专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JP2007334357A Optical element and mapping optic 审中-公开
标题翻译：光学元件和映射光学
公开(公告)号：JP2007334357A
公开(公告)日：2007-12-27
申请号：JP2007156063
申请日：2007-06-13
申请人： Schott Ag , ショットアクチエンゲゼルシャフトSchott AG
发明人： ZIMMER JOSE , PEUCHERT ULRICH , ALKEMPER JOCHEN , LETZ MARTIN , REICHEL STEFFEN , OKANO CHISUI , MENKE YVONNE
IPC分类号： G02B1/02 , C04B35/00 , C04B35/50 , G02B5/18
CPC分类号： C04B35/50 , B82Y30/00 , C04B35/01 , C04B35/486 , C04B35/505 , C04B35/62655 , C04B35/62695 , C04B35/6455 , C04B2235/3224 , C04B2235/3227 , C04B2235/3244 , C04B2235/5454 , C04B2235/762 , C04B2235/9653 , G02B1/00 , G02B13/0035 , G02B13/008 , Y10S501/901 , Y10S501/904
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a material having parameters which can not be attained by the conventional glass, single crystal material, polycrystalline ceramics respectively materials, that is, a high refractive index, a high Abbe number and a special relative partial dispersion. SOLUTION: A refractive, transmissive or diffractive optical element contains a ceramic comprising a combination of crystals, has a fine-single crystal analogous to that of Y 2 O 3 , is transparent to visible light and/or infrared rays and has a cubic structure containing one or more kinds of oxides of the type X 2 O 3 . COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了提供具有以往的玻璃，单晶材料，多晶陶瓷的各种材料，即高折射率，高阿贝数和特殊相对部分不能达到的参数的材料分散。解决方案：折射透射或衍射光学元件含有包含结晶组合的陶瓷，具有类似于Y O 3 的细单晶，对于可见光和/或红外线是透明的，并且具有包含一种或多种类型的X O 3 的氧化物的立方结构。版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

2. 发明专利

JP2008213466A Manufacturing method for optical element, and optical element 审中-公开
标题翻译：光学元件和光学元件的制造方法
公开(公告)号：JP2008213466A
公开(公告)日：2008-09-18
申请号：JP2008002405
申请日：2008-01-09
申请人： Schott Ag , ショットアクチエンゲゼルシャフトSchott AG
发明人： ZIMMER JOSE , PEUCHERT ULRICH , ALKEMPER JOCHEN , MENKE YVONNE , MITRA INA
IPC分类号： B28B1/24 , B28B1/20 , C04B35/632 , C04B35/64 , G02B1/00
CPC分类号： C04B35/62655 , B82Y30/00 , C04B35/44 , C04B35/443 , C04B35/486 , C04B35/50 , C04B35/505 , C04B35/581 , C04B35/6261 , C04B35/6455 , C04B2235/3203 , C04B2235/3205 , C04B2235/3244 , C04B2235/3418 , C04B2235/441 , C04B2235/445 , C04B2235/5409 , C04B2235/5454 , C04B2235/6022 , C04B2235/6027 , C04B2235/608 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6581 , C04B2235/661 , C04B2235/662 , C04B2235/72 , C04B2235/725 , C04B2235/762 , C04B2235/768 , C04B2235/94 , C04B2235/9638 , C04B2235/9653
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method for an optical element composed of optical ceramics, particularly, a lens, which enables the high-quality lens to be manufactured with high reproducibility in sufficient quantities at an acceptable cost. SOLUTION: In the manufacture of a green body, at least one near-net-shape molding is applied at a molding stage. At the molding stage, when a mold is filled with a ceramic powder, a medium pressure of about 0.1-50 MPa, preferably 0.5-25 MPa, more preferably 1-12 MPa is applied onto either the powder batch or the ceramic powder batch, arranged in the mold. A molding method applied to the molding sage is selected from centrifugal slip casting and hot casting. The optical ceramics including a single particle with a cubic crystal structure has purity in which the content of impurities is 500 ppm or less and that of a transition metal is 250 ppm or less. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种由光学陶瓷，特别是透镜制成的光学元件的制造方法，其能够以可接受的成本以高的重现性以高的重现性制造高品质的透镜。解决方案：在生坯体的制造中，在成型阶段施加至少一个近净成形的模制件。在成型阶段，当模具填充有陶瓷粉末时，将约0.1-50MPa，优选0.5-25MPa，更优选1-12MPa的中压施加到粉末批料或陶瓷粉末批料上，布置在模具中。应用于成形料的成型方法选自离心滑移浇铸和热铸造。包括具有立方晶体结构的单个颗粒的光学陶瓷具有杂质含量为500ppm以下且过渡金属的含量为250ppm以下的纯度。版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

3. 发明专利

JP2007108734A Optical element and imaging optical element comprising same 审中-公开
标题翻译：光学元件和成像包含相同的光学元件
公开(公告)号：JP2007108734A
公开(公告)日：2007-04-26
申请号：JP2006250931
申请日：2006-09-15
申请人： Schott Ag , ショットアクチエンゲゼルシャフトSchott AG
发明人： REICHEL STEFFEN , BEIER WOLFRAM , LENTES FRANK-THOMAS , OKANO YOSHIO , ALKEMPER JOCHEN , ZIMMER JOSE , HAYDEN JOSEPH S , WEINHOLD CARSTEN , PEUCHERT ULRICH , LETZ MARTIN
IPC分类号： G02B1/02 , C04B35/48 , C04B35/50 , G02B5/18
CPC分类号： G02B1/02 , C04B35/486 , C04B2235/3201 , C04B2235/3203 , C04B2235/3206 , C04B2235/3208 , C04B2235/3224 , C04B2235/3225 , C04B2235/3227 , C04B2235/3229 , C04B2235/3232 , C04B2235/3418 , C04B2235/72 , C04B2235/762 , C04B2235/786 , C04B2235/81 , C04B2235/9653
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical element made of opto-ceramic. SOLUTION: The refractive, transmissive or diffractive optical element is made of the opto-ceramic which comprises a composition expressed by the following formula and is composed of crystallites having a cubic crystal structure of the ZrO 2 type; (1-m)äz1[ZrO 2 ]z2[HfO 2 ](1-z1-z2)[X 2 O 3 ]}m[A] or (1-m)äz1[ZrO 2 ]z2[HfO 2 ](1-z1-z2)[MO]}m[A], wherein: z1+z2 is less than or equal to 0.92 and preferably less than or equal to 0.90; z1, z2 and m are respectively higher than or equal to zero; m is less than 0.1 and preferably less than 0.06, most preferably close to or equal to zero; (X) is selected from Y, Sc, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb and Lu; (M) is selected from Ca and Mg; and (A) represents one or more additional components particularly selected from SiO 2 , Na 2 O or TiO 2 . COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供由光电陶瓷制成的光学元件。解决方案：折射透射或衍射光学元件由包含由下式表示的组成的光电陶瓷制成，并且由具有ZrO 2 SBB的立方晶体结构的微晶构成，类型; （1-M）AZ1 [的ZrO 2 ] Z2 [的HfO 2 ]（1-Z1-Z2）[X 2 0 （1-z1-z2）[MO（1-z1-z2）] [MO（1-z1-z2）] ]} m [A]，其中：z1 + z2小于或等于0.92，优选小于或等于0.90; z1，z2和m分别高于或等于零; m小于0.1，优选小于0.06，最优选接近或等于零; （X）选自Y，Sc，La，Ce，Pr，Nd，Pm，Sm，Eu，Gd，Tb，Dy，Ho，Er，Tm，Yb和Lu; （M）选自Ca和Mg; 和（A）表示一种或多种另外的组分，其特别选自SiO 2 SBA，Na SB 2 O或TiO 2 SB 2。版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

4. 发明专利

JP2007153735A Glass ceramic 有权
标题翻译：玻璃陶瓷
公开(公告)号：JP2007153735A
公开(公告)日：2007-06-21
申请号：JP2006327015
申请日：2006-12-04
申请人： Schott Ag , ショットアクチエンゲゼルシャフトSchott AG
发明人： SCHNEIDER MEIKE , ZACHAU THILO , ALKEMPER JOCHEN , DIRK SPRENGER
IPC分类号： C03C10/02
CPC分类号： C03C10/0054
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a glass ceramic which has a crystalline phase consisting mainly of BPO
4 , has sufficient chemical stability and thermostability, and which is capable of having a coefficient of thermal expansion being in the wide range of the coefficient of thermal expansion of a semiconductor material.
SOLUTION: The glass ceramic is obtained by melting the composition containing, in wt.%, SiO
2 of 10-50, B
2 O
3 of 5-40, P
2 O
5 of 25-75, a refining agent of ≤5, impurities of ≤1, and 0.1-10 of at least one constituent selected from the group of M3
2 O
3 , M5
2 O
5 and M4O
2 , wherein M3 is a lanthanoid, yttrium, iron, aluminium, gallium, indium or thallium, M5 is vanadium, niobium or tantalum, and M4 is titanium, zirconium, hafnium or cerium.
COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了提供具有主要由BPO SBS组成的结晶相的玻璃陶瓷具有足够的化学稳定性和热稳定性，并且能够具有热膨胀系数在半导体材料的热膨胀系数的宽范围内。解决方案：玻璃陶瓷通过熔化含有重量百分比为10-50，B 2 O 3的组合物获得， / SB>为25〜75，P 2 5 为25〜75，澄清剂为≤5，杂质≤1，0.1-10为至少选自M3 O 3 ，M5 2 5 和M4O 2的一种成分其中M3是镧系元素，钇，铁，铝，镓，铟或铊，M5是钒，铌或钽，M4是钛，锆，铪或铈。版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

5. 发明专利

JP2007086787A Optical lens, lens group, optical image acquisition apparatus and their manufacturing methods 有权
标题翻译：光学透镜，透镜组，光学摄像设备及其制造方法
公开(公告)号：JP2007086787A
公开(公告)日：2007-04-05
申请号：JP2006255005
申请日：2006-09-20
申请人： Schott Ag , ショットアクチエンゲゼルシャフトSchott AG
发明人： ALKEMPER JOCHEN , HAYDEN JOE , ZIMMER JOSE , LENTES FRANK-THOMAS , REICHEL STEFFEN
IPC分类号： G02B1/00 , B29C39/10 , B29L11/00 , G02B1/04 , G02B5/18
CPC分类号： G02B3/00 , G02B5/1852 , G02B5/1857 , G02B5/1895 , G02B27/4211
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical hybrid lens which can be manufactured by a simple and economical method and which can attain high resolution or high image quality too and to provide its manufacturing process. SOLUTION: The optical hybrid lens is constituted of a base material (1) which is made of ceramics having a prescribed shape and one or more kinds of substances (2) which are different from the base material (1) and which cover a surface of the base material (1) at least at a definite part for forming a lens surface. One or more surfaces of the base material (1) facing the substances have curvature and the ceramics is an optical ceramics. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种可以通过简单且经济的方法制造并且可以获得高分辨率或高图像质量并且提供其制造工艺的光学混合透镜。解决方案：光学混合透镜由具有规定形状的陶瓷制成的基材（1）和与基材（1）不同的一种或多种物质（2）构成，盖所述基材（1）的表面至少在确定的部分用于形成透镜表面。面向物质的基材（1）的一个或多个表面具有曲率，陶瓷是光学陶瓷。版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

6. 发明专利

JP2006251805A Manufacturing method of optical element for microlithography, lens system obtained by the method and using method of the lens system 审中-公开
标题翻译：用于微结构的光学元件的制造方法，由该方法获得的透镜系统和使用透镜系统的方法
公开(公告)号：JP2006251805A
公开(公告)日：2006-09-21
申请号：JP2006062651
申请日：2006-03-08
申请人： Schott Ag , ショットアクチエンゲゼルシャフトSchott AG
发明人： WEHRHAN GUNTHER , MARTIN REGINA , PARTHIER LUTZ , STAEBLEIN JOERG , LETZ MARTIN , ALKEMPER JOCHEN , KNAPP KONRAD , PETERMANN KLAUS DR
IPC分类号： G02B1/02 , C30B29/28 , H01L21/027
CPC分类号： C30B29/28 , C30B15/00 , G02B1/02 , G02B13/143 , G03F7/70341 , G03F7/70958
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of optical element for microlithography in which an optical element used for ultraviolet irradiation especially for microlithography is made from cubic granatite, cubic spinel, cubic perovskite, cubic M(II)-oxide and/or M(IV)-oxide.
SOLUTION: The optical element is made from suitable crystals selected from Y
3 Al
5 O
12 , Lu
3 Al
5 O
12 , Ca
3 Al
2 Si
3 O
12 , K
2 NaAlF
6 , K
2 NaScF
6 , K
2 LiAlF
6 , Na
3 Al
2 Li
3 F
12 , (Mg, Zn)Al
2 O
4 , CaAl
2 O
4 , CaB
2 O
4 , LiAl
5 O
8 , BaZrO
3 and/or CaCeO
3 . A front lens used in immersion optics for microlithography at a wavelength of 200 nm or less is an example of a preferred optical element according to the present invention.
COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于微光刻的光学元件的制造方法，其中特别用于微光刻的用于紫外线照射的光学元件由立方晶系青粉，立方尖晶石，立方体钙钛矿，立方晶M（II）氧化物和 /或M（IV） - 氧化物。解决方案：光学元件由合适的晶体制成，选自Y SB 3，SB 3，SB 3， SB> Al 5 12 3 3 SB> 12 ，K 2，NaAlF SB 6，K SB 2，NaScF SB 6， 2 LiAlF 6 ，Na 3 2 >，（Mg，Zn）Al 2 4 ，CaAl 2 4 0 4 5，SBZO 3，SBZ 3，SB 3，SB 3，。在200nm或更小的波长下用于微光刻的浸没光学元件中的前透镜是根据本发明的优选光学元件的示例。版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

7. 发明专利

JP2005231994A Low thermal expansion glass ceramic 有权
标题翻译：低热膨胀玻璃陶瓷
公开(公告)号：JP2005231994A
公开(公告)日：2005-09-02
申请号：JP2005041577
申请日：2005-02-18
申请人： Schott Ag , ショットアーゲーSchott AG
发明人： MITRA INA , ALKEMPER JOCHEN
IPC分类号： G21K1/06 , C03C10/00 , C03C10/12 , C03C15/02 , C03C19/00 , C03C23/00 , H01L21/027
CPC分类号： C03C10/0027 , C03C10/0036 , C03C15/02 , C03C19/00 , C03C23/005 , G21K2201/067
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a novel glass ceramic having low average thermal expansion, excellent polishing property and workability, for solving problems that a conventional glass ceramic has difficulty in the workability, and the degradation of surface roughness or the like.
SOLUTION: The glass ceramic having the coefficient of thermal expansion (CTE) kept at most 0±0.5×10
-6 /K at 0-50°C has the composition (wt.% expressed in terms of oxide), containing SiO
2 of 50-70, Al
2 O
3 of 17-32, P
2 O
5 of 3-12, Li
2 O of 2.5-5, Na
2 O of 0-2, K
2 O of 0-2, MgO of 0-2, CaO of 0.1-4, BaO of 0 to 2 of 1.5-5 and ZrO
2 of 0-2.5.
COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：为了解决传统的玻璃陶瓷难以加工性和表面粗糙度的降低等问题，提供平均热膨胀率低，抛光性能和加工性能好的新型玻璃陶瓷。解决方案：在0-50℃，热膨胀系数（CTE）保持在0±0.5×10 -6 / K以下的玻璃陶瓷的组成（wt％表示以氧化物计），含有50-70的SiO 2 ，17-32，P 2 / SB> O 5 为3〜12，Li 2 S 2 O 2为2.5〜5，Na 2 SB 2为0-2，K 为1.5-5，ZrO 2 为0-2.5。版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI

8. 发明专利

JP2005179180A Fluorine-doped silicate glass and its use 审中-公开
标题翻译：氟化硅酸钠玻璃及其用途
公开(公告)号：JP2005179180A
公开(公告)日：2005-07-07
申请号：JP2004361758
申请日：2004-12-14
申请人： Schott Ag , ショットアーゲー
发明人： ALKEMPER JOCHEN , SCHUHMACHER JOERG , PEUCHERT ULRICH
IPC分类号： C03C3/112 , C03C3/06 , C03C3/115 , C03C3/118 , C03C4/00 , G03F1/00 , G03F1/24 , G03F1/60
CPC分类号： C03C3/112 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03C3/06 , C03C3/115 , C03C3/118 , C03C4/0071 , C03C4/0085 , C03C2201/12 , C03C2201/42 , G03F1/24 , G03F1/60
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a material whose coefficient of thermal expansion is made as constant as possible so as to be particularly advantageously used in micro-lithography, in particular EUV(extreme-ultraviolet)-lithography.
SOLUTION: The fluorine doped at least ternary silicate glass contains in particular TiO
2 . The glass is constituted so as to be advantageously used as a material having a low thermal expansion, wherein the slope of the coefficient of thermal expansion is between ±2×10
9 /K
2 in the temperature range of -50 to 100°C. This material is particularly suited for micro-lithography, in particular EUV-lithography.
COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：提供尽可能使热膨胀系数恒定的材料，以便特别有利地用于微光刻，特别是EUV（极紫外）光刻。解决方案：氟掺杂的至少三元硅酸盐玻璃特别包含TiO 2 SB 2。玻璃被构造成有利地用作具有低热膨胀的材料，其中热膨胀系数的斜率在±2×10 / K 2之间， SP>在-50至100℃的温度范围内。该材料特别适用于微光刻，特别适用于EUV光刻。版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI

9. 发明申请

WO2011104018A2 LITHIUM ALUMINOSILICATE GLASS HAVING A HIGH E-MODULE AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF 审中-公开
标题翻译：硅铝酸锂高模量和方法及其
公开(公告)号：WO2011104018A2
公开(公告)日：2011-09-01
申请号：PCT/EP2011000888
申请日：2011-02-24
申请人： SCHOTT AG , BRIX PETER , BEIER WOLFRAM , ALKEMPER JOCHEN
发明人： BRIX PETER , BEIER WOLFRAM , ALKEMPER JOCHEN
IPC分类号： C03C3/097
CPC分类号： C03C3/097 , C03B18/02 , C03B27/012 , C03C3/083 , C03C3/112 , C03C21/00 , C03C21/002
摘要： The invention relates to lithium aluminosilicate glass and to a method for the production of lithium aluminosilicate glass, the glass having the following composition (in mol%): 60 - 70 SiO2; 10 - 13 Al2O3; 0.0 - 0.9 B2O3;9.6 - 11.6 Li2O; 8.2 - 2O; 0.0 - 0.7 K2O; 0.0 - 0.2 MgO; 0.2 - 2.3 CaO; 0.0 - 0.4 ZnO; 1.3 - 2.6 ZrO2; 0.0 - 0.5 P2O5; 0.003 - 0.100 Fe2O3; 0.0 - 0.3 SnO2; 0.004 - 0.200 CeO2. The following ratios and conditions apply to the glass according to the invention: (Li2O+Al2O3) / (Na2O+K2O) > 2; 0.47 2O/ (Li2O+Na2O+K2O) 2O3+ZnO+P2O5+B2O3+CeO2
摘要翻译：本发明涉及一种锂铝硅酸盐玻璃和用于该锂 - 铝硅酸盐玻璃的制造方法，具有以摩尔％的组成的玻璃：60-70的SiO 2; 10 - 13个氧化铝; 0.0至0.9 B2O3; 9.6至11.6的Li 2 O; 8.2 - 2O; 0.0至0.7 K 2 O; 0.0至0.2的MgO; 0.2到2.3的CaO; 从0.0至0.4的ZnO; 1.3〜2.6的ZrO 2; 0.0至0.5 P2O5; 0.003〜0.100的Fe2O3; 从0.0至0.3的SnO 2; 0.004 - 0.200包括氧化铈。（+的Li2O氧化铝）/（Na2O和K2O）> 2;对于本发明的玻璃下列情形和条件适用 0.47 2O /（+的Li 2 O的Na 2 O + K 2 O）2 O 3的ZnO + + P2O5 + B2O3 +的CeO 2 <3，其中，所述六至少四个包含氧化物。这样的锂铝硅酸盐玻璃具有至少82吉帕斯卡弹性模量。此外，它具有小于540℃和/或小于1150℃的加工温度的玻璃化转变温度Tg 玻璃是适合于利用浮法工艺和化学和/或热回火形成，从而它可以具有至少550牛顿/平方毫米的挠曲强度。

10. 发明专利

DE102019135597A1 Thermisch vorspannbare Borosilicatgläser 未知
公开(公告)号：DE102019135597A1
公开(公告)日：2021-06-24
申请号：DE102019135597
申请日：2019-12-20
申请人： SCHOTT AG
发明人： LAUTENSCHLÄGER GERHARD , FOTHERINGHAM ULRICH , HOCHREIN OLIVER , KUGELMANN HELMUT , SPRENGER ANDREAS , ALKEMPER JOCHEN
IPC分类号： C03C3/089
摘要： Die Erfindung betrifft Borosilicatgläser, insbesondere Flachgläser, die eine optimale thermische Vorspannbarkeit aufweisen und als thermisch vorgespannte hochfeste Flachglasprodukte für Sicherheitsverglasungen unter anderem im Bauwesen, für Fahrzeugverglasungen und für Anwendungen im Home Tech Bereich verwendet werden können. Insbesondere zeichnen sie sich durch einen hohen Elastizitätsmodul, einen gewünschten thermischen Ausdehnungskoeffizienten unterhalb und einen hohen thermischen Ausdehnungskoeffizienten oberhalb des Glastransformationsbereiches sowie gewünschte Werten für den oberen Kühlpunkt und den Verarbeitungspunkt aus.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式