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    • 7. 发明申请
    • VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM AUFBAUEN EINES SCHICHTENKÖRPERS MIT WENIGSTENS EINEM DAS BAUFELD BEGRENZENDEN UND HINSICHTLICH SEINER LAGE EINSTELLBAREN KÖRPER
    • 装置和方法用于构建体层,至少一个BAUFELD限制和管理机构可调尊重
    • WO2012092912A1
    • 2012-07-12
    • PCT/DE2011/001850
    • 2011-10-14
    • VOXELJET TECHNOLOGY GMBHHARTMANN, AndreasSCHMID, Dominik
    • HARTMANN, AndreasSCHMID, Dominik
    • B29C67/00B22F3/105
    • B29C67/0081B22F3/1055B29C64/153B29C64/165B29C64/20B29C64/35B29K2105/16B29K2509/00B33Y10/00B33Y30/00B33Y40/00B33Y70/00
    • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (13) zum Aufbauen eines Schichtenkörpers (5) aus einer Mehrzahl von auf einer Bauplattform (6) innerhalb eines Baufelds (11) übereinanderliegenden Schichten aus fließfähigem Material, besondere aus Partikelmaterial, die in örtlich vorbestimmten Bereichen durch Einwirkung von Bindemittel verfestigt und miteinander verbunden sind, so dass von den verfestigten und verbundenen Bereichen der Schichten wenigstens ein Formkörper (4) gebildet wird, beinhaltend eine über dem Baufeld (11) in wenigstens einer Austragrichtung hin und her bewegbare Austragvorrichtung (1) mit wenigstens einer Austragsöffnung ( 14), aus welcher während der Bewegung der Austragvorrichtung (1) das fließfähige Material in einzelnen übereinander liegenden Schichten austragbar ist. Die Erfindung sieht vor, dass wenigstens ein das Baufeld (11) in wenigstens einer Austragrichtung der Austragvorrichtung (1) begrenzender Körper (8, 8a) und die Bauplattform (6) gemäß dem jeweiligen Baufortschritt des Schichtenkörpers (5) in vertikaler Richtung relativ zueinander derart verstellbar sind, dass eine zur Austragsöffnung (14) weisende Oberfläche des wenigstens einen Körpers (8, 8a) mit einer noch herzustellenden oder bereits hergestellten obersten Schicht des Schichtenkörpers (5) bündig ausgerichtet ist, um die Austragsöffnung (14) der Austragvorrichtung (1) zu verschließen und diese am Austragen von fließfähigem Material zu hindern oder um für den Schichtaufbau nicht verbrauchtes fließfähiges Material in einen Auffangbehälter (7) auszutragen, wenn sich die Austragsöffnung (14) über dem Körper (8, 8a) befindet.
    • 本发明涉及一种用于从多个一个建筑领域内的建筑物平台(6)建立的层叠体(5)的装置(13)(11)的可流动材料的重叠的层,特别是颗粒物质,其在局部通过粘合剂的作用的预定区域 粘接并彼此连接,从而使层的固化,接合部分的至少一个成形体(4)形成,包括一个在工地(11)(至少在一个放电方向来回移动的排出装置(1)具有至少一个排放开口 14)从该(分配装置1)的移动过程中,可流动材料可以以不同的叠加的层排出。 本发明提供了至少一种在放电装置(1)限制所述体(8,8a)和(6)根据垂直相对于彼此的方向在层叠体(5)以这样的方式相应的进度构建平台中的至少一个喷出方向的建筑物区域(11) 是可调的,其面对所述至少一个主体的表面上的排出口(14)(8,8A)被对准齐平与层叠体(5)与所述排出装置的排出开口(14)一个尚未被产生或已产生的最上面的层(1) 以密封并防止它们从可流动的材料的分配以排出或不消耗用于可流动的材料的层结构为收集容器(7),当排出口(14)穿过所述主体(8,8A)位于。
    • 9. 发明申请
    • METHOD AND APPARATUS FOR CALIBRATING A WAFER TRANSPORT ROBOT
    • 用于校准波浪运输机器人的方法和装置
    • WO2012000663A1
    • 2012-01-05
    • PCT/EP2011/003202
    • 2011-06-29
    • CENTROTHERM THERMAL SOLUTIONS GMBH & CO. KGKNÖPFLE, DanielHARTMANN, AndreasGRAF, Ottmar
    • KNÖPFLE, DanielHARTMANN, AndreasGRAF, Ottmar
    • H01L21/68
    • H01L21/681B25J9/1692G05B2219/39024G05B2219/39047
    • The application describes a method for calibrating a wafer transport robot as well as a method and an apparatus for loading/unloading a wafer boat, the wafer boat having a plurality of plates, which are arranged generally parallel to each other in an opposed manner and a plurality of receptacles for receiving the wafers between adjacent plates. The wafer transport robot comprises a wafer gripper which is adapted to insert a wafer into the receptacles between the plates and to remove the wafer therefrom. In one method, the wafer gripper is moved to at least one position, which corresponds approximately to a theoretical loading position, and the spatial position of the wafer gripper is automatically determined in this position. Based on a difference between the determined spatial position of the wafer gripper and the theoretical loading position, at least one correction or compensation parameter for positioning the wafer gripper is determined. In an alternative process, a predetermined point of the wafer gripper, e.g. the center point thereof, is moved to different positions within a theoretical loading zone for a wafer boat by use of a robot coordinate system, and a corresponding spatial position of the wafer gripper is determined in these positions. The corresponding coordinate data of the robot coordinate system are stored in relation to the corresponding determined spatial position of the wafer gripper. For loading/unloading a wafer boat, the wafer boat is measured by use of the same measuring system which was used for determining the spatial position of the wafer gripper for a calibration. The measuring system comprises at least three sensors which are movable along predetermined movement paths, and which are able to measure a distance between the sensor and an edge region of an element entering the measuring range of the sensor along a measuring direction.
    • 本申请描述了一种用于校准晶片输送机器人的方法以及用于装载/卸载晶片舟皿的方法和装置,所述晶片舟皿具有多个板,所述多个板以相对的方式彼此大致平行地排列,并且 用于在相邻板之间接收晶片的多个插座。 晶片传送机器人包括晶片夹持器,其适于将晶片插入板之间的插座中并从其移除晶片。 在一种方法中,晶片夹持器被移动到至少一个位置,其大致对应于理论装载位置,并且在该位置自动确定晶片夹持器的空间位置。 基于确定的晶片夹持器的空间位置和理论装载位置之间的差异,确定用于定位晶片夹持器的至少一个校正或补偿参数。 在替代方法中,晶片夹持器的预定点,例如, 其中心点通过使用机器人坐标系移动到用于晶片舟皿的理论加载区域内的不同位置,并且在这些位置确定晶片夹持器的对应的空间位置。 相对于晶片夹持器的相应确定的空间位置存储机器人坐标系的相应坐标数据。 对于装载/卸载晶片舟皿,通过使用相同的测量系统测量晶片舟皿,该测量系统用于确定用于校准的晶片夹具的空间位置。 测量系统包括至少三个传感器,其可沿着预定的运动路径移动,并且能够沿测量方向测量传感器与进入传感器的测量范围的元件的边缘区域之间的距离。