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1. 发明申请

WO2010136330A1 MESSUNG EINES SUBSTRATS MIT ELEKTRISCH LEITENDEN STRUKTUREN 审中-公开
标题翻译：测量，带导电构造的基板
公开(公告)号：WO2010136330A1
公开(公告)日：2010-12-02
申请号：PCT/EP2010/056451
申请日：2010-05-11
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , ALATAS, Fatih , KÖRDEL, Martin , SCHICK, Anton
发明人： ALATAS, Fatih , KÖRDEL, Martin , SCHICK, Anton
IPC分类号： G01R31/312
CPC分类号： G01R31/312 , G01R31/2805 , G09G3/006
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zur Messung eines Substrats (1) mit elektrisch leitenden Strukturen (2, 3). Um eine solche Messung zu verbessern, wird vorgeschlagen, dass die Vorrichtung einen Messsensor (4) und Mittel (5) zur gesteuerten Bewegung des Messsensors (4) relativ zum Substrat (1) aufweist, wobei die Vorrichtung Mittel (6, 7) zur gleichzeitigen Einspeisung mehrerer unterschiedlicher elektrischer Signale in die elektrisch leitenden Strukturen (2, 3) aufweist, wobei der Messsensor (4) zur Messung von durch die elektrischen Signale erzeugten Feldern mittels Feldkopplung vorgesehen ist, wobei die Vorrichtung Mittel (8, 9, 10) zur Auswertung der gemessenen Felder und zur Bestimmung von Eigenschaften der elektrisch leitenden Strukturen (2, 3) auf Basis der Auswertung der gemessenen Felder aufweist.
摘要翻译：本发明涉及一种具有导电结构的方法和用于在衬底（1）的测量的装置（2，3）。为了改善这样的测量，所以建议，该装置包括一测量传感器（4）和（5），用于测量传感器的受控运动（4）相对于衬底（1），其中所述装置包括装置（6，7）用于同时装置包括将多个不同的电信号到导电结构（2，3），其中，所述测量传感器（4）被设置用于由电信号字段测量所产生由场耦合的装置，用于评估的装置，包括装置（8，9，10）所测量的字段和用于确定所述导电结构的性质（2，3）基于所测量的场的评价。

2. 发明申请

WO2013029915A1 KONTAKTLOSER KAPAZITIVER ABSTANDSSENSOR 审中-公开
标题翻译：触点电容距离传感器
公开(公告)号：WO2013029915A1
公开(公告)日：2013-03-07
申请号：PCT/EP2012/065170
申请日：2012-08-02
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , ALATAS, Fatih , KÖRDEL, Martin , SCHICK, Anton
发明人： ALATAS, Fatih , KÖRDEL, Martin , SCHICK, Anton
IPC分类号： G01R31/312 , G01B7/06
CPC分类号： G01R27/2605 , G01B7/023 , G01B7/08 , G01D5/24 , G01R31/312 , G06F3/0414 , G06K9/0002
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur einfachen und zuverlässigen kapazitiven kontaktlosen und zerstörungsfreien Inspektion von elektrisch leitenden Strukturen (3), die auf oder in einem Substrat (1) oder floatend in einem Substrat (1) erzeugt sind. Gemäß der Erfindung wird ein kapazitiver Sensor (11) verwendet, der mindestens zwei Sensorelektrodenflächen (9) aufweist, die in zueinander unterschiedlichen, konstanten Abständen parallel zu einer Oberfläche des Substrats (1) und relativ zu der Oberfläche des Substrats (1) nebeneinander angeordnet sind.
摘要翻译：本发明涉及一种装置和用于简单和可靠的电容性接触和导电结构的非破坏性检查的方法（3），其形成在或在衬底（1）或漂浮在一衬底（1）。根据本发明，电容传感器（11），使用具有至少两个传感器电极面（9），其被布置在相互不同的，恒定的间隔平行于相对于所述衬底（1）上并排的表面的衬底（1）和表面，

3. 发明申请

WO2011154207A1 KAPAZITIVER SENSOR 审中-公开
标题翻译：电容式传感器
公开(公告)号：WO2011154207A1
公开(公告)日：2011-12-15
申请号：PCT/EP2011/057421
申请日：2011-05-09
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , ALATAS, Fatih , HEDLER, Harry , KÖRDEL, Martin , SCHICK, Anton , ZAPF, Jörg
发明人： ALATAS, Fatih , HEDLER, Harry , KÖRDEL, Martin , SCHICK, Anton , ZAPF, Jörg
IPC分类号： G01N27/22 , G01R31/312 , G09G3/00
CPC分类号： G01N27/226 , G01R31/312
摘要： Es wird eine Vorrichtung zur kapazitiven Messung elektrischer und dielektrischer Eigenschaften eines Messobjektes angegeben. Diese weist eine Mehrzahl an Einzelelektroden sowie eine Schaltvorrichtung auf. Die Schaltvorrichtung erläutert verschiedene Aufteilungen der Einzelelektroden vorzunehmen. Dabei wird mindestens eine Teilmenge von Einzelelektroden festgelegt und deren Einzelelektroden elektrisch verbunden. Zwischen Einzelelektroden ungleicher Teilmengen ist die elektrische Verbindung unterbrochen. Durch die Möglichkeit die Einzelelektroden frei zu verschalten, können Sensorelektrodenstrukturen beliebiger Form und Größe erzeugt werden, die aus mehreren Einzelelektroden zusammengesetzt sind. Somit können die Sensorelektrodenstrukturen schnell an ein zu charakterisierendes Substrat angepasst werden. Insbesondere kann die Größe der Sensorelektrodenstruktur an die Größe von zu detektierenden Strukturen angepasst werden.
摘要翻译：提供了一种用于测量对象的电和介电性能的电容性测量的装置。这具有多个独立电极，以及一个开关器件。开关器件中所示调整个别电极的各部门。在这种情况下，至少一组独立电极和独立电极的子集电连接。单独电极不等子集之间，电连接被中断。由于可能性来互连各个电极，其由多个单独的电极可以生成任意的形状和尺寸的自由的传感器电极结构。因此，传感器电极结构可以快速地适应于基板来表征。特别地，该传感器电极结构的大小可以适合于被检测结构的尺寸。

4. 发明申请

WO2011141224A1 KONSTANT-SPANNUNGS-SENSOR 审中-公开
标题翻译：恒电压传感器
公开(公告)号：WO2011141224A1
公开(公告)日：2011-11-17
申请号：PCT/EP2011/054934
申请日：2011-03-30
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , KÖRDEL, Martin , ALATAS, Fatih , SCHICK, Anton
发明人： KÖRDEL, Martin , ALATAS, Fatih , SCHICK, Anton
IPC分类号： G01R29/12
CPC分类号： G01R29/12 , G01R35/005
摘要： Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein konstantes elektrisches Potential einer Zielelektrode (1) berührungslos erfasst. Dazu wird eine ein konstantes elektrisches Potential aufweisende Sensorelektrode (3) relativ zu der Zielelektrode (1) in einem vorbestimmten Elektrodenabstand zu kapazitiven Kopplung der Sensorelektrode (3) mit der Zielelektrode (1) positioniert. Eine Messeinrichtung (5) erfasst einen Stromfluss eines Umladestromes (I) durch zumindest eine mit der Sensorelektrode (3) verbundene elektrische Leitung (7). Mittels einer Einrichtung (9) zur Änderung einer Länge einer Kondensatorstrecke (11) eines aus der Sensorelektrode (3) und der Zielelektrode (1) gebildeten Kondensators (13) ist das konstante Potential der Zielelektrode (1) berechenbar.
摘要翻译：根据本发明，在不接触检测的靶电极（1）的恒定电势。为了这个目的，具有传感器电极（3）一个恒定的电势相对于靶电极（1）以预定距离从传感器电极（3）与所述靶电极（1）的电容耦合电极定位。的测量装置（5）检测到由至少一个传感器的电荷反转电流（I）的电流流动与连接到电力线（7）的电极（3）。通过用于改变传感器电极（3）中的一个的冷凝器部分（11）的长度，并且靶电极（1）形成电容器（13），靶电极（1）的恒定电势的装置（9）的装置计算出。

5. 发明申请

WO2011076496A1 KAMERA-PROJEKTOR SYSTEM ZUR OPTISCHEN OBJEKTANALYSE 审中-公开
标题翻译：摄像机投影仪系统，用于光学对象分析
公开(公告)号：WO2011076496A1
公开(公告)日：2011-06-30
申请号：PCT/EP2010/067795
申请日：2010-11-19
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , ALATAS, Fatih , WISSMANN, Patrick
发明人： ALATAS, Fatih , WISSMANN, Patrick
IPC分类号： H04N5/232 , G01B11/25 , G03B17/38
CPC分类号： H04N5/232 , G01B11/25 , G03B17/38 , G03B17/54
摘要： Die Erfindung betrifft ein Kamera-Projektor-System (15), umfassend einen Projektor (12), der ein von einem Generator (1) erzeugtes Projektionsmuster (7) auf ein Objekt (13) projiziert und eine Kamera (11), die durch ein Auslösesignal (8) ausgelöst eine Aufnahme des Objektes (13) mit dem Projektionsmuster (7) macht, wobei der Generator (1) ein Signal (3) mit Information zum Auslösen der Kamera (11) zur Verfügung stellt.
摘要翻译：本发明涉及一种照相机投影仪系统（15），包括：投影仪（12），从发电机（1）产生上的物体（13）的项目的投影图案（7）的一个，和一个照相机（11）由一触发信号（8）触发拍摄对象（13）与突出图案（7）的图像，其中，所述发电机（1）提供一个信号（3）的信息用于触发照相机（11）是可用的。

6. 发明公开

EP2435840A1 MESSUNG EINES SUBSTRATS MIT ELEKTRISCH LEITENDEN STRUKTUREN 审中-公开
标题翻译：测量，带导电构造的基板
公开(公告)号：EP2435840A1
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：EP10720391.1
申请日：2010-05-11
申请人： Siemens Aktiengesellschaft
发明人： ALATAS, Fatih , KÖRDEL, Martin , SCHICK, Anton
IPC分类号： G01R31/312
CPC分类号： G01R31/312 , G01R31/2805 , G09G3/006
摘要： The invention relates to a method and an apparatus for measuring a substrate (1) having electrically conductive structures (2, 3). In order to improve such a measurement, it is proposed for the apparatus to comprise a measurement sensor (4) and means (5) for a targeted movement of the measurement sensor (4) relative to the substrate (1), wherein the apparatus comprises means (6, 7) for simultaneously feeding several different electrical signals in the electrically conductive structures (2, 3), wherein the measurement sensor (4) is provided to measure fields generated by the electrical signals by way of field coupling, wherein the apparatus comprises means (8, 9, 10) for analyzing the measured fields and for determining properties of the electrically conductive structures (2, 3) on the basis of the analysis of the measured fields.

7. 发明公开

EP2707734A1 KONTAKTLOSER KAPAZITIVER ABSTANDSSENSOR 有权转让
公开(公告)号：EP2707734A1
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：EP12751020.4
申请日：2012-08-02
申请人： Siemens Aktiengesellschaft
发明人： ALATAS, Fatih , KÖRDEL, Martin , SCHICK, Anton
IPC分类号： G01R31/312 , G01B7/06
CPC分类号： G01R27/2605 , G01B7/023 , G01B7/08 , G01D5/24 , G01R31/312 , G06F3/0414 , G06K9/0002
摘要： The present invention relates to an apparatus and a method for the simple and reliable capacitive contactless and non-destructive inspection of electrically conductive structures (3) which are produced on or in a substrate (1) or are produced such that said structures are floating in a substrate (1). The invention uses a capacitive sensor (11) having at least two sensor electrode surfaces (9) which are arranged at different constant distances from one another parallel to a surface of the substrate (1) and are arranged beside one another relative to the surface of the substrate (1).
摘要翻译：在衬底上或衬底上制造或制造成使得结构浮动在衬底中的导电结构经历简单且可靠的电容性非接触和非破坏性检查，其使用具有至少两个传感器电极表面的电容传感器，传感器电极表面布置在不同的恒定距离彼此平行于衬底的表面并且相对于衬底的表面彼此相邻布置。

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