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    • 7. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUR ERFASSUNG DES SPEKTRUMS ELEKTROMAGNETISCHER STRAHLUNG INNERHALB EINES VORGEGEBENEN WELLENLÄNGENBEREICHS
    • 用于测量电磁辐射的光谱内的给定的波长范围内
    • WO2012152753A1
    • 2012-11-15
    • PCT/EP2012/058367
    • 2012-05-07
    • ELMOS SEMICONDUCTOR AGBURCHARD, BerndBUDDE, Wolfram
    • BURCHARD, BerndBUDDE, Wolfram
    • H01L27/146G02B5/18H01L31/0216G01J3/28
    • H01L27/14621G01J3/04G01J3/12G01J3/2803G01J5/0862G01J2003/1213G02B5/204H01L27/14623H01L27/14625H01L27/14629H01L27/14645H01L31/02162
    • Die Vorrichtung zur Erfassung des Spektrums elektromagnetischer Strahlung innerhalb eines vorgegebenen Wellenlängenbereichs ist versehen mit einem Substrat (12), einer oberhalb des Substrats (12) angeordneten ersten Lochmaske (20) aus einem für Strahlung innerhalb des vorgegebenen Wellenlängenbereichs undurchlässigen Material, wobei die erste Lochmaske (20) eine Vielzahl von ersten Fenstern (22) aufweist, einer Vielzahl von in dem Substrat (12) angeordneten und für Strahlung innerhalb bei jeweils einer verschiedenen Wellenlänge des vorgegebenen Wellenlängenbereichs empfindlichen Sensorelementen, und einer oberhalb der ersten Lochmaske (20) angeordneten, zweite Fenster (36) aufweisenden zweiten Lochmaske (32) aus einem für die Strahlung innerhalb des vorgegebenen Welienlängenbereichs undurchlässigen Material. Die zweiten Fenster (36) der zweiten Lochmaske (32) sind überlappend mit den Fenstern der ersten Lochmaske (20) angeordnet und gegenüberliegende Ränder der jeweils zwei sich überlappenden Fenster der beiden Lochmasken (20, 32) definieren die Größe eines jeweils einem Sensorelement zugeordneten Strahlungsdurchlasses (42) zum Durchlassen von Strahlung innerhalb des vorgegebenen Wellenlängenbereichs zu dem unterhalb des Strahlungsdurchlasses (42) angeordneten Sensorelement. Für die Erfassung der Intensität von elektromagnetischer Strahlung bei jeder der mehreren, interessierenden Wellenlängen innerhalb des vorgegebenen Welienlängenbereichs ist mindestens einer der Strahlungsdurchlässe (42) mit einer der jeweils interessierenden Wellenlänge zugeordneten Größe vorgesehen.
    • 预定波长范围的材料中,第一阴影掩模(内的材料制成不可渗透的对放射线的基片(12),所述第一阴影掩模(20)上方,用于检测给定波长范围内的电磁辐射谱的装置,设置有基板(12),布置在一个 20)包括多个第一窗口(22),布置在多个(在该基板12),并在一个不同的波长的预定波长范围敏感的传感器元件中的每个设置成用于辐射,和一个(上方的第一荫罩20),第二窗口 (36),其具有不透预定Welienlängenbereichs材料内的辐射的材料的第二荫罩(32)。 第二荫罩的第二窗口(36)(32)被布置成与所述第一荫罩的窗口(20)和所述两个穿孔掩模(20,32),其限定分别分配的传感器元件的辐射通道的尺寸的两个重叠的窗口的相对边缘重叠 (42)布置成用于辐射通过所述预定波长区域内的通道(42)的传感器元件下方的辐射。 在每个所述多个预定Welienlängenbereichs至少所述辐射孔(42),用提供的相关尺寸每个感兴趣的波长中的一个的一个内的感兴趣的波长的检测电磁辐射的强度的。