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1. 发明申请

WO2013007783A3 VERFAHREN ZUM BETRIEB VON MEHREREN VERBRAUCHERN IN WECHSELSTROMNETZEN MIT PHASENANSCHNITT ODER PHASENABSCHNITT 审中-公开
公开(公告)号：WO2013007783A3
公开(公告)日：2013-01-17
申请号：PCT/EP2012/063672
申请日：2012-07-12
申请人： SINGULUS TECHNOLOGIES AG , BECKER, Wolfgang , RÜTH, Edgar , KLEIN, Benedikt
发明人： BECKER, Wolfgang , RÜTH, Edgar , KLEIN, Benedikt
IPC分类号： H02M5/257 , H02M1/12
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb eines ersten und eines zweiten elektrischen Verbrauchers in einem Wechselstromnetz. Das Verfahren kann in einem optionalen ersten Betriebsmodus betrieben werden, in dem die positiven und negativen Halb wellen für jeden Verbraucher mit einem ersten Phasenanschnittwinkel angesteuert werden. Zudem ist ein zweiter Betriebsmodus vorgesehen, in dem ein erster Teil der positiven und negativen Halbwellen für den ersten Verbraucher und ein zweiter Teil der positiven und der negativen Halbwellen für den zweiten Verbraucher mit jeweils einem zweiten Phasenanschnittwinkel. Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens mit einer ersten und einer zweiten Phasenanschnittsteuerung für den ersten und den zweiten Verbraucher.

2. 发明申请

WO2010023221A1 BESCHICHTUNGSANLAGE 审中-公开
标题翻译：涂装线
公开(公告)号：WO2010023221A1
公开(公告)日：2010-03-04
申请号：PCT/EP2009/060994
申请日：2009-08-26
申请人： SINGULUS TECHNOLOGIES AG , HUBER, Marco , BECKER, Wolfgang , BINKOWSKA, Patrick , CORD, Bernhard , HOHN, Oliver , KEMPF, Stefan , REISING, Michael , ROOS, Björn , RÜTH, Edgar , SICHMANN, Eggo , WOHLFART, Peter
发明人： HUBER, Marco , BECKER, Wolfgang , BINKOWSKA, Patrick , CORD, Bernhard , HOHN, Oliver , KEMPF, Stefan , REISING, Michael , ROOS, Björn , RÜTH, Edgar , SICHMANN, Eggo , WOHLFART, Peter
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67213 , C23C16/54 , H01L21/67167
摘要： Durch die Erfindung wird eine Beschichtungsanlage zum Beschichten von Substraten im Takt-Betrieb bereitgestellt. Die Prozessstationen der Beschichtungsanlage sind kreisförmig angeordnet. Eine Handhabung zum Überfuhren der Substrate zwischen den Prozessstationen wird bereitgestellt. Die Prozessstationen weisen eine Schleuse zum Be- bzw. Entladen der Substrate, mindestens zwei Beschichtungskammern jeweils mit einer Plasmaquelle zum stationären Beschichten der Substrate und vorzugsweise eine Heizstation auf.
摘要翻译：本发明提供了提供了一种用于在循环操作涂覆基材的涂层系统。所述涂覆设备的处理站被布置成圆形。为处理站之间传送基板的搬运车提供。处理站包括用于装载和基板的卸载锁，每个具有用于涂覆底物的静止等离子体源的至少两个涂布室，并优选在加热站。

3. 发明申请

WO2010112613A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG FÜR DIE AUSRICHTUNG VON SUBSTRATEN 审中-公开
标题翻译：方法和装置基板的对齐
公开(公告)号：WO2010112613A1
公开(公告)日：2010-10-07
申请号：PCT/EP2010/054501
申请日：2010-04-06
申请人： SINGULUS TECHNOLOGIES AG , RÜTH, Edgar , BECKER, Wolfgang , FILIPOVIC, Marjan , ROHRMANN, Reiner
发明人： RÜTH, Edgar , BECKER, Wolfgang , FILIPOVIC, Marjan , ROHRMANN, Reiner
IPC分类号： G06T7/00 , H05K13/04
CPC分类号： H05K13/0413 , G06T7/73 , G06T2207/30141 , G06T2207/30148 , H05K13/0061
摘要： Es wird ein Verfahren und eine Vorrichtung für die Ausrichtung von Substraten (2) in einer X-Y-Ebene vorgestellt. Ein mehreckiges, flächiges Substrat (2), dessen Substratebene zur X-Y-Ebene parallel ist, oder in dieser liegt, wird bezüglich Referenzkoordinaten und einer Referenzwinkellage in der X-Y-Ebene ausgerichtet. Mit einer Bilderfassungseinrichtung (9) wird eine Ecke (12) des Substrats (2) erfasst. Zusätzlich werden die Positionskoordinaten des Substrats (2) bestimmt. Mit einer Auswerteeinrichtung (10) wird die Winkellage der Ecke (12) des Substrats (2) in der X-Y-Ebene ermittelt, und die Positionsdifferenzen zwischen den Referenzkoordinaten und den Positionskoordinaten sowie die Winkeldifferenz zwischen der Referenzwinkellage und der Winkellage der Substratecke (12) berechnet. Entsprechend der ermittelten Positionsdifferenz bzw. der Winkel differenz wird das Substrat (2) in der X-Y-Ebene verschoben und/oder verdreht. Durch mehrmaliges Drehen des Substrats (2) kann jede Ecke (12) und Kante (13, 14) des Substrats (2) mit der Bilderfassungseinrichtung (9) erfasst werden. Dies ermöglicht eine Kanteninspektion während des Substrattransports, damit zusätzliche Prozessschritte wie das Ablegen und das erneute Aufnehmen des Substrats (2) entfallen können.
摘要翻译：它呈现在X-Y平面上的方法和一种用于衬底的对准（2）。的多边形，平的基底（2），所述衬底平面的X-Y平面平行于或位于此，相对于对准基准坐标，并在X-Y平面上的基准角位置。与图像捕获装置（9）具有被检测到（2）在基板的角部（12）。另外，位置坐标（2）被确定的底物。具有的评估装置（10）被确定在XY平面中的衬底（2）的角部（12）的角位置，并且计算所述参考坐标和位置坐标和参考角度位置和所述衬底区域的角位置之间的角度差之间的位置差（12），对应于该位置差或计算，该角度差被移位，在X-Y平面中的衬底（2）和/或扭曲。通过反复旋转衬底（2），在基板的每个角（12）和边缘（13，14）（2）由所述图像检测手段检测到（9）。这允许基板的运输过程中的边缘检测，从而可以省略诸如沉积和基片（2）的再记录的附加工艺步骤。

4. 发明申请

WO2010112614A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR IDENTIFIZIERUNG VON GEGENSTÄNDEN SOWIE ZUM VERFOLGEN VON GEGENSTÄNDEN IN EINEM PRODUKTIONSPROZESS 审中-公开
标题翻译：用于识别对象和方法和设备在生产过程对象跟踪
公开(公告)号：WO2010112614A1
公开(公告)日：2010-10-07
申请号：PCT/EP2010/054503
申请日：2010-04-06
申请人： SINGULUS TECHNOLOGIES AG , RÜTH, Edgar , BECKER, Wolfgang
发明人： RÜTH, Edgar , BECKER, Wolfgang
IPC分类号： B07C5/00 , H01L21/66 , G06Q10/00
CPC分类号： G05B19/128 , G05B2219/31286 , G06K9/00577 , G06T7/001 , G06T2207/30148 , Y02P90/10
摘要： Anhand der einmaligen, charakteristischen, optischen Merkmale (10) wird ein Gegenstand (1) identifiziert, bevor er in einer Anlage (3) bearbeitet wird. Zusätzlich wird dem Gegenstand (1) ein eindeutiges Kennzeichen zugeteilt. Alle Produktionsdaten und Prozessparameter für alle Anlagen (3), die der Gegenstand (1) durchläuft, werden zusammen mit dem Kennzeichen in einer elektronischen Datenverarbeitungseinrichtung (6) gespeichert. Nachdem der Gegenstand (1) eine Anlage (3) durchlaufen hat, kann der Gegenstand (1) anhand seiner einmaligen, charakteristischen, optischen Merkmale (10) erneut identifiziert werden. Damit lässt sich überprüfen, ob das Verfolgungssystem des Gegenstands (1) innerhalb einer Fertigungsanlage (3) fehler frei funktioniert. Alternativ kann die erneute Identifizierung auch dazu verwendet werden, einem Gegenstand (1), bei dem sich während des Produktionsprozesses die einmaligen, charakteristischen, optischen Merkmale (10) geändert haben, ein neues Kennzeichen zuzuordnen.
摘要翻译：一个对象（1）是由独特的特性确定，它之前在设施中被处理的光学特性（10）（3）。此外，一个唯一的标识符被分配给所述对象（1）。所有生产数据和工艺参数为所有的系统（3）穿过所述对象（1）的与所述标识符一起存储在电子数据处理设备（6）。以后的文章（1）发生了系统（3），（1）基于其独特的，特征，光学特征（10）可再次识别的对象。因此，如果制造设施内的对象（1）的跟踪系统（3）的无差错功能可以被检查。可替换地，新的识别也可用于一个对象（1），其中，所述独特特征，光学特征（10）在生产过程中发生了变化，分配一个新的标签。

5. 发明申请

WO2008040546A2 OBERFLÄCHENBEHANDLUNGSSYSTEM UND DARIN VERWENDBARE LACKIERVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：表面处理系统及其适用上光
公开(公告)号：WO2008040546A2
公开(公告)日：2008-04-10
申请号：PCT/EP2007/008623
申请日：2007-10-04
申请人： SINGULUS TECHNOLOGIES AG , RÜTH, Edgar , NOVAK, Manfred , RUNKEL, Steffen , BÖRGER, Marcus , SCHRAMM, Holger
发明人： RÜTH, Edgar , NOVAK, Manfred , RUNKEL, Steffen , BÖRGER, Marcus , SCHRAMM, Holger
IPC分类号： B05B13/02
CPC分类号： B05B13/0242 , B05B12/20 , B05B16/20
摘要： Die Erfindung beschreibt ein System zum Behandeln bzw. Beschichten von Substratoberflächen in einem In-line Prozess, insbesondere zum Beschichten von Substraten mit einer dreidimensionalen Oberfläche. Die Erfindung betrifft weiter eine Lackiervorrichtung, die mehrere Substrate gleichzeitig zwischen entsprechenden Behandlungsstationen transportieren kann. Auch entsprechende Verfahren zum Beschichten von Substratoberflächen werden beschrieben. Die Erfindung ermöglicht eine effiziente und kostengünstige Oberf lächenbeschichtung von Substraten.
摘要翻译：本发明描述了一种用于在在线工艺具有三维表面处理或基材表面的涂层，特别是用于涂覆衬底的系统。本发明还涉及一种喷涂设备，其可以同时各处理站之间携带多个基板。用于涂覆基材表面对应的方法进行说明。本发明允许基板的高效和成本Oberflächenbeschichtung。

6. 发明申请

WO2022233474A1 ÜBERWACHUNG EINER BEFLAMMUNGSVORRICHTUNG 审中-公开
公开(公告)号：WO2022233474A1
公开(公告)日：2022-11-10
申请号：PCT/EP2022/055475
申请日：2022-03-03
申请人： SINGULUS TECHNOLOGIES AG
发明人： BRECHTL, Giani , RÜTH, Edgar , RÜBSAM, Felix , HASENSTAB, Kathrin
IPC分类号： F23D14/56 , F23N5/24 , B29C59/08
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ganz allgemein die Überwachung einer Beflammunsgsvorrichtung und insbesondere eine Substratbehandlungsanlage mit einer Beflammunsgsvorrichtung sowie ersten und zweiten Substratüberwachungseinheiten.

7. 发明申请

WO2018115444A2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR THERMISCHEN BEHANDLUNG BESCHICHTETER SUBSTRATE, INSBESONDERE VON DÜNNSCHICHT-SOLARSUBSTRATEN 审中-公开
公开(公告)号：WO2018115444A2
公开(公告)日：2018-06-28
申请号：PCT/EP2017/084392
申请日：2017-12-22
申请人： SINGULUS TECHNOLOGIES AG
发明人： ERB, Erhard , WEHRFRITZ, Peter , CORD, Bernhard , RÜTH, Edgar , HEILINGBRUNNER, Jochen
IPC分类号： H01L31/18
摘要： Ein Verfahren zur thermischen Behandlung eines ebenen Substrats mit einer ersten, zu beschichtenden oder bereits beschichteten Seite und einer der ersten Seite gegenüberliegenden zweiten Seite, durch Erzeugen einer homogener Temperaturverteilung auf dieser ersten Seite und Erwärmung des Substrats von dessen zweiter Seite mittels einer Heizanordnung, mit den folgenden Verfahrensschritten: Messen eines Höhenprofils des Substrats und eines Temperaturprofils des Substrats und Minimieren einer im Höhenprofil gemessenen Abweichung von der Ebene durch Steuern der Heizanordnung zur Änderung des Temperaturprofils des Substrats mittels eines Steueralgorithmus in Abhängigkeit von Eigenschaften des Substrats und den gemessenen Höhen- und Temperaturprofilen.

8. 发明申请

WO2018115444A3 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR THERMISCHEN BEHANDLUNG BESCHICHTETER SUBSTRATE, INSBESONDERE VON DÜNNSCHICHT-SOLARSUBSTRATEN 审中-公开
公开(公告)号：WO2018115444A3
公开(公告)日：2018-06-28
申请号：PCT/EP2017/084392
申请日：2017-12-22
申请人： SINGULUS TECHNOLOGIES AG
发明人： ERB, Erhard , WEHRFRITZ, Peter , CORD, Bernhard , RÜTH, Edgar , HEILINGBRUNNER, Jochen
IPC分类号： H01L31/18
摘要： Ein Verfahren zur thermischen Behandlung eines ebenen Substrats mit einer ersten, zu beschichtenden oder bereits beschichteten Seite und einer der ersten Seite gegenüberliegenden zweiten Seite, durch Erzeugen einer homogener Temperaturverteilung auf dieser ersten Seite und Erwärmung des Substrats von dessen zweiter Seite mittels einer Heizanordnung, mit den folgenden Verfahrensschritten: Messen eines Höhenprofils des Substrats und eines Temperaturprofils des Substrats und Minimieren einer im Höhenprofil gemessenen Abweichung von der Ebene durch Steuern der Heizanordnung zur Änderung des Temperaturprofils des Substrats mittels eines Steueralgorithmus in Abhängigkeit von Eigenschaften des Substrats und den gemessenen Höhen- und Temperaturprofilen.

9. 发明授权

EP2732542B1 VERFAHREN ZUM BETRIEB VON MEHREREN VERBRAUCHERN IN WECHSELSTROMNETZEN MIT PHASENANSCHNITT ODER PHASENABSCHNITT 有权
标题翻译：在相电路或相电路中操作多个消费者的方法
公开(公告)号：EP2732542B1
公开(公告)日：2018-03-07
申请号：EP12746041.8
申请日：2012-07-12
申请人： Singulus Technologies AG
发明人： BECKER, Wolfgang , RÜTH, Edgar , KLEIN, Benedikt
IPC分类号： H02M5/257 , H02M1/12
CPC分类号： H02J3/00 , H02M1/12 , H02M5/2573 , Y10T307/25

10. 发明授权

EP2415021B1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG FÜR DIE AUSRICHTUNG VON SUBSTRATEN 有权
标题翻译： VERFAHREN UND VORRICHTUNGFÜRDIE AUSRICHTUNG VON SUBSTRATEN
公开(公告)号：EP2415021B1
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：EP10718508.4
申请日：2010-04-06
申请人： Singulus Technologies AG
发明人： RÜTH, Edgar , BECKER, Wolfgang , FILIPOVIC, Marjan , ROHRMANN, Reiner
IPC分类号： G06T7/00
CPC分类号： H05K13/0413 , G06T7/73 , G06T2207/30141 , G06T2207/30148 , H05K13/0061

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