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1. 发明授权

US06846750B1 High precision pattern forming method of manufacturing a semiconductor device 失效
标题翻译：制造半导体器件的高精度图案形成方法
公开(公告)号：US06846750B1
公开(公告)日：2005-01-25
申请号：US09604724
申请日：2000-06-28
申请人： Tokuhisa Ohiwa , Shoji Seta , Nobuo Hayasaka , Katsuya Okumura , Akihiro Kojima , Junko Ohuchi , Tsukasa Azuma , Hideo Ichinose , Ichiro Mizushima
发明人： Tokuhisa Ohiwa , Shoji Seta , Nobuo Hayasaka , Katsuya Okumura , Akihiro Kojima , Junko Ohuchi , Tsukasa Azuma , Hideo Ichinose , Ichiro Mizushima
IPC分类号： H01L21/302 , H01L21/033 , H01L21/30 , H01L21/306 , H01L21/3065 , H01L21/311 , H01L21/316 , H01L21/768 , H01L21/461
CPC分类号： H01L21/76802 , H01L21/0331 , H01L21/31111 , H01L21/31116 , H01L21/31604 , H01L21/31616 , H01L21/76816 , H01L21/7682
摘要： According to the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, where a soluble thin film which is soluble in a dissolving liquid is used. According to the method of the present invention, when a soluble thin film is formed between a film to be processed which should be patterned and a mask pattern, it becomes possible to remove the mask pattern by lifting-off. On the other hand, when the thin film is used for a dummy layer for forming an air wiring structure, the dummy layer can be removed without performing ashing using oxygen plasma.
摘要翻译：根据本发明，提供一种制造半导体器件的方法，其中使用可溶于溶解液的可溶性薄膜。根据本发明的方法，当在要被图案化的被处理膜和掩模图案之间形成可溶性薄膜时，可以通过剥离来去除掩模图案。另一方面，当薄膜用于形成空气布线结构的虚拟层时，可以去除虚拟层而不用氧等离子体进行灰化。

2. 发明授权

US06607986B2 Dry etching method and semiconductor device manufacturing method 有权
标题翻译：干蚀刻法和半导体器件制造方法
公开(公告)号：US06607986B2
公开(公告)日：2003-08-19
申请号：US09739905
申请日：2000-12-20
申请人： Shoji Seta , Hideo Ichinose
发明人： Shoji Seta , Hideo Ichinose
IPC分类号： H01L21302
CPC分类号： H01L21/76802 , H01L21/31116 , H01L21/31138 , H01L21/7682 , H01L23/5329 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： In a method for dry-etching a coating by use of reactive gas which is activated, a second insulating layer containing carbon atoms which is formed on a first insulating layer containing carbon atoms is ashed by use of a gas containing carbon atoms and at least one of oxygen atoms, nitrogen atoms and hydrogen atoms. By using the above gas, the second insulating layer containing carbon atoms which is formed on the first insulating layer which is an underlying layer can be efficiently ashed and removed without removing carbon atoms in the side surface of the grooves formed in the first insulating layer and etching the side surface thereof. Thus, the side surface of the groove formed in the first insulating layer will not be modified or deformed.
摘要翻译：在通过使用被活化的反应性气体干蚀刻涂层的方法中，通过使用含有碳原子的气体和至少一个含有碳原子的气体将形成在含有碳原子的第一绝缘层上的含有碳原子的第二绝缘层灰化的氧原子，氮原子和氢原子。通过使用上述气体，能够有效地除去形成在作为下层的第一绝缘层上的含有碳原子的第二绝缘层，而不除去在第一绝缘层中形成的槽的侧面中的碳原子，蚀刻其侧表面。因此，形成在第一绝缘层中的槽的侧表面将不会改变或变形。

3. 发明授权

US06987066B2 Dry etching method and semiconductor device manufacturing method 失效
标题翻译：干蚀刻法和半导体器件制造方法
公开(公告)号：US06987066B2
公开(公告)日：2006-01-17
申请号：US10602072
申请日：2003-06-24
申请人： Shoji Seta , Hideo Ichinose
发明人： Shoji Seta , Hideo Ichinose
IPC分类号： H01L21/426
CPC分类号： H01L21/76802 , H01L21/31116 , H01L21/31138 , H01L21/7682 , H01L23/5329 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： A dry etching method comprises sequentially laminating a first insulating layer containing carbon and a second insulating layer containing carbon on a substrate, patterning the second insulating layer to form a mask; forming grooves in the first insulating layer by etching the first insulating layer with the second insulating layer used as a mask such that each of the grooves has a side surface and a bottom surface in the first insulating layer; and removing the second insulating layer by use of a reactive gas containing carbon atoms and at least one of oxygen atoms, hydrogen atoms and nitrogen atoms.
摘要翻译：干蚀刻方法包括在基板上依次层压包含碳的第一绝缘层和含有碳的第二绝缘层，图案化第二绝缘层以形成掩模; 通过用作为掩模的第二绝缘层蚀刻第一绝缘层，使得每个沟槽在第一绝缘层中具有侧表面和底表面，在第一绝缘层中形成沟槽; 以及通过使用含有碳原子和氧原子，氢原子和氮原子中的至少一个的反应气体除去第二绝缘层。

4. 发明授权

US5714087A Supertwist liquid-crystal display 失效
标题翻译：超扭曲液晶显示器
公开(公告)号：US5714087A
公开(公告)日：1998-02-03
申请号：US591659
申请日：1996-02-12
申请人： Axel Pausch , Akihiro Kojima , Matthias Bremer , Hideo Ichinose , Michael Junge , Hiroshi Numata , Volker Reiffenrath , Bernhard Rieger , Atsusi Sawada , Kazuaki Tarumi , Georg Weber
发明人： Axel Pausch , Akihiro Kojima , Matthias Bremer , Hideo Ichinose , Michael Junge , Hiroshi Numata , Volker Reiffenrath , Bernhard Rieger , Atsusi Sawada , Kazuaki Tarumi , Georg Weber
IPC分类号： G02F1/133 , C07C255/50 , C07C255/54 , C09K19/02 , C09K19/12 , C09K19/42 , C09K19/44 , C09K19/46 , C09K19/58 , G02F1/13 , C09K19/52 , C09K19/20 , C09K19/30
CPC分类号： C09K19/0208 , C09K19/12 , C09K19/44 , C09K19/46 , C09K19/58
摘要： The invention relates to improved STN displays of which the nematic liquid crystalline medium comprises compounds of formulae I1, I2, II1 and/or III1 ##STR1## wherein R.sup.3 and R.sup.4 are each independently alkyl with 1 to 8 C atoms, ##STR2## wherein R.sup.1 is alkyl or alkoxy with 1 to 8 C atoms, ##STR3## wherein R2 is oxaalkyl, alkenyl with up to 8 C atoms.
摘要翻译： PCT No.PCT / EP94 / 02494 371日期：1996年2月12日 102（e）日期1996年2月12日PCT提交1994年7月28日PCT公布。出版物WO94 / 04789 日期1995年2月16日本发明涉及改进的STN显示器，其中向列液晶介质包含式I 1，I 2，II 1和/或III 1的化合物，其中R 3和R 4各自独立地为烷基，至8个C原子，其中R 1是具有1至8个C原子的烷基或烷氧基，其中R 2是氧杂烷基，具有至多8个C原子的链烯基。

5. 发明申请

US20070170395A1 Liquid crystal medium 有权
标题翻译：液晶介质
公开(公告)号：US20070170395A1
公开(公告)日：2007-07-26
申请号：US11651979
申请日：2007-01-11
申请人： Hideo Ichinose , Shinji Nakajima , Masahiko Okamura , Takanori Takeda , Masako Nakamura
发明人： Hideo Ichinose , Shinji Nakajima , Masahiko Okamura , Takanori Takeda , Masako Nakamura
IPC分类号： C09K19/34
CPC分类号： C09K19/3402 , C09K19/20 , C09K19/3066 , C09K19/42 , C09K2019/0466 , C09K2019/3422 , Y10T428/10
摘要： Disclosed are a liquid crystal medium having a birefringence at 20° C. that is lower than 0.08 and contains 1-30% by weight of one or more compounds of formula IA, 1-10% by weight of one or more compounds of formula IB, 0-9% by weight of one or more compounds of formula IC, and the use of the medium for electro-optical purposes, and to displays containing the medium.
摘要翻译：公开了在20℃下双折射低于0.08的液晶介质，其含有1-30重量％的一种或多种式IA化合物，1-10重量％的一种或多种式IB化合物，0-9重量％的一种或多种式IC化合物，以及用于电光目的的介质，以及含有介质的显示器。

6. 发明授权

US06692796B2 Liquid crystalline medium and liquid crystal display 有权
标题翻译：液晶介质和液晶显示
公开(公告)号：US06692796B2
公开(公告)日：2004-02-17
申请号：US10046288
申请日：2002-01-16
申请人： Hideo Ichinose , Shinji Nakajima , Yasushi Sugiyama
发明人： Hideo Ichinose , Shinji Nakajima , Yasushi Sugiyama
IPC分类号： C09K1912
CPC分类号： C09K19/42 , C09K2019/123 , C09K2019/181 , C09K2019/183 , C09K2019/3009 , C09K2019/3016 , Y10T428/10
摘要： The instant invention relates to liquid crystal media comprising a component A, comprising one or more compounds of formula I and a component B, comprising one or more compounds of formula II wherein the parameters are as defined in the text and to liquid crystal displays comprising these media, in particular to TN AMD displays.
摘要翻译：本发明涉及包含组分A的液晶介质，其包含一种或多种式I化合物和组分B，其包含一种或多种式II化合物，其中参数如本文所定义，并且包括这些介质的液晶显示器，特别是TN AMD显示器。

7. 发明授权

US06506462B1 Liquid crystalline medium 失效
标题翻译：液晶介质
公开(公告)号：US06506462B1
公开(公告)日：2003-01-14
申请号：US09011264
申请日：1998-01-30
申请人： Kazuaki Tarumi , Brigitte Schuler , Michael Schwarz , Hideo Ichinose , Yasuyoshi Namiki , Akiko Takashima , Hiroshi Numata
发明人： Kazuaki Tarumi , Brigitte Schuler , Michael Schwarz , Hideo Ichinose , Yasuyoshi Namiki , Akiko Takashima , Hiroshi Numata
IPC分类号： C09K1930
CPC分类号： C09K19/3001 , C07C69/753 , C07C2601/14 , C09K19/3068 , Y10T428/10
摘要： The invention relates to a liquid-crystalline medium based on a mixture of polar compounds having positive dielectric anisotropy, characterized in that it comprises one or more compounds of the general formula I in which R, Y and L1 are as defined therein.
摘要翻译：本发明涉及一种基于具有正介电各向异性的极性化合物的混合物的液晶介质，其特征在于其包含一种或多种通式Iin的化合物，其中R，Y和L 1如所定义。

8. 发明授权

US08394467B2 Liquid crystalline medium and liquid crystal device 有权
标题翻译：液晶介质和液晶装置
公开(公告)号：US08394467B2
公开(公告)日：2013-03-12
申请号：US13071639
申请日：2011-03-25
申请人： Yuko Arai , Takanori Takeda , Yasushi Sugiyama , Hideo Ichinose
发明人： Yuko Arai , Takanori Takeda , Yasushi Sugiyama , Hideo Ichinose
IPC分类号： C09K19/20 , C09K19/30 , C09K19/12 , G02F1/133
CPC分类号： C09K19/46 , C09K19/3059 , C09K19/3068 , C09K2019/301 , C09K2019/3016 , C09K2019/3077 , C09K2019/3083 , Y10T428/10
摘要： The instant invention relates to dielectrically positive nematic media comprising one or more compounds of formula I and one or more compounds of formulae II and III and optionally one or more compounds of formulae IV and V and liquid crystal devices comprising these media and especially to fast switching electro-optical devices.
摘要翻译：本发明涉及包含一种或多种式I化合物和一种或多种式II和III化合物和任选的一种或多种式IV和V化合物的介电正性向列型介质和包含这些介质的液晶装置，特别是涉及快速开关电光器件。

9. 发明授权

US07582338B2 Liquid crystal medium 失效
标题翻译：液晶介质
公开(公告)号：US07582338B2
公开(公告)日：2009-09-01
申请号：US12100769
申请日：2008-04-10
申请人： Hideo Ichinose , Yuko Arai , Takanori Takeda , Tsuyoshi Okazaki , Toshihiro Matsumoto , Masahiro Shimizu , Takashi Katayama
发明人： Hideo Ichinose , Yuko Arai , Takanori Takeda , Tsuyoshi Okazaki , Toshihiro Matsumoto , Masahiro Shimizu , Takashi Katayama
IPC分类号： C09K19/30 , C09K19/12
CPC分类号： C09K19/44 , C09K19/3048 , C09K2019/0466 , C09K2019/123 , C09K2019/3004 , C09K2019/3009 , C09K2019/301 , C09K2019/3025 , Y10T428/10
摘要： Discloses are liquid crystal medium based on a mixture of polar compounds, the use thereof for electro-optical purposes, and displays containing the medium.
摘要翻译：公开了基于极性化合物的混合物的液晶介质，其用于电光目的的用途和包含介质的显示器。

10. 发明授权

US06793985B2 Liquid crystalline medium and liquid crystal display 有权
标题翻译：液晶介质和液晶显示
公开(公告)号：US06793985B2
公开(公告)日：2004-09-21
申请号：US10259727
申请日：2002-09-30
申请人： Shinji Nakajima , Yasushi Sugiyama , Yukiomi Tanaka , Takanori Takeda , Hideo Ichinose
发明人： Shinji Nakajima , Yasushi Sugiyama , Yukiomi Tanaka , Takanori Takeda , Hideo Ichinose
IPC分类号： C09K1934
CPC分类号： C09K19/3402 , C09K19/3068 , C09K19/46 , C09K2019/123 , C09K2019/3083 , C09K2019/3422 , Y10T428/10
摘要： Liquid crystalline media comprising a dielectrically positive component A, comprising compounds of formula I wherein the parameters have the meanings given herein, are suitable for use in liquid crystal displays, especially to active matrix displays and in particular IPS displays.
摘要翻译：包含介电阳性组分A的液晶介质包含式I化合物，其中参数具有本文给出的含义，适用于液晶显示器，特别是用于有源矩阵显示器，特别是IPS显示器。

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