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    • 7. 发明专利
    • MEHRACHSIGER TASTSENSOR
    • DE112018008166T5
    • 2021-08-26
    • DE112018008166
    • 2018-11-26
    • UNIV TOKYO
    • NAKAI AKIHITOSHIMOYAMA ISAO
    • G01L5/162G01L1/18
    • Es wird ein mehrachsiger Tastsensor zur Erfassung einer Kraft in Richtungen von drei Achsen und eines Moments um eine Achse bereitgestellt, der klein ist und eine hohe Erfassungsempfindlichkeit aufweist. Ein mehrachsiger Tastsensor 1 zur Erfassung von Kräften in Richtungen von drei Achsen und eines Moments um mindestens eine Achse umfasst mindestens vier Sensorelemente, die mindestens drei Scherkrafterfassungselemente 20 mit Balkenstrukturen umfassen, die an bestimmten Abschnitten mit einer ersten Widerstandsschicht 43 und einer zweiten Widerstandsschicht 53 versehen sind, und mindestens ein Druckkrafterfassungselement 30 mit einer Balkenstruktur, die an bestimmten Abschnitten mit einer dritten Widerstandsschicht 63 und einer vierten Widerstandsschicht 73 versehen ist, wobei die Balkenstrukturen der vier Sensorelemente auf einem Sensorsubstrat 2 so angeordnet sind, dass ihre jeweiligen Längsrichtungen radial angeordnet sind, und das Moment um mindestens eine Achse basierend auf Ausgängen von zwei oder mehr Sensorelementen erfasst wird, die an Positionen mit Rotationssymmetrie um den Mittelpunkt der radialen Anordnung der Mehrzahl der Sensorelemente herum angeordnet sind.