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    • 2. 发明申请
    • MESSUNG EINES SUBSTRATS MIT ELEKTRISCH LEITENDEN STRUKTUREN
    • 测量,带导电构造的基板
    • WO2010136330A1
    • 2010-12-02
    • PCT/EP2010/056451
    • 2010-05-11
    • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFTALATAS, FatihKÖRDEL, MartinSCHICK, Anton
    • ALATAS, FatihKÖRDEL, MartinSCHICK, Anton
    • G01R31/312
    • G01R31/312G01R31/2805G09G3/006
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zur Messung eines Substrats (1) mit elektrisch leitenden Strukturen (2, 3). Um eine solche Messung zu verbessern, wird vorgeschlagen, dass die Vorrichtung einen Messsensor (4) und Mittel (5) zur gesteuerten Bewegung des Messsensors (4) relativ zum Substrat (1) aufweist, wobei die Vorrichtung Mittel (6, 7) zur gleichzeitigen Einspeisung mehrerer unterschiedlicher elektrischer Signale in die elektrisch leitenden Strukturen (2, 3) aufweist, wobei der Messsensor (4) zur Messung von durch die elektrischen Signale erzeugten Feldern mittels Feldkopplung vorgesehen ist, wobei die Vorrichtung Mittel (8, 9, 10) zur Auswertung der gemessenen Felder und zur Bestimmung von Eigenschaften der elektrisch leitenden Strukturen (2, 3) auf Basis der Auswertung der gemessenen Felder aufweist.
    • 本发明涉及一种具有导电结构的方法和用于在衬底(1)的测量的装置(2,3)。 为了改善这样的测量,所以建议,该装置包括一测量传感器(4)和(5),用于测量传感器的受控运动(4)相对于衬底(1),其中所述装置包括装置(6,7)用于同时装置 包括将多个不同的电信号到导电结构(2,3),其中,所述测量传感器(4)被设置用于由电信号字段测量所产生由场耦合的装置,用于评估的装置,包括装置(8,9,10) 所测量的字段和用于确定所述导电结构的性质(2,3)基于所测量的场的评价。
    • 3. 发明申请
    • MEHR-RICHTUNGS-TRIANGULATIONS-MESSSYSTEM MIT VERFAHREN
    • 多方向三角测量系统的方法
    • WO2017167410A1
    • 2017-10-05
    • PCT/EP2016/075762
    • 2016-10-26
    • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
    • KÖRDEL, MartinEULER, HelmuthSCHICK, Anton
    • G01B11/02
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur mittels Triangulation ausgeführten 3D-Messung eines, insbesondere eine Ausnehmung aufweisenden, Objektes (0), insbesondere einer Nut, einer Spalte oder einer Röhre, mit dem Schritt relatives Positionieren einer Messvorrichtung und des Objektes zueinander, wobei die Messvorrichtung eine einzige Erfassungseinrichtung (1) und eine optische Einrichtung (5) aufweist, wobei diese zwischen der Erfassungseinrichtung (1) und dem Objekt eine Mehrzahl getrennter optische Wege derart erzeugt, dass ein einziges ohne optische Einrichtung (5) ursprüngliches Sichtfeld der Erfassungseinrichtung (1) in eine Mehrzahl von Untersichtfeldern aufgeteilt wird, wobei die einzige Erfassungseinrichtung (1) die Untersichtfelder getrennt erfasst, wobei das relative Positionieren derart ausgeführt wird, dass mindestens zwei Untersichtfelder das Objekt erfassen.
    • 本发明涉及一种方法和装置用于通过三角测量导航使用执行艰辛三维测量,特别是凹部具有,对象(0),特别是一个槽,一列或R&ouml的; HRE,用 测量装置和所述对象彼此,其特征在于,所述测量装置包括一个单一的检测装置(1)和光学装置(5),其中所述检测装置(1)与对象物之间产生多个独立的光路,使得一个的步骤相对定位 单没有光学装置(5)最初导航的视图检测装置的使用ngliches字段(1)被划分为多个视图,子场的方法,其中(1)检测的视图的子场分离,将单个感测装置,其中,所述相对位置,例如执行导航用途是HRT使得视的至少两个子场 捕获对象。

    • 4. 发明申请
    • KAPAZITIVER SENSOR
    • 电容式传感器
    • WO2011154207A1
    • 2011-12-15
    • PCT/EP2011/057421
    • 2011-05-09
    • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFTALATAS, FatihHEDLER, HarryKÖRDEL, MartinSCHICK, AntonZAPF, Jörg
    • ALATAS, FatihHEDLER, HarryKÖRDEL, MartinSCHICK, AntonZAPF, Jörg
    • G01N27/22G01R31/312G09G3/00
    • G01N27/226G01R31/312
    • Es wird eine Vorrichtung zur kapazitiven Messung elektrischer und dielektrischer Eigenschaften eines Messobjektes angegeben. Diese weist eine Mehrzahl an Einzelelektroden sowie eine Schaltvorrichtung auf. Die Schaltvorrichtung erläutert verschiedene Aufteilungen der Einzelelektroden vorzunehmen. Dabei wird mindestens eine Teilmenge von Einzelelektroden festgelegt und deren Einzelelektroden elektrisch verbunden. Zwischen Einzelelektroden ungleicher Teilmengen ist die elektrische Verbindung unterbrochen. Durch die Möglichkeit die Einzelelektroden frei zu verschalten, können Sensorelektrodenstrukturen beliebiger Form und Größe erzeugt werden, die aus mehreren Einzelelektroden zusammengesetzt sind. Somit können die Sensorelektrodenstrukturen schnell an ein zu charakterisierendes Substrat angepasst werden. Insbesondere kann die Größe der Sensorelektrodenstruktur an die Größe von zu detektierenden Strukturen angepasst werden.
    • 提供了一种用于测量对象的电和介电性能的电容性测量的装置。 这具有多个独立电极,以及一个开关器件。 开关器件中所示调整个别电极的各部门。 在这种情况下,至少一组独立电极和独立电极的子集电连接。 单独电极不等子集之间,电连接被中断。 由于可能性来互连各个电极,其由多个单独的电极可以生成任意的形状和尺寸的自由的传感器电极结构。 因此,传感器电极结构可以快速地适应于基板来表征。 特别地,该传感器电极结构的大小可以适合于被检测结构的尺寸。
    • 5. 发明申请
    • KONSTANT-SPANNUNGS-SENSOR
    • 恒电压传感器
    • WO2011141224A1
    • 2011-11-17
    • PCT/EP2011/054934
    • 2011-03-30
    • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFTKÖRDEL, MartinALATAS, FatihSCHICK, Anton
    • KÖRDEL, MartinALATAS, FatihSCHICK, Anton
    • G01R29/12
    • G01R29/12G01R35/005
    • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein konstantes elektrisches Potential einer Zielelektrode (1) berührungslos erfasst. Dazu wird eine ein konstantes elektrisches Potential aufweisende Sensorelektrode (3) relativ zu der Zielelektrode (1) in einem vorbestimmten Elektrodenabstand zu kapazitiven Kopplung der Sensorelektrode (3) mit der Zielelektrode (1) positioniert. Eine Messeinrichtung (5) erfasst einen Stromfluss eines Umladestromes (I) durch zumindest eine mit der Sensorelektrode (3) verbundene elektrische Leitung (7). Mittels einer Einrichtung (9) zur Änderung einer Länge einer Kondensatorstrecke (11) eines aus der Sensorelektrode (3) und der Zielelektrode (1) gebildeten Kondensators (13) ist das konstante Potential der Zielelektrode (1) berechenbar.
    • 根据本发明,在不接触检测的靶电极(1)的恒定电势。 为了这个目的,具有传感器电极(3)一个恒定的电势相对于靶电极(1)以预定距离从传感器电极(3)与所述靶电极(1)的电容耦合电极定位。 的测量装置(5)检测到由至少一个传感器的电荷反转电流(I)的电流流动与连接到电力线(7)的电极(3)。 通过用于改变传感器电极(3)中的一个的冷凝器部分(11)的长度,并且靶电极(1)形成电容器(13),靶电极(1)的恒定电势的装置(9)的装置计算出。
    • 9. 发明申请
    • AUFBAU FÜR LÄNGLICHE AUSNEHMUNGEN, INSBESONDERE NUTEN
    • 临时施工,特别是坚果的施工
    • WO2017167412A1
    • 2017-10-05
    • PCT/EP2016/080007
    • 2016-12-07
    • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
    • HEINE, WolfgangKÖRDEL, MartinEULER, HelmuthSCHICK, Anton
    • B23Q9/00B23P6/00F01D5/00F01D5/30F01D25/28B23Q9/02B23D43/02
    • Die Erfindung betrifft einen Aufbau (A) und ein Verfahren zur Positionierung und Befestigung eines an den Aufbau befestigbaren Werkzeuges an einer sich entlang einer ersten Längsachse (L1) sich räumlich erstreckenden und an zwei Stirnseiten (S1, S2) Endoberflächen aufweisenden länglichen Ausnehmung, insbesondere Nut (N), insbesondere eines Rotors, wobei der Aufbau eine eine entlang einer zweiten Längsachse (L2) sich räumlich erstreckende und mit dieser parallel zu der ersten Längsachse ausrichtbare Aussparung aufweisende und die länglichen Ausnehmung einrahmende Platte (3) aufweist, die mit einer Zentriereinrichtung und einer Klemmeinrichtung fest verbunden ist; wobei die Zentriereinrichtung (1) mindestens eine Zentrierbacke (2) aufweist, die entlang der zweiten Längsachse und in die sowie aus der länglichen Ausnehmung bewegbar ist; wobei die Klemmeinrichtung (5) auf der der längliehen Ausnehmung zugewandten Seite der Platte Klemmbacken (6) aufweist, die jeweils entlang der zweiten Längsachse bewegbar und mit einer der Endoberflächen der Stirnseiten der länglichen Ausnehmung mechanisch kontaktierbar und lösbar befestigbar sind.
    • 本发明涉及一种结构(A)以及一种用于定位和固定工具的方法,所述工具可附接到结构上,所述工具沿着第一纵向轴线(L1)纵向延伸并且在两个端面 (S1,S2)端面凹槽,特别是槽(N),尤其是转子,所述结构具有沿第二纵向轴线(L2)纵向延伸且与第一纵向轴线 具有纵向轴线可对准的凹部并框定与定心装置和夹紧装置固定连接的纵向凹板(3); (1)具有至少一个定心爪(2),所述定心爪能够沿着所述第二纵向轴线移动并进出所述水平凹部; 具有ngliehen凹部面向板夹爪的侧(6),每个沿第二L&AUML ;;其中,所述夹紧装置(5)在其上升BEAR的端面的L&AUML表面;纵向轴线可移动,并与Endoberfl&AUML nglichen凹部机械接触,且L OUML之一 ; sbar被固定。