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    • 7. 发明授权
    • Optical system for infrared spectroscopy having an aspherical concave
mirror
    • 具有非球面凹面镜的红外光谱用光学系统
    • US5483350A
    • 1996-01-09
    • US328087
    • 1994-10-24
    • Kazuhiro Kawasaki
    • Kazuhiro Kawasaki
    • G01J3/02G01J3/42G01N21/01G02B17/06G01N21/55
    • G01N21/55G02B19/0023G02B19/0085G02B19/009
    • An optical system for a high-sensitivity reflectivity measurement equipment having a simple structure enhances the light utilization efficiency and simplifies the production process and reduces the cost.An aspherical concave mirror with a predetermined range opened at the central portion and one focal point set on the outside of the end surface of the opening is used. The region width of the mirror surface measured from the plane the opening is so determined that the incident light from a proper light source and reflected by the mirror surface to enters the sample placed at the focal point at an incident angle .theta. where 60.degree..ltoreq..theta.
    • 用于具有简单结构的高灵敏度反射率测量设备的光学系统提高了光利用效率并简化了生产过程并降低了成本。 使用具有在中心部分开口的预定范围的非球面凹面镜和设置在开口端面的外侧上的一个焦点。 从开口的平面测量的镜面的面积宽度被确定为来自适当光源并被镜面反射的入射光以入射角θ进入放置在焦点处的样品,其中60°< =θ<90°。 入射光被非球面凹面镜和样品表面反射,并且再次被非球面凹面镜反射,以便成为用于检测的出射光。 因此,通过具有以非球面凹面镜为主要元素的非常简单的结构,使得对样品的适当和有效的光入射能够实现。 有效光的利用率高,检测精度提高。