008 , F16P3/142 , G01B5/008 , G01B21/04 , G01B21/045
摘要： Verfahren zur Überwachung eines Koordinatenmessgeräts (1), wobei ein Koordinatenmessgerät (1) eingesetzt wird, welches eine Überwachungseinrichtung (4, 5, 9, 10, 1 1, 12, 13, 14, 15, 16) aufweist, die zur Überwachung zumindest eines Ortsbereichs des KMG eingerichtet ist, in welchen ein bewegliches Teil (6, 7) des KMG bewegbar ist, wobei das Verfahren aufweist: Überwachen (S1) des zumindest einen Ortsbereiches (01, 02) mit der Überwachungseinrichtung (4, 5, 9, 10, 1 1, 12, 13, 14, 15, 16), wobei der überwachte Ortsbereich (01, 02) in seiner Größe veränderlich ist, Feststellen (S2) der Position des beweglichen Teils (6, 7) des KMG (1) relativ zu einer dem Ortsbereich (01, 02) zugeordneten Fixposition (14, 15) und/oder feststellen der Bewegung des beweglichen Teils (6, 7) relativ zu der Fixposition (14', 15'), Einstellen (S3) oder Verändern der Größe des überwachten Ortsbereiches abhängig von der Position und/oder der Bewegung des beweglichen Teils (6, 7) relativ zu der Fixposition (14', 15').
摘要翻译：一种用于监测坐标测量装置（1），其中，坐标测量装置（1）被使用，其监视装置（4,5，9，10，11，12，13，14，15，16），其用于监测至少的一种方法 CMM的位置区域被设置在可动部（6,7）的CMM是可移动的，所述方法包括：监测所述至少一个局部区域的（S1）（01，02）到所述监控装置（4，5，9日，10 ，11，12，13，14，15，16），其特征在于，所监视的位置区域（01,02）处于其大小可变的，检测到（S2）的可移动部分（6的位置时，CMM的7）（1）相分配给所述位置区域（01，02）固定的位置（14，15）和/或通过确定可动部件的运动（6,7）相对于所述固定的位置（14”，15' ），调整（S3），或者改变尺寸根据可动部分的位置和/或运动所监视的位置区域的（6,7）相对于所述连接 x向位置（14”，15' ）。

8. 发明申请

WO2016015775A1 TASTKOPF FÜR EIN KOORDINATENMESSGERAET 审中-公开
标题翻译：探头坐标
公开(公告)号：WO2016015775A1
公开(公告)日：2016-02-04
申请号：PCT/EP2014/066556
申请日：2014-07-31
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH
发明人： RUCK, Otto , MUELLER, Peter
IPC分类号： G01B5/012 , G01B5/016
CPC分类号： G01B5/012 , G01B5/0014 , G01B11/007
摘要： Ein Tastkopf (24) für ein Koordinatenmessgerät (10) besitzt ein erstes Tastkopfteil (34), an dem eine erste Wechselschnittstelle (36) angeordnet ist, die zur Ankopplung des Tastkopfes an das Koordinatenmessgerät ausgebildet ist. Ein zweites Tastkopfteil (42) ist mit dem ersten Tastkopfteil (34) gekoppelt und relativ zu dem ersten Tastkopfteil (34) um eine erste Achse (50) drehbar. Ein drittes Tastkopfteil (44) ist mit dem zweiten Tastkopfteil (42) gekoppelt und relativ zu dem zweiten Tastkopfteil (42) um eine zweite Achse (62) verschwenkbar. Die erste und die zweite Achse liegen windschief zueinander. Ein erster Aktor (78) ist dazu ausgebildet, das dritte Tastkopfteil (74) um die zweite Achse (62) zu verschwenken. Dies erfolgt mithilfe einer Schubstange (74), die mit dem dritten Tastkopfteil (44) in einem seitlichen Abstand (D) zu der zweiten Achse (62) gekoppelt ist. Der erste Aktor (78) bewegt die Schubstange (74) in einer Längsrichtung (80), um das dritte Tastkopfteil (44) relativ zu dem zweiten Tastkopfteil (42) zu verschwenken.
摘要翻译：一种用于坐标测量机（10）的探针（24）具有在其上的第一交换接口（36）布置的第一探针部分（34），其被设计用于坐标测量机的探针头的耦合。第二探针部分（42）耦合到所述第一探针部分（34）和相对于第一探头部（34）绕第一轴线（50）可旋转地。第三探头部件（44）被耦合到第二探针部分（42）和相对于所述第二探针部分（42）围绕第二轴线（62）枢转地。所述第一和第二轴线偏斜于彼此。第一致动器（78）适于将所述第三探针部分（74）绕所述第二轴线（62）枢转。这是通过在横向距离（D）的第二轴线（62）被耦合连接到第三探头部（44）的推杆（74）来完成。第一致动器（78）在纵向方向（80）移动所述推杆（74）以枢转所述第三探针部分（44）相对于所述第二探针部分（42）。

9. 发明申请

WO2015180755A1 OPTISCHER SENSOR FÜR EIN KOORDINATENMESSGERÄT SOWIE BELEUCHTUNGSMODUL FÜR EINEN SOLCHEN OPTISCHEN SENSOR UND VERFAHREN ZUR VERMESSUNG VON INNENGEWINDEN ODER BOHRLÖCHERN EINES WERKSTÜCKS MIT DEM OPTISCHEN SENSOR BZW. BELEUCHTUNGSMODUL 审中-公开
标题翻译：光学传感器用于坐标测量装置和照明模块对用于测量内螺纹或孔内置光学传感器或工件此类光学传感器和方法照明模块
公开(公告)号：WO2015180755A1
公开(公告)日：2015-12-03
申请号：PCT/EP2014/060880
申请日：2014-05-27
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH
发明人： MONZ, Ludwin , ENGEL, Thomas
IPC分类号： G01B11/12 , G01B11/24 , G01N21/954
CPC分类号： G01B11/12 , G01B11/2425 , G01B11/2441 , G01N21/954
摘要： Die Erfindung betrifft einen Optischer Sensor (31a; 31b; 31c; 31d; 31e) bzw. ein Beleuchtungsmodul (41a; 41b; 41c; 41d; 41e) für ein Koordinatenmessgerät, wobei ein Umlenkelement (6a; 6f) auf dem Hinweg des Lichts für eine Umlenkung auf die Oberfläche (7a) eines zu vermessenden Werkstücks (7) sorgt, wobei durch das Umlenkelement (6a; 6f) der Fokusbereich des Sensors (31a; 31b; 31c; 31d; 31e) zumindest teilweise bogenförmig ausgebildet wird und wobei ein Detektor (10) des Sensors (31a; 31b; 31c; 31d; 31e) flächenmäßig zur Erfassung von Intensitätssignalen von Licht aus diesem Fokusbereich ausgebildet ist, wobei ein diffraktives optisches Element (5f) und / oder ein optisches Element mit einer Freiformoberfläche (5f; 6f) auf dem Hinweg angeordnet ist, wobei zwischen der Lichtquelle (1) und dem diffraktiven optischen Element und / oder dem optischen Element mit der Freiformoberfläche (5f; 6f) eine bewegliches und / oder veränderbares optisches Element (MMA; 3) angeordnet ist und wobei mit Hilfe des beweglichen und / oder veränderbaren optischen Elements (MMA; 3) der Auftreff ort des Lichts auf dem diffraktiven optischen Element (5f) und / oder dem optischen Element mit der Freiformoberfläche (5f; 6f) auf dem Hinweg verändert werden kann.
摘要翻译：本发明涉及一种光学传感器（31A; 31B; 31C; 31D; 31E）和照明模块（41A; 41B; 41C; 41D; 41E）用于坐标测量机，其特征在于，偏转元件（6A; 6F）上的光为方式偏转到一个工件的表面（7a）的要被测量（7）提供，通过偏转元件，其中（6A; 6F）的焦距范围的传感器的（31A; 31B; 31C; 31D; 31E）至少部分地形成圆弧状的，并且其中一个探测器所述传感器（10）（31A; 31B; 31C; 31D; 31E）形成在区域从该聚焦范围，从光检测强度信号，其中衍射光学元件（5F）和/或具有自由形式表面（光学元件5F，6F ）被设置在方式，其中，光源（1）和衍射光学元件和/或与自由形式表面（5F光学元件之间; 3布置）; 1207）是可移动的和/或可变的光学元件（MMA 并且其中（通过可动和/或可改变的光学元件MMA的装置; 3）光的衍射光学元件（5F）和/或与自由形式表面（5F的光学元件上的撞击位置的，6F）可以在途中改变。

10. 发明申请

WO2014140188A1 VERFAHREN ZUR KORREKTUR EINER WINKELABWEICHUNG BEIM BETRIEB EINES KOORDINATENMESSGERÄTS 审中-公开
标题翻译：方法不同的角度在运行中的坐标METER修正
公开(公告)号：WO2014140188A1
公开(公告)日：2014-09-18
申请号：PCT/EP2014/054978
申请日：2014-03-13
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH
发明人： FUCHS, Andreas , HELD, Tobias , SAGEMÜLLER, Rainer , SEITZ, Dominik
IPC分类号： G01B21/04
CPC分类号： G01B5/004 , G01B5/0014 , G01B5/0016 , G01B21/045
摘要： Verfahren zur Korrektur zumindest einer Winkelabweichung eines realen Winkels von einemidealen Winkel zwischen Bewegungs-Achsen (X, Y, Z) eines Koordinatenmessgeräts (211), wobei die Winkelabweichung ortsabhängig, temperaturabhängig und/oder Beladungsmasse-abhängig ist, umfassend die Schritte a-1) Ermittlung von Werten der ortsabhängigen Winkelabweichung in der Weise, dass i) für zumindest zwei Teilmessbereiche (15, 20) des Koordinatenmessgeräts, die lediglich einen Teil eines gesamten Messbereichs (30) des Koordinatenmessgeräts bilden, jeweils zumindest ein ermittelter Wert erhalten wird, wobei sich für verschiedene Teilmessbereiche des Koordinatenmessgeräts ermittelte Werte der ortsabhängigen Winkelabweichung unterscheiden und/oder ii) für zumindest einen Teilmessbereich (15) ein ermittelter Wert erhalten wird und für einen Gesamtmessbereich (30) des Koordinatenmessgerätes zumindest ein Wert der Winkelabweichung ermittelt wird, wobei sich der zumindest eine ermittelte Wert für einen Teilmessbereich des Koordinatenmessgeräts von dem zumindest einen Wert für den Gesamtmessbereich unterscheiden kann, und b-1) Korrektur der ortsabhängigen Winkelabweichung in einem oder mehreren Teilmessbereichen (15, 20) des Koordinatenmessgeräts, für den/die zumindest ein ermittelter Wert der ortsabhängigen Winkelabweichung erhalten wurde, unter Verwendung des zumindest einen ermittelten Werts, und/oder a-2) Ermittlung von Werten der temperaturabhängigen Winkelabweichung bei mindestens zwei verschiedenen Temperaturen in der Weise, dass ermittelte Werte der temperaturabhängigen Winkelabweichung in einem Temperaturbereich erhalten werden und/oder Informationen zur Korrektur der temperaturabhängigen Winkelabweichung in einem Temperaturbereich erhalten werden, b-2) Korrektur der temperaturabhängigen Winkelabweichung unter Verwendung eines der ermittelten Werte und/oder der erhaltenen Informationen aus Schritt a-2), und/oder a-3) Ermittlung von Werten der Beladungsmasse-abhängigen Winkelabweichung bei Beladung des Koordinatenmessgeräts mit mindestens zwei verschiedenen Beladungs-Massen (17, 18) in der Weise, dass ermittelte Werte der Beladungsmasse-abhängigen Winkelabweichung in einem Bereich von Beladungs-Massen erhalten werden und/oder Informationen zur Korrektur der Beladungsmasse-abhängigen Winkelabweichung in einem Temperaturbereich erhalten werden, und b-3) Korrektur der Beladungsmasse-abhängigen Winkelabweichung unter Verwendung eines der ermittelten Werte und/oder der erhaltenen Informationen aus Schritt a-3).
摘要翻译：一种用于至少修正一个坐标测量机（211），其中，所述角偏差是位置相关的，温度依赖性和/或装载质量依赖性的运动轴（X，Y，Z）之间的理想角度的实际角度的角度偏差，包括以下步骤的方法A-1）判定依赖于位置的角偏差的值的坐标测量机，其形成坐标测量装置的总的测量范围（30）的仅一部分的，在每种情况下获得的至少一个确定的值，从而为这样一种方式，（i）用于至少两个局部测量范围15，20）的不同子范围的坐标测量的依赖于位置的角偏差的不同确定的值和/或ii）中获得，所述测量范围（15）和至少部分确定的值（总共测量范围30）的坐标测量的角偏差中的至少一个值被确定，其中所述的至少一个确定 w ^ ERT对的测量范围的一部分坐标从罐测量机至少区分总测量范围）校正所述依赖于位置的角偏差在坐标测量机的一个或多个部分的测量范围（15，20），用于依赖于位置的角偏差的/至少一个检测到的值的值，并且b-1 获得，使用至少一个确定的值，和/或A-2）确定在所检测的温度范围内和/或信息获得用于校正依赖于温度的角度偏差的值这样的方式在至少两个不同温度下的温度依赖性的角度偏差的值依赖于温度的角度偏差的温度范围内获得的，负载的b-2）校正使用所确定的值中的一个和/或A-2从步骤获得的信息），和/或A-3依赖于温度的角度偏差）确定的值在该检测出的载荷质量依赖性的角度偏差的值可以在一个范围内的Beladungs质量块和/或信息来获得用于校正Beladungsmasse-这样的方式与至少两个不同Beladungs质量块（17，18）加载坐标测量装置时smasse依赖性角偏差依赖角度偏差的温度范围内获得的，以及b-3）使用所确定的值中的一个和/或来自步骤a-3）中获得的信息在该装载质量依赖性的角度偏差的校正。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式