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    • 4. 发明申请
    • ILLUMINATION SYSTEM OF A MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE APPARATUS
    • 微波投影曝光装置的照明系统
    • WO2009090007A3
    • 2009-09-24
    • PCT/EP2009000049
    • 2009-01-08
    • ZEISS CARL SMT AGHOEGELE ARTUR
    • HOEGELE ARTUR
    • G03F7/20
    • G03F7/70191G03F7/70066
    • An illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus (10) has a pupil plane (54), an object plane (62) and a mask plane (68) in which a mask (16) to be illuminated can be arranged. The illumination system has an optical system (170; 270; 370) consisting of a condenser (60; 160; 260; 360) that produces a Fourier relationship between the pupil plane (54) and the object plane (62). The system further has a field stop objective (66; 166; 266; 366) that optically conjugates the object plane (62) to the mask plane (68). According to the invention the optical system (170; 270; 370) has a negative Petzval sum with an absolute value of less than 0.0032 1/mm and preferably of less than 0.0026 1/mm. This ensures small telecentricity errors and a good pole balance.
    • 微光刻投影曝光装置(10)的照明系统具有瞳孔平面(54),物平面(62)和掩模平面(68),可以布置要被照射的掩模(16)。 所述照明系统具有由在所述瞳孔平面(54)和所述物体平面(62)之间产生傅立叶关系的冷凝器(60; 160; 260; 360)组成的光学系统(170; 270; 370)。 系统还具有将物平面(62)与掩模平面(68)光学共轭的场停止物镜(66; 166; 266; 366)。 根据本发明,光学系统(170; 270; 370)具有绝对值小于0.00321 / mm,优选小于0.0026l / mm的负Petzval和。 这确保了小的远心误差和良好的极平衡。
    • 6. 发明专利
    • Optisches Beobachtungsgerät mit wenigstens zwei jeweils einen Teilstrahlengang aufweisenden optischen Übertragungskanälen
    • DE102011010262A1
    • 2012-08-02
    • DE102011010262
    • 2011-01-27
    • ZEISS CARL MEDITEC AG
    • PRETORIUS MARCOGEISLER ENRICOGUENTER RUDOLPHNIETEN CHRISTOPHMOFFAT BRYCE ANTONHOEGELE ARTUR
    • G02B21/22G02B21/36
    • Es wird ein Optisches Beobachtungsgerät mit wenigstens einem ersten optischen Übertragungskanal zum Übertragen eines ersten Teilstrahlenbündels (9A) und wenigstens einem zweiten optischen Übertragungskanal zum Übertragen eines zweiten Teilstrahlenbündels (9B) zur Verfügung gestellt. Das optische Beobachtungsgerät umfasst entlang einer optischen Achse (OA1, OA2) angeordnet: – ein den optischen Übertragungskanälen gemeinsames Hauptobjektiv (1), – wenigstens einen elektronischen Bildsensor (7) zur zeitlich sequentiellen Aufnahme der von den optischen Übertragungskanälen übertragenen Teilstrahlenbündel (9A, 9B), – eine zwischen dem Hauptobjektiv (1) und dem Bildsensor (7) angeordnete, den optischen Übertragungskanälen gemeinsame Zwischenabbildungsoptik (3) und – eine zwischen dem Hauptobjektiv (1) und dem Bildsensor (7) in oder in der Nähe einer Bildebene der Zwischenabbildungsoptik (3) angeordnete Kippspiegelmatrix (5) mit einer Anzahl von kippbaren und hinsichtlich ihrer Kippposition ansteuerbaren Kippspiegelelementen (51), wobei jedes Kippspiegelelement (51) wenigstens eine erste Kippstellung und eine zweite Kippstellung aufweist und wobei die Kippspiegelmatrix (5) mit den Kippspiegelelementen (51) in der ersten Kippstellung das erste Teilstrahlenbündel (9A) zumindest mittelbar in Richtung auf den Bildsensor (7) ablenkt und mit den Kippspiegelelementen (51) in der zweiten Kippstellung das zweite Teilstrahlenbündel (9B) zumindest mittelbar in Richtung auf den Bildsensor (7) ablenkt. Die Zwischenabbildungsoptik (3) ist derart relativ zum Hauptobjektiv (1) zur Kippspiegelmatrix (5) und zum Bildsensor (7) angeordnet, dass das jeweilige in Richtung auf den Bildsensor (7) abgelenkte Teilstrahlenbündel (9A, 9B) die Zwischenabbildungsoptik (3) sowohl auf dem Weg vom Hauptobjektiv (1) zur Kippspiegelmatrix (5) als auch auf dem Weg von der Kippspiegelmatrix (5) zum dem Bildsensor (7) passiert.
    • 8. 发明专利
    • Stereomikroskop
    • DE102012006749A1
    • 2013-10-10
    • DE102012006749
    • 2012-04-03
    • ZEISS CARL MEDITEC AG
    • MERZ FRANZHOEGELE ARTUR
    • G02B21/02G02B21/22
    • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Stereomikroskop mit wenigstens einem Paar von stereoskopischen Strahlengängen (1, 2), welches ein Objektivsystem (3), eine erste Fokussierlinse (5) mit einer ersten Brechkraft und eine zweite Fokussierlinse (7) mit einer zweiten Brechkraft, und wenigstens einen Aktuator (11) aufweist. Das Objektivsystem (3) und die ersten und zweiten Fokussierlinsen (5, 7) werden von dem wenigstens einen Paar von stereoskopischen Strahlengängen (1) jeweils gemeinsam durchsetzt. Der Aktuator (11) ist ausgebildet, wenigstens eine dieser Fokussierlinsen (7) zur Änderung eines Arbeitsabstandes entlang der optischen Achsen des wenigstens einen Paars von stereoskopischen Strahlengängen (1) zu verlagern und/oder die Brechkraft wenigstens einer dieser Fokussierlinsen (7) zu ändern. Die Fokussierlinsen (5, 7) sind dem Objektivsystem (3) entlang der optischen Achsen des wenigstens einen Paars von stereoskopischen Strahlengängen (1) unmittelbar benachbart angeordnet. Die erste Brechkraft der ersten Fokussierlinse (5) und die zweite Brechkraft der zweiten Fokussierlinse (7) weisen unterschiedliche Vorzeichen auf.