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    • 1. 发明申请
    • XYテーブルアクチュエータ
    • X-Y台式执行器
    • WO2008149718A1
    • 2008-12-11
    • PCT/JP2008/059692
    • 2008-05-27
    • THK株式会社木村 吉宏浅生 利之石井 正志
    • 木村 吉宏浅生 利之石井 正志
    • G12B5/00B23Q1/62
    • H02K41/03H02K2201/18
    •  可動テーブル(5)をXY平面内において十分な推力で自在に移動させ且つ位置決め可能であると共に、簡易に且つ低コストで製作することが可能なXYテーブルアクチュエータであって、固定プレート(2)、中間プレート(4)、可動プレート(5)を積み重ねて構成され、前記固定プレート(2)と中間プレート(4)との間には、前記固定プレート(2)に対して中間プレート(4)をX方向へ推進するX方向駆動手段が配置される一方、前記中間プレート(4)と可動プレート(5)との間には、前記中間プレート(4)に対して可動プレート(5)をY方向へ推進するY方向駆動手段(7)が設けられ、略チャネル状に形成され固定プレート(2)及び可動プレート(5)と略平板状の中間プレート(4)とを積み重ねることにより、固定プレート(2)と中間プレート(4)との間には前記X方向駆動手段の収容室(60)を形成し、中間プレート(4)と可動プレート(5)との間には前記Y方向駆動手段の収容室(70)を形成した。
    • 提供了一种X-Y工作台致动器,其可以在X-Y平面内以足够的推力自由移动和定位可移动工作台(5),并且可以以低成本简单地制造。 X-Y工作台致动器通过堆叠固定板(2),中间板(4)和可动板(5)构成。 在固定板(2)和中间板(4)之间设置有用于相对于固定板(2)沿X方向驱动中间板(4)的X方向驱动装置。 另一方面,在中间板(4)和可动板(5)之间设置有Y方向驱动装置(7),用于相对于中间板在Y方向上推动可动板(5) (4)。 通常形成为通道形状的固定板(2)和可动板(5)和大致平坦形状的中间板(4)堆叠形成容纳室(60) 对于固定板(2)和中间板(4)之间的X方向驱动装置和用于中间板(4)和可动板(5)之间的Y方向驱动装置的容纳室(70) 。