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1. 发明授权

US5827949A Method and system for measuring external leakage 失效
标题翻译：测量外部泄漏的方法和系统
公开(公告)号：US5827949A
公开(公告)日：1998-10-27
申请号：US894504
申请日：1997-11-17
申请人： Tadihiro Ohmi , Atsushi Ohki , Yohichi Kanno
发明人： Tadihiro Ohmi , Atsushi Ohki , Yohichi Kanno
IPC分类号： G01M3/20 , G01M3/22 , G01M3/04 , G01N7/00
CPC分类号： G01M3/222 , G01M3/202
摘要： A method of measuring external leakage, which comprises the steps of introducing a first gas different from main component gasses of an external atmosphere into a pipe having a leak, adding H.sub.2 gas (or H.sub.2 -containing gas) to the first has at a down-stream point, and measuring gas components entering from the external atmosphere of the leak by an atmospheric ionization mass spectrometer (atmospheric pressure ionization mass spectrometer) at a further downstream point (for example, N.sub.2 H.sup.+ is detected when the external atmosphere is the N.sub.2 gas). A method of measuring the external leakage of a gas supply piping line having a plurality of branch piping lines comprises the steps of introducing H.sub.2 gas (or a H.sub.2 -containing gas) into at least one of the branch piping lines, introducing a first gas different from main component gases of an external atmosphere into the rest of the branch piping lines, and measuring gas components entering from the external atmosphere by the atmospheric pressure ionization mass spectrometer at a downstream point of the branch portion. The present invention can measure the external leakage very simply and with high levels of sensitivity and accuracy. Particularly, the present invention can be suitable applied to the cases where an inspection portion is elongated or branched such as feed pipe of a semiconductor plant.
摘要翻译： PCT No.PCT / JP95 / 00284 Sec。 371日期：1997年11月17日 102（e）日期1997年11月17日PCT提交1995年2月24日PCT公布。公开号WO96 / 26426 日期1996年8月29日一种测量外部泄漏的方法，包括以下步骤：将不同于外部气氛的主要组分气体的第一气体引入到具有泄漏的管道中，将第二气体（或含H2气体）具有下游点，并通过大气电离质谱仪（大气压电离质谱仪）在另外的下游点（例如，当外部气氛为...时检测到N2H +）测量从泄漏的外部大气进入的气体成分 N2气）。一种测量具有多个分支管道管道的气体供应管线的外部泄漏的方法包括以下步骤：将H2气（或含H2气体）引入到至少一个分支管道中，引入不同的第一气体从外部气氛的主要成分气体进入分支管道的其余部分，并且在分支部分的下游点测量由大气压电离质谱仪从外部气氛进入的气体成分。本发明可以非常简单地以高灵敏度和精确度测量外部泄漏。特别地，本发明适用于半导体装置的供给管等检查部是细长的或分支的情况。

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